CN216354073U - 用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备，包括放置板，所述放置板上设置有放置座，所述放置座的顶面转动设置有阻尼设置的底板，所述底板的顶面凸出放置座的表面，所述底板的顶面固定有对称设置的伸缩杆，所述伸缩杆的顶端连接有台体，所述台体与底板之间设置有自约束调节组件，从而能够在调节时，使其调节后能够进行自约束，减少其调节后固定的误差，使其更好的满足实际需求。

Description

用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备

技术领域

本实用新型涉及芯片测试领域，具体为用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备。

背景技术

在使用探针对测试设备的载物台上搭载晶圆测试时，由于晶圆上有多个芯片(以下称为DIE)，所以测试人员需要花费大量时间去寻找测试DIE或DIE上的相应点，这将需要花费较长的时间在移动载物台上。

授权公告号CN214278350U的一种用于芯片测试的载物台组件，包括载物台、第一滑块、第二滑块、第一滑块移动单元、第二滑块移动单元和移动把手；所述载物台设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述第二滑块上；所述第一滑块移动单元与所述第一滑块连接；所述第二滑块移动单元与所述第二滑块连接；所述移动把手设置在所述第二滑块上，用于对所述第二滑块施加外力使其移动；所述移动把手上还设置有空气开关。本实用新型还涉及一种芯片测试设备。实施本实用新型的用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备，具有以下有益效果：其容易实现同时兼顾快速和准确的移动、锁定时误差较小。

上述专利中虽然也能起到方便调节的作用，但是其依然需要手动的进行锁定，其依然在锁定时会出现偏差，对其使用测试时造成影响，为此我们提出了用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备，解决了上述所提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：用于芯片测试的载物台组件，包括放置板，所述放置板上设置有放置座，所述放置座的顶面转动设置有阻尼设置的底板；

所述底板的顶面凸出放置座的表面，所述底板的顶面固定有对称设置的伸缩杆，所述伸缩杆的顶端连接有台体；

所述台体与底板之间设置有自约束调节组件。

优选的，所述放置座的顶面设置有放置槽，所述放置槽的内底面开设有轨道槽，所述底板阻尼转动设置在放置槽中。

优选的，所述底板的底面固定有滑动设置轨道槽中的滑块，所述底板的外部套设有与放置槽内壁相对转动设置的橡胶套。

优选的，所述底板的顶面还固定有呈矩阵设置的操作杆。

优选的，所述自约束调节组件包括固定在底板上的定位管，所述定位管的两侧均开设有定位口，两个所述定位口之间滑动设置有定位杆，所述定位管上螺纹套设有环形套，且定位杆与环形套的内壁滑动设置，所述台体的底面连接有活动设置定位管中并连接在定位杆上的调节杆。

优选的，所述环形套的内壁中间处开设有槽口，所述定位杆的端部滑动设置在槽口中，所述定位管的外壁开设有外螺纹，所述环形套的内壁还设置有螺纹连接在定位管外螺纹上的内螺纹。

一种芯片测试设备，包括载物台组件，所述载物台组件是上述任意一项所述的载物台组件。

(三)有益效果

本实用新型提供了用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备。具备以下有益效果：通过放置座与底板的阻尼转动设置，使其在在调节台体的位置时，使其调节后能够进行自约束，减少其调节后固定的误差，而自约束调节组件的设定，使台体的高度能够较好的适应，进而使其更好的满足实际需求。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

图2为本实用新型中放置座的结构示意图；

图3为本实用新型中底板的底面结构示意图；

图4为本实用新型的正视结构示意图；

图5为本实用新型中环形套的剖视结构示意图；

图6为本实用新型中调节杆与定位杆连接的结构示意图。

图中：1、放置板；2、放置座；21、放置槽；22、轨道槽；3、底板；4、伸缩杆；5、环形套；51、槽口；52、内螺纹；6、定位管；61、定位口；7、台体；8、调节杆；9、操作杆；10、橡胶套；11、滑块；12、定位杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备，包括放置板1，放置板1上设置有放置座2，放置座2的顶面转动设置有阻尼设置的底板3，放置座2的顶面开设有环形结构的放置槽21，放置槽21的内底面开设有环形结构的轨道槽22，底板3阻尼转动设置在放置槽21中，底板3的底面固定有滑动设置轨道槽22中的两个滑块11，使底板3能够带动两个滑块11在轨道槽22中稳定滑动，底板3的外部套设有与放置槽21内壁相对转动设置的橡胶套10，使底板3在转动时能够被橡胶套10进行约束，使其转动调节后能够自约束在该位置上，底板3的顶面还固定有呈矩阵设置的操作杆9，操作杆9的设定使其方便进行操作；

底板3的顶面凸出放置座2的表面，底板3的顶面固定有对称设置的伸缩杆4，伸缩杆4的顶端连接有台体7；

台体7与底板3之间设置有自约束调节组件，自约束调节组件包括固定在底板3上的定位管6，定位管6的两侧均开设有竖向设置的定位口61，两个定位口61之间滑动设置有定位杆12，定位管6上螺纹套设有环形套5，且定位杆12与环形套5的内壁滑动设置，台体7的底面连接有活动设置定位管6中并连接在定位杆12上的调节杆8，环形套5的内壁中间处开设有槽口51，定位杆12的端部滑动设置在槽口51中，使定位杆12的两端相对槽口51滑动设置，定位管6的外壁开设有外螺纹，环形套5的内壁还设置有螺纹连接在定位管6外螺纹上的内螺纹52，进而使在转动环形套5时，环形套5能够沿着螺纹移动且环形套5能够带动定位杆12上下移动，使其调节台体7的使用高度。

在实际操作时，首先能够转动环形套5，环形套5能够在定位管6上螺纹转动时，而环形套5在转动时，其内壁槽口51相对定位杆12的端部滑动，进而环形套5能够带动定位杆12上升，使定位杆12带动调节杆8上升，进而改变了台体7的使用高度；

而同时在测试使用时，能够转动操作杆9，使底板3带动橡胶套10在放置槽21中转动，而转动后在橡胶套10与放置槽21之间的弹性作用下进行约束，使其转动调节后能够自约束在该位置上；

从而通过放置座与底板的阻尼转动设置，使其在在调节台体的位置时，使其调节后能够进行自约束，减少其调节后固定的误差，而自约束调节组件的设定，使台体的高度能够较好的适应，进而使其更好的满足实际需求。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：包括放置板(1)，所述放置板(1)上设置有放置座(2)，所述放置座(2)的顶面转动设置有阻尼设置的底板(3)；

所述底板(3)的顶面凸出放置座(2)的表面，所述底板(3)的顶面固定有对称设置的伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)的顶端连接有台体(7)；

所述台体(7)与底板(3)之间设置有自约束调节组件。

2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：所述放置座(2)的顶面设置有放置槽(21)，所述放置槽(21)的内底面开设有轨道槽(22)，所述底板(3)阻尼转动设置在放置槽(21)中。

3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：所述底板(3)的底面固定有滑动设置轨道槽(22)中的滑块(11)，所述底板(3)的外部套设有与放置槽(21)内壁相对转动设置的橡胶套(10)。

4.根据权利要求1所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：所述底板(3)的顶面还固定有呈矩阵设置的操作杆(9)。

5.根据权利要求1所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：所述自约束调节组件包括固定在底板(3)上的定位管(6)，所述定位管(6)的两侧均开设有定位口(61)，两个所述定位口(61)之间滑动设置有定位杆(12)，所述定位管(6)上螺纹套设有环形套(5)，且定位杆(12)与环形套(5)的内壁滑动设置，所述台体(7)的底面连接有活动设置定位管(6)中并连接在定位杆(12)上的调节杆(8)。

6.根据权利要求5所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于：所述环形套(5)的内壁中间处开设有槽口(51)，所述定位杆(12)的端部滑动设置在槽口(51)中，所述定位管(6)的外壁开设有外螺纹，所述环形套(5)的内壁还设置有螺纹连接在定位管(6)外螺纹上的内螺纹(52)。

7.一种芯片测试设备，包括载物台组件，其特征在于，所述载物台组件是如权利要求1-6任意一项所述的载物台组件。

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