CN216354245U - 一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 - Google Patents
一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216354245U CN216354245U CN202122537585.9U CN202122537585U CN216354245U CN 216354245 U CN216354245 U CN 216354245U CN 202122537585 U CN202122537585 U CN 202122537585U CN 216354245 U CN216354245 U CN 216354245U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- supporting
- clamping
- silicon wafer
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，包括石英舟，石英舟包括石英底板，石英底板包括用于对硅片进行间隔支撑的支撑部件，支撑部件包括支撑主板，支撑主板内部设有通口，通口内部设有用于对硅片进行斜向支撑的倾斜板，倾斜板上设有用于对硅片进行卡设的卡设部件，卡设部件包括用于对硅片进行承载的载片板，旨在对硅片在石英舟内部的支撑排列重新排布，使得每一硅片错开间隔排列，使得吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间，提高硅片扩散的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片领域，具体是一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件。
背景技术
在晶体硅太阳能电池生产工艺中，扩散是核心工序。在硅片表面形成均匀的高质量的p-n结是电池效率提升的关键，也是工艺追求的目标。目前，常规生产的扩散工艺是在管式的扩散炉内，通过液态磷源(或硼源)的挥发，在硅片表面沉积磷原子(或硼原子)，然后进行向硅片体内扩散，制成p-n结。利用该方法进行扩散，工艺简单，成本较低，但是由于受到硅片表面绒面形貌、扩散进出舟、温差、气流等因素的影响，扩散结很难做到均匀，
扩散的原理是太阳能电池一般选用的是P型掺杂的单晶硅片或者是多晶硅片，我们就需要通过扩散在上面形成一个N型的扩散层，从而形成PN结。现在一般采用的都是磷扩散。扩散源是三氯氧磷(pocl3)，在900℃的高温下，它与硅片反应，生成二氧化硅和磷。
在高温下状态，单晶固体中会产生空位和填隙原子之类的点缺陷。当存在主原子或杂质原子的浓度梯度时，点缺陷会影响原子的运动。在固体中的扩散能够被看成为扩散物质借助于空位或自身填隙在晶格中的原子运动。在高温情况下，晶格原子在其平衡晶格位置附近振动。当某一晶格原子偶然地获得足够的能量而离开晶格位置，成为一个填隙原子，同时产生一个空位。当邻近的原子向空位迁移时，这种机理称为空位扩散。
在扩散工艺中，扩散均匀性成为扩散工艺的重中之重。目前主要采用从炉尾吹入大流量的氮气使扩散源分布在石英管内的技术，但是大量硅片存在石英管内部，硅片与硅片之间的间隙很难让炉尾吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间，会导致硅片扩散均匀性较差，在扩散和氧化过程中，硅片面与面接触的氮气量不同，最终导致硅片扩散不符合要求，本申请旨在对硅片在石英舟内部的支撑排列重新排布，使得每一硅片错开间隔排列，使得吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间，提高硅片扩散的均匀性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，包括石英舟，石英舟包括石英底板，石英底板包括用于对硅片进行间隔支撑的支撑部件，支撑部件包括支撑主板，支撑主板内部设有通口，通口内部设有用于对硅片进行斜向支撑的倾斜板，倾斜板上设有用于对硅片进行卡设的卡设部件，卡设部件包括用于对硅片进行承载的载片板。
通过采用上述技术方案：石英舟有很强的耐热性，支撑部件对硅片进行间隔支撑，倾斜板能够将硅片参差的支撑在石英舟内，卡设部件能够将硅片卡设在倾斜板上，避免硅片的卡设不稳导致的破损。
进一步设置：支撑主板的数量为四个，支撑主板与相邻支撑主板垂直设置，且通过卡扣连接，倾斜板包括左向倾斜板和右向倾斜板，左向倾斜板和右向倾斜板内部设有用于放置硅片的限位通口，左向倾斜板和右向倾斜板在支撑主板相对的两侧分别倾斜。
通过采用上述技术方案：支撑主板与相邻支撑主板垂直连接，支撑主板内部的左向倾斜板和右向倾斜板分别对硅片进行差错化支撑，加大硅片与硅片之间间隙，保证扩散的均匀性。
进一步设置：卡设部件包括用于若干对硅片进行卡设的卡设板，倾斜板靠近卡设板的位置设有侧板，侧板内部设有用于使卡设板滑移的滑动槽，若干卡设板滑动连接在滑动槽内部，卡设板与相邻卡设板相对的一侧设有用于将若干卡设板进行固定的磁吸。
通过采用上述技术方案：载片板对硅片边缘进行承载，卡设板对硅片进行卡设，卡设板能够在滑动槽内部移动，能够都对硅片不同位置进行卡设，磁吸能够对卡设板的大小自动进行调控，能够对硅片集中卡设或者分开卡设。
进一步设置：石英底板两侧设有用于保护硅片破损的侧挡板，侧挡板呈圆弧形，石英底板靠近支撑主板的位置设有限位槽，限位槽内部分别设有用于使支撑主板滑移的滑动杆，支撑主板靠近滑动杆的一侧设有移动槽，移动槽卡设在滑动杆上。
通过采用上述技术方案：侧挡板能够保护石英舟内部的硅片在进入扩散炉时不会碰撞，限位槽能够将支撑主板限位在石英底板内部，且能够通过滑动杆在石英底板内部滑动。
进一步设置：左向倾斜板和右向倾斜板与支撑主板相对的两侧倾斜角度为45度。
通过采用上述技术方案：45度的倾斜角度能够保证硅片与硅片之间间隙合适，能够在石英底板上尽可能设置更多的倾斜板，减少硅片扩散的成本。
进一步设置：载片板与卡设板相对的一侧分别设有保护硅片和增加与硅片摩擦力的耐高温胶层。
通过采用上述技术方案：耐高温胶层用于保护硅片在卡设时，因为卡设板而导致破损。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型旨在对硅片在石英舟内部的支撑排列重新排布，使得每一硅片错开间隔排列，使得吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间，提高硅片扩散的均匀性。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件的结构示意图；
图2为本实用新型一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件的局部示意图；
图3为本实用新型一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件的局部示意图；
图4为本实用新型一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件的整体剖面图。
图中，1、石英底板；2、支撑主板；3、侧挡板；4、左向倾斜板；5、右向倾斜板；6、限位通口；7、载片板；8、卡设板；9、侧板；10、限位槽；11、滑动杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，包括石英舟，石英舟包括石英底板1，石英底板1包括用于对硅片进行间隔支撑的支撑部件，支撑部件包括支撑主板2，支撑主板2内部设有通口，通口内部设有用于对硅片进行斜向支撑的倾斜板，石英舟有很强的耐热性，支撑部件对硅片进行间隔支撑，倾斜板能够将硅片参差的支撑在石英舟内。
石英底板1两侧设有用于保护硅片破损的侧挡板3，侧挡板 3呈圆弧形，石英底板1靠近支撑主板2的位置设有限位槽10，限位槽10内部分别设有用于使支撑主板2滑移的滑动杆11，支撑主板2靠近滑动杆11的一侧设有移动槽，移动槽卡设在滑动杆11上。侧挡板3能够保护石英舟内部的硅片在进入扩散炉时不会碰撞，限位槽10能够将支撑主板2限位在石英底板1内部，且能够通过滑动杆11在石英底板1内部滑动。
支撑主板2的数量为四个，支撑主板2与相邻支撑主板2 垂直设置，且通过卡扣连接，倾斜板包括左向倾斜板4和右向倾斜板5，左向倾斜板4和右向倾斜板5内部设有用于放置硅片的限位通口6，左向倾斜板4和右向倾斜板5在支撑主板2相对的两侧分别倾斜。左向倾斜板4和右向倾斜板5与支撑主板2 相对的两侧倾斜角度为45度。45度的倾斜角度能够保证硅片与硅片之间间隙合适，能够在石英底板1上尽可能设置更多的倾斜板，减少硅片扩散的成本。
支撑主板2与相邻支撑主板2垂直连接，支撑主板2内部的左向倾斜板4和右向倾斜板5分别对硅片进行差错化支撑，加大硅片与硅片之间间隙，保证扩散的均匀性。
倾斜板上设有用于对硅片进行卡设的卡设部件，卡设部件包括用于对硅片进行承载的载片板7，卡设部件能够将硅片卡设在倾斜板上，避免硅片的卡设不稳导致的破损。
卡设部件包括用于若干对硅片进行卡设的卡设板8，倾斜板靠近卡设板8的位置设有侧板9，侧板9内部设有用于使卡设板 8滑移的滑动槽，若干卡设板8滑动连接在滑动槽内部，卡设板 8与侧板9可拆卸连接，卡设板8与相邻卡设板8相对的一侧设有用于将若干卡设板8进行固定的磁吸。
载片板7对硅片边缘进行承载，卡设板8对硅片进行卡设，卡设板8能够在滑动槽内部移动，能够都对硅片不同位置进行卡设，磁吸能够对卡设板8的大小自动进行调控，能够对硅片集中卡设或者分开卡设。
载片板7与卡设板8相对的一侧分别设有保护硅片和增加与硅片摩擦力的耐高温胶层，耐高温胶层用于保护硅片在卡设时，因为卡设板8而导致破损。
本实用新型的工作原理是：操作人员开启支撑主板2上的卡扣，将支撑主板2向外侧移动，将硅片分别放置在左向倾斜板4和右向倾斜板5内部的限位通口6内，将硅片放置在每一限位通口6内的载片板7上，操作人员滑动卡设板8对硅片的边缘进行卡设，确定每一硅片卡设完成后，放入扩散炉内进行扩散，使得扩散炉吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间，提高硅片扩散的均匀性。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，包括石英舟，其特征在于：所述石英舟包括石英底板(1)，石英底板(1)包括用于对硅片进行间隔支撑的支撑部件，支撑部件包括支撑主板(2)，支撑主板(2)内部设有通口，通口内部设有用于对硅片进行斜向支撑的倾斜板，倾斜板上设有用于对硅片进行卡设的卡设部件，卡设部件包括用于对硅片进行承载的载片板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，其特征在于:所述支撑主板(2)的数量为四个，支撑主板(2)与相邻支撑主板(2)垂直设置，且通过卡扣连接，倾斜板包括左向倾斜板(4)和右向倾斜板(5)，左向倾斜板(4)和右向倾斜板(5)内部设有用于放置硅片的限位通口(6)，左向倾斜板(4)和右向倾斜板(5)在支撑主板(2)相对的两侧分别倾斜。
3.根据权利要求1所述的一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，其特征在于:所述卡设部件包括用于若干对硅片进行卡设的卡设板(8)，倾斜板靠近卡设板(8)的位置设有侧板(9)，侧板(9)内部设有用于使卡设板(8)滑移的滑动槽，若干卡设板(8)滑动连接在滑动槽内部，卡设板(8)与相邻卡设板(8)相对的一侧设有用于将若干卡设板(8)进行固定的磁吸。
4.根据权利要求1所述的一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，其特征在于:所述石英底板(1)两侧设有用于保护硅片破损的侧挡板(3)，侧挡板(3)呈圆弧形，石英底板(1)靠近支撑主板(2)的位置设有限位槽(10)，限位槽(10)内部分别设有用于使支撑主板(2)滑移的滑动杆(11)，支撑主板(2)靠近滑动杆(11)的一侧设有移动槽，移动槽卡设在滑动杆(11)上。
5.根据权利要求2所述的一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，其特征在于:所述左向倾斜板(4)和右向倾斜板(5)与支撑主板(2)相对的两侧倾斜角度为45度。
6.根据权利要求1所述的一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件，其特征在于:所述载片板(7)与卡设板(8)相对的一侧分别设有保护硅片和增加与硅片摩擦力的耐高温胶层。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122537585.9U CN216354245U (zh) | 2021-10-21 | 2021-10-21 | 一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122537585.9U CN216354245U (zh) | 2021-10-21 | 2021-10-21 | 一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216354245U true CN216354245U (zh) | 2022-04-19 |
Family
ID=81177538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122537585.9U Active CN216354245U (zh) | 2021-10-21 | 2021-10-21 | 一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216354245U (zh) |
-
2021
- 2021-10-21 CN CN202122537585.9U patent/CN216354245U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN211929454U (zh) | 光伏电池工艺炉内的载片舟 | |
| US20130143348A1 (en) | Heat treatment method of semiconductor wafers, manufacturing method of solar battery, and heat treatment device | |
| CN102246273A (zh) | 连续进给式化学气相沉积 | |
| CN101800261A (zh) | 制备太阳能电池上的选择性发射极的方法及其中使用的扩散设备 | |
| CN101404309A (zh) | 一种硅太阳电池发射极的扩散工艺 | |
| CN103632933B (zh) | N型硅片的硼扩散方法、晶体硅太阳能电池及其制作方法 | |
| CN216354245U (zh) | 一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件 | |
| CN106192014A (zh) | 碲锌镉晶体的移动循环退火改性方法 | |
| CN205692810U (zh) | 扩散石英舟 | |
| CN208715833U (zh) | 一种水平多层载具 | |
| CN203085500U (zh) | 扩散石英舟 | |
| CN103904016A (zh) | 硅片承载装置 | |
| JP2022533146A (ja) | 炉内でのシリコンリボンのガス曝露 | |
| CN213459672U (zh) | 一种石英舟 | |
| CN211700220U (zh) | 一种水平放片舟结构 | |
| CN205645765U (zh) | 立式热处理装置 | |
| KR101204786B1 (ko) | 태양전지 제조용 기판 안착 보트 | |
| CN206806305U (zh) | 一种扩散石英舟 | |
| CN205692809U (zh) | 扩散石英舟 | |
| CN115404462A (zh) | 基片载具及炉管镀膜设备 | |
| CN208157415U (zh) | 激光造型大功率半导体器件芯片 | |
| CN217604694U (zh) | 一种管式扩散炉的气体导向装置 | |
| JPS6020510A (ja) | 不純物拡散方法 | |
| CN208791810U (zh) | 石墨护板、铸锭设备 | |
| Nakajima | Crystal Growth of Si Ingots for Solar Cells Using Cast Furnaces |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |