CN216389266U - 一种外槽循环光伏湿法槽式装置 - Google Patents
一种外槽循环光伏湿法槽式装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216389266U CN216389266U CN202121940818.3U CN202121940818U CN216389266U CN 216389266 U CN216389266 U CN 216389266U CN 202121940818 U CN202121940818 U CN 202121940818U CN 216389266 U CN216389266 U CN 216389266U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipeline
- ozone
- tank
- wet
- module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种外槽循环光伏湿法槽式装置，包括内、外槽循环管路的两路循环；其中内槽循环管路包括内槽、外槽、外槽通至抽水泵的第一管路、抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路、臭氧湿模块通至内槽的第三管路模块、以及臭氧湿模块连接至臭氧发生装置的第四管路；外槽自循环管路包括外槽通至抽水泵的第一管路、抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路以及臭氧湿模块通至外槽的第五管路。本实用新型通过增设的独立的外槽自循环管路，在不影响工艺期间扰流的前提下，提高臭氧槽内的浓度值。既不用增加臭氧发生器的功率或数量，也不用增加工艺槽数量以获得更多通气的时间，满足量产所需的情况下，大大节约了设备部件的成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏组件领域，尤其是一种外槽循环光伏湿法槽式装置。
背景技术
目前主流的晶硅太阳能电池和异质结太阳能电池的生产制备过程，制绒清洗工序承担对硅片表面制绒和清洗的角色。早期的清洗工艺主要以硝酸清洗(硝酸和氢氟酸混合液)和双氧水清洗(双氧水和氢氧化钾或盐酸混合液)为主。然而硝酸清洗会产生含氮废水，双氧水清洗运营成本偏高，臭氧工艺(臭氧水和氢氟酸、盐酸的混合液)既无氨氮废水排放，运营成本也低，相对于前两种清洗方法具有更加环保和消耗低的特点，所以如今被广泛应用。臭氧工艺保证其清洗效果的前提是需保证臭氧的浓度。然而现有技术中存在溶解度较低的问题，量产情况很难保证稳定的浓度。
现有技术中的臭氧槽循环管路的标准配置如图1所示；溶液由内槽溢流到外槽，泵从外槽把溶液抽出，再送至内槽，实现循环。臭氧在泵的出口与内槽之间的管路上开口引入(此处省略臭氧的控制模块的细节)，伴随循环的水流，臭氧持续的通入槽内。而实际制程中，当硅片进入槽子里开始工艺时，保持循环会对槽内的液体造成扰动，导致硅片表面出现色差，影响产品良率，因此制程要求在工艺期间停止循环，臭氧的通入也被迫中止，槽内的臭氧浓度会因此下降，量产是不断投入硅片的状态，臭氧来不及补足浓度即开始下一批投料，槽内臭氧浓度呈逐渐下降的趋势，无法满足量产所需。
实用新型内容
实用新型目的：为了解决现有技术所存在的问题，本实用新型提供了一种外槽循环光伏湿法槽式装置，解决了现有技术中臭氧槽内浓度难以保证稳定的问题。
技术方案：为达到上述目的，本实用新型可采用如下技术方案：一种外槽循环光伏湿法槽式装置，包括内槽循环管路以及外槽循环管路的两路循环；
所述内槽循环管路包括内槽、外槽、外槽下方通至抽水泵的第一管路、从抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路以及臭氧湿模块通至内槽下方的第三管路模块；还包括所述臭氧湿模块连接至臭氧发生装置的第四管路；
所述外槽自循环管路包括外槽下方通至抽水泵的第一管路、从抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路以及臭氧湿模块通至外槽上方的第五管路。
为了进行管路中的臭氧浓度的监测，所述臭氧湿模块还连接有管道臭氧浓度监控管路模块。
更进一步的，所述管道臭氧浓度监控管路模块包括连接至外槽上方的第六管路，第六管路上设置的电容式传感器以及第一针阀，所述电容式传感器还连接有监控器。
更进一步的，所述臭氧湿模块末端还连接有排气管路、所述排气管路上设有第二针阀，且末端连接至尾气处理端。
当臭氧浓度达到设定值，臭氧发生装置产生的臭氧直接进入尾气处理管道。
更进一步的，所述臭氧湿模块包括用于循环管路控温的热交换单元和臭氧气体与液体混合的模组臭氧混液单元；
更进一步的，所述内槽、外槽都设有酸排管路。
所述外槽为独立的副槽；在进行外循环的时候不影响内槽循环。
更进一步的，所述第三管路模块分为两路管路连通至内槽下方，且分别设有控制阀门；分两路进液，有利于进液的均匀程度提高，对于大体积的槽体尤为重要。
有益效果：本实用新型具有以下优点：
本实用新型通过增设的独立的外槽自循环管路，在不影响工艺期间扰流的前提下，提高臭氧槽内的浓度值。既不用增加臭氧发生器的功率或数量，也不用增加工艺槽数量以获得更多通气的时间，满足量产所需的情况下，大大节约了设备部件的成本。
附图说明
图1是传统内槽循环管路结构示意图；
图2是本实用新型的循环管路结构示意图；
图3是本实用新型外槽循环方式简单示意图。
具体实施方式
实施例1：
请参阅图2-3所示，本实用新型公开了一种外槽循环光伏湿法槽式装置，包括内槽循环管路以及外槽循环管路的两路循环；
所述内槽循环管路包括内槽1、外槽2、外槽2下方通至抽水泵3的第一管路11、从抽水泵3连通至臭氧湿模块4的第二管路12以及臭氧湿模块4通至内槽下方的第三管路模块13；还包括所述臭氧湿模块4连接至臭氧发生装置5的第四管路14；所述第三管路模块13分为两路管路连通至内槽1下方，且分别设有控制阀门。分两路进液，有利于进液的均匀程度提高，对于大体积的槽体尤为重要。
所述外槽自循环管路包括外槽2下方通至抽水泵3的第一管路11、从抽水泵3连通至臭氧湿模块4的第二管路12以及臭氧湿模块4通至外槽2上方的第五管路15。所述外槽2为独立的副槽；在进行外循环的时候不影响内槽循环。
为了进行循环管路中的臭氧浓度的监测，所述臭氧湿模块4还连接有管道臭氧浓度监控管路模块。所述管道臭氧浓度监控管路模块包括连接至外槽上方的第六管路16，第六管路16上设置的电容式传感器6以及第一针阀7，所述电容式传感器6还连接有监控器8。所述臭氧湿模块4末端还连接有排气管路17、所述排气管路17上设有第二针阀9，且末端连接至尾气处理端10。当臭氧浓度达到设定值，臭氧发生装置产生的臭氧直接进入排气管路17排放至尾气处理端10 进行处理。
所述臭氧湿模块4包括循环管路控温的热交换单元和臭氧气体与液体混合的模组臭氧混液单元，前者的目的是提供冷却，以利于臭氧溶解于水。所述内槽 1、外槽2都设有酸排管路18，用于酸排放。
工作过程：
如图2所示，常规的循环方式为内槽循环方式，通过内槽循环管路实现，具体如下：药液由内槽1溢流到外槽2，抽水泵3通过第一管路11把药液从外槽2 抽出，经第二管路12途径臭氧湿模块4，再经第三管路模块13从下方通入内槽 1，完成循环。其中，臭氧湿模块4连接有管道臭氧浓度监控管路模块，具体通过电容式传感器6、监控器8、第一针阀7以及第六管路16实现循环管路里的臭氧浓度的监测，同时也连接有臭氧发生装置5，用于往循环管路里通入臭氧气体，当臭氧浓度达到设定值，臭氧发生装置5产生的臭氧直接进入排气管路17排放至尾气处理端10进行处理。臭氧湿模块4由热交换单元41提供冷却，以利于臭氧溶解于水。
当内槽1有硅片时，停止内槽循环管路，此时开启外槽自循环管路，具体如下：抽水泵3通过第一管路11把药液从外槽2抽出，经第二管路12途径臭氧湿模块4后通过第五管路15通入外槽1，并从其上方进入外槽2，实现外槽自循环管路的运行。其中内槽1与外槽2相对独立，不断提高外槽2臭氧浓度的同时，不影响内槽1工艺的进行；当内槽1结束工艺，硅片传出后，系统切换为内槽循环管理的运行，外槽2累积的高浓度臭氧水直接通入内槽1，极短时间内可把内槽1损失的浓度补足，大大提高臭氧发生装置5的利用率。在不额外增加臭氧发生器功率、数量和工艺槽体数量的情况下，满足量产的高浓度需求。具体也可参看图3的外槽循环简易流程图。
Claims (8)
1.一种外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于包括内槽循环管路以及外槽循环管路的两路循环；
所述内槽循环管路包括内槽(1)、外槽(2)、外槽(2)下方通至抽水泵(3)的第一管路(11)、从抽水泵(3)连通至臭氧湿模块(4)的第二管路(12)以及臭氧湿模块(4)通至内槽下方的第三管路模块(13)；还包括所述臭氧湿模块(4)连接至臭氧发生装置(5)的第四管路(14)；
所述外槽自循环管路包括外槽(2)下方通至抽水泵(3)的第一管路(11)、从抽水泵(3)连通至臭氧湿模块(4)的第二管路(12)以及臭氧湿模块(4)通至外槽(2)上方的第五管路(15)。
2.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述臭氧湿模块(4)还连接有管道臭氧浓度监控管路模块。
3.根据权利要求2所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述管道臭氧浓度监控管路模块包括连接至外槽上方的第六管路(16)，第六管路(16)上设置的电容式传感器(6)以及第一针阀(7)，所述电容式传感器(6)还连接有监控器(8)。
4.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述臭氧湿模块(4)末端还连接有排气管路(17)、所述排气管路(17)上设有第二针阀(9)，且末端连接至尾气处理端(10)。
5.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述臭氧湿模块(4)包括热交换单元(41)和臭氧混液单元(42)。
6.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述内槽(1)、外槽(2)都设有酸排管路(18)。
7.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述外槽(2)为独立的副槽。
8.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述第三管路模块(13)分为两路管路连通至内槽(1)下方，且分别设有控制阀门。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121940818.3U CN216389266U (zh) | 2021-08-18 | 2021-08-18 | 一种外槽循环光伏湿法槽式装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202121940818.3U CN216389266U (zh) | 2021-08-18 | 2021-08-18 | 一种外槽循环光伏湿法槽式装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216389266U true CN216389266U (zh) | 2022-04-26 |
Family
ID=81239405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121940818.3U Active CN216389266U (zh) | 2021-08-18 | 2021-08-18 | 一种外槽循环光伏湿法槽式装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216389266U (zh) |
-
2021
- 2021-08-18 CN CN202121940818.3U patent/CN216389266U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101863495B (zh) | 一种高效的将液氨与水配置成氨水的设备 | |
| CN208097717U (zh) | 一种扩散炉尾气处理设备 | |
| CN208757276U (zh) | 一种规模化硝酸银制备过程中减少氮氧化物排放的装置 | |
| CN216389266U (zh) | 一种外槽循环光伏湿法槽式装置 | |
| CN203754482U (zh) | 一种废水的湿式氧化处理装置 | |
| CN102242402A (zh) | 太阳能电池硅片的制绒装置 | |
| CN215251247U (zh) | 一种电解铜箔的溶铜系统 | |
| CN109000217B (zh) | 一种电厂锅炉给水加氨全循环系统及方法 | |
| CN204644041U (zh) | 一种氨氮废水处理系统 | |
| CN202785681U (zh) | 一种超净高纯氨水的连续生产装置 | |
| CN202268375U (zh) | 太阳能电池硅片的制绒装置 | |
| CN201478277U (zh) | 用于多晶槽式制绒设备的去多孔硅系统 | |
| CN203820495U (zh) | 工业锅炉节能除氧系统 | |
| CN202063718U (zh) | 一种超高纯电子级磷酸的生产装置 | |
| CN209501394U (zh) | 一种焦化行业用硫酸配制工艺设备 | |
| CN203613126U (zh) | 一种节能高效的尿素低压分解系统 | |
| CN202237724U (zh) | 一种降低碳丙消耗的装置 | |
| CN208394818U (zh) | 氨氮废水处理设备 | |
| CN208219206U (zh) | Dcw高温直排水洗染色系统 | |
| CN202569934U (zh) | 用于动力波装置中的加碱系统 | |
| CN206652378U (zh) | 脱硫塔尾气净化吸收用的氨水制备系统 | |
| CN201357034Y (zh) | 己二酸氩硝废气回收系统 | |
| CN216522597U (zh) | 氯代增塑剂真空除酸辅助控温装置 | |
| CN218779049U (zh) | 一种碱液循环装置及碱性电解水制氢系统 | |
| CN205556134U (zh) | 节能环保型浓硝酸生产镁尾水回收装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |