CN216385144U

CN216385144U - 一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉

Info

Publication number: CN216385144U
Application number: CN202122226373.9U
Authority: CN
Inventors: 彭静
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2021-09-15
Filing date: 2021-09-15
Publication date: 2022-04-26
Anticipated expiration: 2031-09-15

Abstract

本实用新型公开了一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，包括炉体和过滤箱，所述炉体后侧的左右两端均固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块，所述固定块的一侧固定连接有固定框，所述固定框的外侧固定连接有毛刷层，所述炉体内腔后侧的右端固定连接有集尘罩，所述炉体内腔后侧的左端固定连接有排气罩。本实用新型通过风机、电机、螺纹杆、固定块、固定框、毛刷层、集尘罩、通气板、均分喷嘴、过滤箱、初效滤网板、活性炭滤网板和排气罩的作用，解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能，在清洁时需要人工进行清扫，费时费力，为人们使用带来不便的问题。

Description

一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，但现有扩散炉不具备自动清洁的功能，在清洁时需要人工进行清扫，费时费力，为人们的使用带来不便，为此，我们提出一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，具备自动清洁功能的优点，解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能，在清洁时需要人工进行清扫，费时费力，为人们使用带来不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，包括炉体和过滤箱，所述炉体后侧的左右两端均固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块，所述固定块的一侧固定连接有固定框，所述固定框的外侧固定连接有毛刷层，所述炉体内腔后侧的右端固定连接有集尘罩，所述炉体内腔后侧的左端固定连接有排气罩，所述过滤箱内腔的底部固定连接有通气板，所述通气板的顶部固定安装有均分喷嘴，所述过滤箱内腔左侧的上端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部和过滤箱内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板和初效滤网板，所述过滤箱顶部的左端固定安装有风机。

优选的，所述炉体的正表面通过合页活动连接有密封门，所述密封门正表面的上端固定安装有控制面板。

优选的，所述均分喷嘴的数量为多个，且相邻两个均分喷嘴之间的距离相等。

优选的，所述风机的进风端通过管道和集尘罩的后侧连通，所述风机的出风端通过管道和通气板顶部的右端连通。

优选的，所述过滤箱左侧的上端连通有导流管，且导流管的另一端和排气罩连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过控制面板打开风机和电机工作时，电机会带动螺纹杆转动，进而经固定块带动了固定框和毛刷层运动，进而毛刷层能够对炉体的内壁进行清扫，风机工作时能够通过管道经集尘罩吸入清扫出的灰尘，并转送到通气板内经均分喷嘴喷出到过滤箱内腔下端的水体中，实现了一次过滤，而在气体通过初效滤网板和活性炭滤网板后，实现了有效过滤清洁的能力，而过滤后的气体经导流管输送到排气罩内排出，进而能够吹拂清扫的灰尘，在炉体内实现循环，加快了集尘罩吸收的同时，且促进了毛刷层的清扫效率，通过以上结构配合的作用，解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能，在清洁时需要人工进行清扫，费时费力，为人们使用带来不便的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型炉体剖视结构示意图；

图3为本实用新型炉体俯视结构示意图；

图4为本实用新型过滤箱主视状态下剖视结构示意图。

图中：1、炉体；2、密封门；3、风机；4、过滤箱；5、控制面板；6、排气罩；7、固定框；8、毛刷层；9、集尘罩；10、固定块；11、螺纹杆；12、电机；13、初效滤网板；14、通气板；15、均分喷嘴；16、支撑板；17、活性炭滤网板；18、导流管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本实用新型的炉体1、密封门2、风机3、过滤箱4、控制面板5、排气罩6、固定框7、毛刷层8、集尘罩9、固定块10、螺纹杆11、电机12、初效滤网板13、通气板14、均分喷嘴15、支撑板16、活性炭滤网板17和导流管18部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图1-4，一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，包括炉体1和过滤箱4，炉体1的正表面通过合页活动连接有密封门2，密封门2正表面的上端固定安装有控制面板5，炉体1后侧的左右两端均固定安装有电机12，电机12的输出端固定连接有螺纹杆11，螺纹杆11的外表面螺纹连接有固定块10，固定块10的一侧固定连接有固定框7，固定框7的外侧固定连接有毛刷层8，炉体1内腔后侧的右端固定连接有集尘罩9，炉体1内腔后侧的左端固定连接有排气罩6，过滤箱4内腔的底部固定连接有通气板14，通气板14的顶部固定安装有均分喷嘴15，均分喷嘴15的数量为多个，且相邻两个均分喷嘴15之间的距离相等，过滤箱4内腔左侧的上端固定连接有支撑板16，支撑板16的顶部和过滤箱4内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板17和初效滤网板13，过滤箱4顶部的左端固定安装有风机3，风机3的进风端通过管道和集尘罩9的后侧连通，风机3的出风端通过管道和通气板14顶部的右端连通，过滤箱4左侧的上端连通有导流管18，且导流管18的另一端和排气罩6连通，通过控制面板5打开风机3和电机12工作时，电机12会带动螺纹杆11转动，进而经固定块10带动了固定框7和毛刷层8运动，进而毛刷层8能够对炉体1的内壁进行清扫，风机3工作时能够通过管道经集尘罩9吸入清扫出的灰尘，并转送到通气板14内经均分喷嘴15喷出到过滤箱4内腔下端的水体中，实现了一次过滤，而在气体通过初效滤网板13和活性炭滤网板17后，实现了有效过滤清洁的能力，而过滤后的气体经导流管18输送到排气罩6内排出，进而能够吹拂清扫的灰尘，在炉体1内实现循环，加快了集尘罩9吸收的同时，且促进了毛刷层8的清扫效率。

使用时，通过控制面板5打开风机3和电机12工作时，电机12会带动螺纹杆11转动，进而经固定块10带动了固定框7和毛刷层8运动，进而毛刷层8能够对炉体1的内壁进行清扫，风机3工作时能够通过管道经集尘罩9吸入清扫出的灰尘，并转送到通气板14内经均分喷嘴15喷出到过滤箱4内腔下端的水体中，实现了一次过滤，而在气体通过初效滤网板13和活性炭滤网板17后，实现了有效过滤清洁的能力，而过滤后的气体经导流管18输送到排气罩6内排出，进而能够吹拂清扫的灰尘，在炉体1内实现循环，加快了集尘罩9吸收的同时，且促进了毛刷层8的清扫效率，通过以上结构配合的作用，解决了现有扩散炉不具备自动清洁的功能，在清洁时需要人工进行清扫，费时费力，为人们使用带来不便的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，包括炉体（1）和过滤箱（4），其特征在于：所述炉体（1）后侧的左右两端均固定安装有电机（12），所述电机（12）的输出端固定连接有螺纹杆（11），所述螺纹杆（11）的外表面螺纹连接有固定块（10），所述固定块（10）的一侧固定连接有固定框（7），所述固定框（7）的外侧固定连接有毛刷层（8），所述炉体（1）内腔后侧的右端固定连接有集尘罩（9），所述炉体（1）内腔后侧的左端固定连接有排气罩（6），所述过滤箱（4）内腔的底部固定连接有通气板（14），所述通气板（14）的顶部固定安装有均分喷嘴（15），所述过滤箱（4）内腔左侧的上端固定连接有支撑板（16），所述支撑板（16）的顶部和过滤箱（4）内腔的顶部之间从左向右依次固定连接有活性炭滤网板（17）和初效滤网板（13），所述过滤箱（4）顶部的左端固定安装有风机（3）。

2.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，其特征在于：所述炉体（1）的正表面通过合页活动连接有密封门（2），所述密封门（2）正表面的上端固定安装有控制面板（5）。

3.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，其特征在于：所述均分喷嘴（15）的数量为多个，且相邻两个均分喷嘴（15）之间的距离相等。

4.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，其特征在于：所述风机（3）的进风端通过管道和集尘罩（9）的后侧连通，所述风机（3）的出风端通过管道和通气板（14）顶部的右端连通。

5.根据权利要求1所述的一种智能化程度高具有自动清洁功能的扩散炉，其特征在于：所述过滤箱（4）左侧的上端连通有导流管（18），且导流管（18）的另一端和排气罩（6）连通。