CN216399537U - 一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿，平台支腿由轴和法兰二组成，平台支腿顶端安装有波纹管，波纹管由法兰三、弹性件和法兰四组成，波纹管顶端安装有法兰一，法兰一顶端安装有不锈钢管路，不锈钢管路顶端设有真空室，真空室室内安装有承载平台，承载平台底部侧壁设有支腿套。该种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，把真空室与真空室内承载平台做成分离式结构，避免了相互之间的震动干扰，可以提高结构的精度，采用独特的锥形定位方式，大大降低了结构的安装难度，结构简单，加工、安装、调节、维护方便，保证了真空室的密封性，该结构可以广泛应用于真空室内有承载类平台的多种真空设备中。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空技术领域，具体为一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构。
背景技术
在真空系统中，往往真空室内会有承载平台等机构，若承载平台直接焊接或者安装在真空室中，真空室的加工、装配、维修等会存在很多问题，难度较大。
尤其是在高精度真空系统中，外在的震动会随真空室传递到真空室内的承载平台上，影响设备的精度。若是真空室内的承载平台与真空室是分离机构，则会涉及到真空室的密封问题以及真空室内承载平台的安装等难题。因此我们对此做出改进，提出一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿，所述平台支腿由轴和法兰二组成，所述平台支腿顶端安装有波纹管，所述波纹管由法兰三、弹性件和法兰四组成，所述波纹管顶端安装有法兰一，所述法兰一顶端安装有不锈钢管路，所述不锈钢管路顶端设有真空室，所述真空室室内安装有承载平台，所述承载平台底部侧壁设有支腿套。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述轴竖立安装在平台支腿底部，所述法兰二安装在平台支腿顶部，所述法兰二与轴焊接固定，且轴顶端贯穿延伸至真空室内部，所述轴顶端为圆锥面过渡的阶梯轴，且圆锥粗端为光轴、细端带螺纹。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述法兰一、法兰二和法兰四均为CF法兰，所述法兰三为CF松套法兰。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述法兰四与法兰三分别安装在波纹管上下两端，所述法兰四与法兰三分别与法兰一和法兰二适配吻合形成密封，并通过螺栓连接固定。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弹性件固定安装在波纹管内部中心，所述不锈钢管路底部与法兰一顶端焊接焊接连接，且不锈钢管路顶端与真空室底端焊接连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述承载平台位于真空室内部，且承载平台与真空室为分离结构，并相互之间不连接，所述真空室设有独立支撑机架。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支腿套螺纹连接安装在承载平台底壁上，所述支腿套底端中心向内凹陷设有锥形孔，且锥形孔内壁上设有螺纹，所述支腿套底部与平台支腿和轴的顶端接触，且支腿套通过锥形孔与轴圆锥面螺纹连接。
本实用新型的有益效果是：该实用新型结构把真空室与真空室内承载平台做成分离式结构，避免了相互之间的震动干扰，可以提高结构的精度，采用独特的锥形定位方式，大大降低了结构的安装难度，结构简单，加工、安装、调节、维护方便，保证了真空室的密封性，该结构可以广泛应用于真空室内有承载类平台的多种真空设备中。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构的示意图；
图2是本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构的法兰结构放大图。
图中：1、平台支腿；2、波纹管；3、法兰；4、不锈钢管路；5、真空室；6、支腿套；7、真空室内承载平台；8、轴；9、法兰二；10、法兰三；11、法兰四；12、弹性件。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例：如图1-2所示，本实用新型一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿1，平台支腿1由轴8和法兰二9组成，平台支腿1顶端安装有波纹管2，波纹管2由法兰三10、弹性件12和法兰四11组成，波纹管2顶端安装有法兰一3，法兰一3顶端安装有不锈钢管路4，不锈钢管路4顶端设有真空室5，真空室5室内安装有承载平台7，承载平台7底部侧壁设有支腿套6。
其中，轴8竖立安装在平台支腿1底部，法兰二9安装在平台支腿1顶部，法兰二9与轴8焊接固定，且轴8顶端贯穿延伸至真空室5内部，轴8顶端为圆锥面过渡的阶梯轴，且圆锥粗端为光轴、细端带螺纹，用于辅助支撑。
其中，法兰一3、法兰二9和法兰四11均为CF法兰，法兰三10为CF松套法兰，利用法兰搭配对接加固连接。
其中，法兰四11与法兰三10分别安装在波纹管2上下两端，法兰四11与法兰三10分别与法兰一3和法兰二9适配吻合形成密封，并通过螺栓连接固定，构成密封结构。
其中，弹性件12固定安装在波纹管2内部中心，不锈钢管路4底部与法兰一3顶端焊接焊接连接，且不锈钢管路4顶端与真空室5底端焊接连接，弹性件12可以在径向和轴向产生一定的形变，从而可以补偿上下连接部分径向和轴向的变形或相对运动。
其中，承载平台7位于真空室5内部，且承载平台7与真空室5为分离结构，并相互之间不连接，真空室5设有独立支撑机架。
其中，支腿套6螺纹连接安装在承载平台7底壁上，支腿套6底端中心向内凹陷设有锥形孔，且锥形孔内壁上设有螺纹，支腿套6底部与平台支腿1和轴8的顶端接触，且支腿套6通过锥形孔与轴8圆锥面螺纹连接，承载平台的安装结构关系。
工作原理：该结构安装时，真空室5内承载平台7与支腿套6螺纹连接后放置于真空室5内，通过人力、机架或者专门工装支撑住，支腿平台1与波纹管2螺纹连接后依次穿过法兰一3、不锈钢管路4和真空室5，支腿平台1顶端的锥面可以较容易的与支腿套6的锥面相接触，旋紧转动平台支腿1，支腿套6与真空室5内承载平台7即被固定，波纹管2和不锈钢管路4的内径均大于平台支腿1上端轴8的外径，安装后有一定的间隙，当真空室5或者真空室5内承载平台7受力震动时，震动不会互相传递。在图1中除真空室5和真空室5内承载平台7外其他部件为多组。
最后应说明的是：在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，包括平台支腿（1），其特征在于，所述平台支腿（1）由轴（8）和法兰二（9）组成，所述平台支腿（1）顶端安装有波纹管（2），所述波纹管（2）由法兰三（10）、弹性件（12）和法兰四（11）组成，所述波纹管（2）顶端安装有法兰一（3），所述法兰一（3）顶端安装有不锈钢管路（4），所述不锈钢管路（4）顶端设有真空室（5），所述真空室（5）室内安装有承载平台（7），所述承载平台（7）底部侧壁设有支腿套（6）。
2.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述轴（8）竖立安装在平台支腿（1）底部，所述法兰二（9）安装在平台支腿（1）顶部，所述法兰二（9）与轴（8）焊接固定，且轴（8）顶端贯穿延伸至真空室（5）内部，所述轴（8）顶端为圆锥面过渡的阶梯轴，且圆锥粗端为光轴、细端带螺纹。
3.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述法兰一（3）、法兰二（9）和法兰四（11）均为CF法兰，所述法兰三（10）为CF松套法兰。
4.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述法兰四（11）与法兰三（10）分别安装在波纹管（2）上下两端，所述法兰四（11）与法兰三（10）分别与法兰一（3）和法兰二（9）适配吻合形成密封，并通过螺栓连接固定。
5.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述弹性件（12）固定安装在波纹管（2）内部中心，所述不锈钢管路（4）底部与法兰一（3）顶端焊接连接，且不锈钢管路（4）顶端与真空室（5）底端焊接连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述承载平台（7）位于真空室（5）内部，且承载平台（7）与真空室（5）为分离结构，并相互之间不连接，所述真空室（5）设有独立支撑机架。
7.根据权利要求1所述的一种真空室内的承载平台穿越真空室的支撑结构，其特征在于，所述支腿套（6）螺纹连接安装在承载平台（7）底壁上，所述支腿套（6）底端中心向内凹陷设有锥形孔，且锥形孔内壁上设有螺纹，所述支腿套（6）底部与平台支腿（1）和轴（8）的顶端接触，且支腿套（6）通过锥形孔与轴（8）圆锥面螺纹连接。
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2021
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