CN216357366U - 一种用于半导体设备的加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体设备的加热器，包括加热盘(1)、加热管(2)、电线(3)，加热盘(1)上设有若干个通孔(102)，加热盘(1)上设有引出槽(101)，加热盘(1)内设有2个加热管(2)，每个加热管(2)有2个端部，端部从引出槽(101)中伸出，端部上设有冷端，其中1个加热管(2)的1个冷端与另1个加热管(2)的1个冷端通过电线(3)相连，剩余的2个冷端分别连接1根电线(3)，电线(3)上设有用于连接冷端的接线端(304)，接线端(304)与冷端的连接处套设有铜套(4)，铜套(4)上套设有保护套(5)。本实用新型结构简单实用，接线端和冷端不易被氧化，接线端和冷端不易脱落。

Description

一种用于半导体设备的加热器

技术领域

本实用新型涉及加热器领域，具体涉及一种用于半导体设备的加热器。

背景技术

加热器是半导体设备的重要组成部分，加热器的核心部件是加热管，加热管是管状电热元件，它是由金属管、螺旋状高温电阻丝及结晶氧化镁粉等组成的。在金属管内均匀地分布高温电阻丝，在空隙部分填入导热性能和绝缘性能均良好的结晶氧化镁粉，高温电阻丝中有电流通过时，产生的热通过氧化镁粉向金属管表面扩散，再传递到被加热件或空气中去，达到加热的目的。与发热体相连，供元件与电源，元件与元件连接用的金属导电零件为加热器冷端，传统加热器接线仅用绝缘胶布包裹，导致冷端容易被氧化。高温电阻丝是加热管发热的核心，主要起到通电发热作用，是加热管热量的来源，加热管端部若不加保护，空气中的水份进入后会造成加热管寿命降低，还会对半导体设备内部造成污染，对电线的连接端的防弯折保护也是传统接线方式忽略的部分。因此，亟需一种新的技术方案解决以上问题。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于半导体设备的加热器，通过铜套和保护套保护冷端和接线端，使得冷端和接线端不易被氧化，接线端与冷端不易脱落。

为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于半导体设备的加热器，包括加热盘、加热管、电线，所述加热盘上设有若干个通孔，所述加热盘上设有引出槽，所述加热盘内设有2个加热管，每个加热管有2个端部，所述端部从引出槽中伸出，所述端部上设有冷端，其中1个加热管的1个冷端与另1个加热管的1个冷端通过电线相连，剩余的2个冷端分别连接1根电线，所述电线上设有用于连接冷端的接线端，所述接线端与冷端的连接处套设有铜套，所述铜套上套设有保护套。

作为优选的技术方案，所述冷端的直径小于加热管的直径，所述接线端与冷端相匹配，所述接线端的直径小于电线的直径。

作为优选的技术方案，所述接线端和冷端与铜套过盈配合。

作为优选的技术方案，所述电线上套设有弹性件。

作为优选的技术方案，所述铜套的外径为5mm。

作为优选的技术方案，所述保护套为不锈钢套。

作为优选的技术方案，所述弹性件为弹簧套，所述弹簧套的一端插入保护套内。

作为优选的技术方案，所述铜套与保护套之间设有灌封胶，所述铜套朝向加热管的一端与加热管之间设有灌封胶。

作为优选的技术方案，所述通孔圆周排列均匀设置。

本实用新型的有益效果是：

1)通过铜套保护冷端和电线，防止冷端被氧化或弯折，并在铜套外套设保护套，进一步保护铜套，且后续在需要填入灌封胶时，可防止灌封胶氧化；

2)优选的，不锈钢套的硬度大于铜套，且不易被氧化，保护效果好；

3)优选的，电线上套设有弹性件，进一步优选的，弹性件为弹簧套，并且弹簧套的一端插入保护套中达到固定的效果；

4)优选的，灌封胶具有固定和保护作用，并且灌封胶有绝缘作用，使得接线端与冷端具有耐击穿性，稳定性更好；

5)优选的，通孔均匀设置，使得加热盘具有均匀加热的效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是局部A的结构图；

图4是灌胶处理的结构图；

在图1-4中，1、加热盘；101、引出槽；102、通孔；2、加热管；201、第一冷端；202、第二冷端；203、第三冷端；204、第四冷端；3、电线；301、第一电线；302、第二电线；303、第三电线；304、接线端；4、铜套；5、保护套；6、弹性件；7、灌封胶；8、灌胶工装。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步描述。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

请参阅图1-4，本实用新型一个实施例提供的一种用于半导体设备的加热器，包括加热盘1、加热管2、电线3，所述加热盘1上设有若干个通孔102，所述加热盘1上设有引出槽101，所述加热盘1内设有2个加热管2，所述加热管2的各个端部上分别设有第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204，所述第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204从引出槽101中伸出，所述电线3包括第一电线301、第二电线302、第三电线303，所述第一电线301和第二电线302与电源相连，第一电线301、第二电线302的一端设有接线端304，所述第三电线303的两端设有接线端304，所述第一电线301的接线端304与第一冷端201相连，所述第二电线302的接线端304与第二冷端202相连，所述第三电线303的两端的接线端304分别与第三冷端203和第四冷端204相连，这样2个加热管2形成回路，与电源通电后进行加热，所述接线端304与冷端的连接处套设有铜套4，所述铜套4上套设有保护套5，利用铜套4对接线端304和冷端进行保护，防止被氧化，由于接线端304和冷端连接后较脆弱，铜套4还能防止接线端304和冷端折断，同时在铜套4上加设保护套5进一步的进行保护，在制作工艺中，后续会在铜套4的外表面用灌封胶7进行处理，然后在保护套5中填充灌封胶7，灌封胶7不仅有固定作用，还能让接线端304和冷端具有耐击穿性，提高加热器运行的稳定性，保护套5用来保护灌封胶7，灌封胶7就不易脱落或被氧化。

如图1-4所示，所述第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204的直径小于加热管2的直径，各个所述接线端304分别与第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204相匹配，所述接线端304的直径小于电线3的直径，这样易于后续的工艺处理，各个接线端304分别与第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204采用银钎焊的方法进行连接。

如图1-4所示，各个所述接线端304与铜套4过盈配合，所述第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204与铜套4过盈配合，这样铜套4能够套紧接线端304和冷端，在其中一种实施方式中，采用专用的夹具将铜套4与第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204以及接线端304夹紧。

如图1-4所示，所述电线3上套设有弹性件6，进一步的，所述弹性件6为弹簧套，弹簧套保护电线3，因为电线3易折断，用弹簧套可以使得电线3不易弯折，即使弯折也能及时复位，保护电线3不被折断，弹簧套的一端插入保护套5中，在保护套5中填充灌封胶7，灌封胶7将弹簧套的一端固定，这样弹簧套就能固定在电线3上，不易滑动，保护效果更好。

如图1-4所示，所述铜套4的外径为5mm，严格控制铜套4的外径，这样方便进行夹紧处理，如果外径过大，夹紧效果不好，若外径过小，很容易被夹断，5mm为铜套4的最佳外径。

如图1-4所示，所述保护套5为不锈钢套，保护套5优先选择硬度比铜套4大的材料，且有很好的耐腐蚀性，不锈钢套硬度大，并且耐氧化和耐腐蚀性好。

如图1-4所示，所述铜套4与保护套5之间设有灌封胶7，所述铜套4朝向加热管2的一端与加热管2之间设有灌封胶7，灌封胶7具有绝缘性，不仅起到固定的作用，还能使得接线端304和冷端具有耐击穿性，在使用时，加热管2和电线3不会因为瞬间高压而被击穿，运行稳定性更好。

实施例1

一种用于半导体设备的加热器，包括加热盘1、加热管2、电线3，所述加热盘1上设有若干个通孔102，所述加热盘1上设有引出槽101，所述加热盘1内设有2个加热管2，所述加热管2的各个端部上分别设有第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204，所述第一冷端201、第二冷端202、第三冷端203、第四冷端204从引出槽101中伸出，所述电线3包括第一电线301、第二电线302、第三电线303，所述第一电线301和第二电线302与电源相连，第一电线301、第二电线302的一端设有接线端304，所述第三电线303的两端设有接线端304，所述第一电线301的接线端304与第一冷端201相连，所述第二电线302的接线端304与第二冷端202相连，所述第三电线303的两端的接线端304分别与第三冷端203和第四冷端204相连，这样2个加热管2形成回路，与电源通电后进行加热，所述接线端304与冷端的连接处套设有铜套4，所述铜套4上套设有保护套5；所述冷端的直径小于加热管2的直径，所述接线端304与冷端相匹配，所述接线端304的直径小于电线3的直径；所述接线端304和冷端与铜套4过盈配合；所述电线3上套设有弹簧套，所述弹簧套的一端插入保护套5内；所述铜套4的外径为5mm；铜套4与保护套5之间设有灌封胶7，所述铜套4朝向加热管2的一端与加热管2之间设有灌封胶7。

实施例1的工艺，包括以下步骤：

步骤1:冷端处理；将冷端插入铜套4中，至铜套4长度一半，长度为10mm；采用液压夹线钳夹紧铜套4与冷端；打磨夹紧后铜套4变形飞边，保持铜套4外直径为5mm；

步骤2:银钎焊处理；将电线3插入铜套4另一端；由冷端与铜套4接口处以及铜套4与电线3接口处灌入银钎焊料；用液压夹线钳夹紧铜套4；使用火焰枪对银钎焊料烘烤，时间为3min，使得银钎焊料将铜套4与电线3和冷端粘合；打磨铜套4变形飞边，保持铜套4的外直径为5mm；

步骤3:灌胶处理；将灌胶工装8包裹在加热管2外部；灌胶工装8的位置至铜套4长度一半，为10mm；调整灌胶工装8与铜套4的纵向距离，保持均匀；在灌胶工装8内注入灌封胶7；

步骤4:干胶热处理；将灌胶完毕的加热器放入烤箱中，烤箱温度设置为175℃，保温3小时，随烤箱冷却至40℃，打开烤箱门冷却至室温；使得灌封胶7固化；

步骤5:加保护套5；将灌胶工装8取下；安装不锈钢套；

步骤6:二次灌胶：加弹簧套保护电线3接口；将保护套5安装完毕后；由电线3接口处注入灌封胶7至不锈钢套内；套上弹簧套；弹簧套一端插在保护套5内；

步骤7:二次干胶热处理：将保护套5和弹簧套固定完毕后，放入烤箱中，烤箱温度设置为175℃，保温3小时，随烤箱冷却至40℃，打开烤箱门冷却至室温，使得保护套5、弹簧套与灌封胶7固化。

上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种用于半导体设备的加热器，包括加热盘(1)、加热管(2)、电线(3)，其特征在于，所述加热盘(1)上设有若干个通孔(102)，所述加热盘(1)上设有引出槽(101)，所述加热盘(1)内设有2个加热管(2)，每个加热管(2)有2个端部，所述端部从引出槽(101)中伸出，所述端部设有冷端，其中1个加热管(2)的1个冷端与另1个加热管(2)的1个冷端通过电线(3)相连，剩余的2个冷端分别连接1根电线(3)，所述电线(3)上设有用于连接冷端的接线端(304)，所述接线端(304)与冷端的连接处套设有铜套(4)，所述铜套(4)上套设有保护套(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述冷端的直径小于加热管(2)的直径，所述接线端(304)与冷端相匹配，所述接线端(304)的直径小于电线(3)的直径。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述接线端(304)和冷端与铜套(4)过盈配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述电线(3)上套设有弹性件(6)。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述铜套(4)的外径为5mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述保护套(5)为不锈钢套。

7.根据权利要求4所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述弹性件(6)为弹簧套，所述弹簧套的一端插入保护套(5)内。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述铜套(4)与保护套(5)之间设有灌封胶(7)，所述铜套(4)朝向加热管(2)的一端与加热管(2)之间设有灌封胶(7)。

9.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的加热器，其特征在于，所述通孔(102)圆周排列均匀设置。

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