CN216350857U - 探针卡保护装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种探针卡保护装置，用于保护探针卡，所述探针卡包括电路板，设置在电路板上的探针基座，以及设置在探针基座上的探针，其特征在于，所述探针卡保护装置包括至少一个连接柱和保护罩，所述连接柱的一端与所述电路板相连；所述保护罩包括罩体和连接部，所述罩体覆盖所述探针为所述探针提供保护；其中，所述连接柱上设置有滑槽，所述连接部与所述滑槽相匹配，所述保护罩可沿所述滑槽方向进行滑动实现保护罩的拆装，该探针卡保护装置拆装方便，安全可靠，制作简单，使用周期长，还不会对探针卡与测试机台的连接造成干涉，可为探针卡在与测试机台的拆装过程中提供有效保护。

Description

探针卡保护装置

技术领域

本实用新型涉及半导体测试领域，特别涉及一种探针卡保护装置。

背景技术

半导体生产制造的流程包括集成电路设计，晶圆制造，晶圆测试，晶圆切割，芯片封装，成品芯片测试。其中，晶圆测试可以将晶圆中有功能缺陷的芯片提前挑选出来，而晶圆测试中通常会用到具有多根探针的探针卡。测试时将探针卡上的探针与被测晶圆上的焊垫接触，探针输出的信号传输给测试仪器以实现晶圆测试。

现有的探针卡保护装置通常需要通过胶带与探针卡进行固定，在探针卡保护装置的拆装过程中便可能会对探针造成损害，胶带还可能具有残留，对探针卡造成污染。进一步地，在探针卡与测试机台连接的过程中，需要提前去除探针卡保护装置，再将探针卡固定在测试机台上，但在去除探针卡保护装置后，与测试机台进行固定的过程中探针并没有有效的保护，在此过程中如操作不当仍然会使探针卡上的探针损坏。探针的损坏多发生在探针卡的移动和安装拆卸过程中，现有的探针保护装置仅能对探针卡的移动过程提供保护，当探针卡在测试机台上进行拆装时则无法获得有效的保护。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种探针卡保护装置，通过连接柱将保护罩覆盖在电路板上，无需使用胶带封装，不会对探针卡造成污染，且保护罩的拆装方便，安全可靠，使用周期长，还不会对探针卡与测试机台的连接造成干涉，可为探针卡在与测试机台的拆装过程中提供有效保护。

本实用新型提供一种探针卡保护装置，用于保护探针卡，所述探针卡包括电路板，设置在电路板上的探针基座，以及设置在探针基座上的探针，其特征在于，所述探针卡保护装置包括：至少一个连接柱，所述连接柱的一端与所述电路板相连；保护罩，所述保护罩包括罩体和连接部，所述罩体覆盖所述探针为所述探针提供保护；其中，所述连接柱上设置有滑槽，所述连接部与所述滑槽相匹配，所述保护罩可沿所述滑槽方向进行滑动实现保护罩的拆装。

优选地，所述滑槽位于所述连接柱的侧面，所述连接柱至少为两个，两个所述连接柱对称设置在所述探针基座的两侧。

优选地，所述滑槽的开口朝向所述探针基座或背离所述探针基座，所述保护罩可平行于所述电路板滑动。

优选地，所述罩体包括底边和侧边，所述底边和所述侧边围成管状结构。

优选地，所述电路板包括第一端，所述保护罩从所述第一端插入和抽出，所述第一端与所述探针基座之间包括至少4个对称设置在所述探针基座左右两侧的连接柱，以防止所述保护罩在插入和抽出时发生偏斜。

优选地，所述罩体的截面包括矩形、弧形、半圆形、半椭圆形中的任意一种。

优选地，所述滑槽包括矩形槽、T形槽中的至少一种。

优选地，所述连接柱的高度小于所述探针的高度，所述保护罩的高度大于所述探针的高度。

优选地，所述电路板还包括与测试机台连接的第一连接端和第二连接端，所述连接柱和所述保护罩均位于所述第一连接端和所述第二连接端之间，避免所述探针卡与测试机台拆装时与所述保护罩发生干涉。

优选地，所述罩体采用透明材料制成。

本实用新型提供的探针卡保护装置，包括连接柱和保护罩，保护罩可沿连接柱的滑槽进行滑动，实现保护罩的插入和抽出，插入保护罩使保护罩覆盖在探针上方时，保护罩可对其内的探针提供保护，在进行测试时，横向抽出保护罩即可使探针裸露，保护罩的拆装极为简单便捷，不仅能对处于移动或与测试机台拆装过程中的探针提供保护，且安全可靠还可循环使用，不会残留杂物对探针卡造成污染，节省原料和人工。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出了根据本实用新型第一实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图；

图2示出了根据本实用新型第一实施例的探针卡保护装置在电路板上的仰视图；

图3示出了根据本实用新型第一实施例的探针卡保护装置进行安装的示意图；

图4示出了本实用新型第一实施例的探针卡及保护装置被固定在测试机台上的示意图；

图5示出了根据本实用新型第二实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图；

图6示出了根据本实用新型第三实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。

图1示出了根据本实用新型第一实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图，如图1所示，该探针卡包括电路板110，位于电路板110上的探针基座120，以及位于探针基座120上的探针130(探针130并非倾斜，图中仅为示意)，探针卡保护装置包括保护罩140和连接柱150。

保护罩140包括罩体和连接部143，其中，罩体包括底边141和两个侧边142，其中，两个侧边142分别位于底边141相对的两侧，侧边142例如垂直于底边141，侧边142的高度例如不小于探针130的高度，使保护罩140的底边141与电路板110之间的距离大于探针130顶端与电路板110之间的距离。连接部143例如由侧边142的延伸向内侧翻折形成，具体地，连接部143与侧边142相连，其垂直于侧边142，并朝向探针130一侧，即位于探针130左右两侧的连接部143均朝向探针130。底边141、侧边142以及连接部143形成一个类似管状的两端贯通的半包围式的保护结构，其底边141相对的一侧的开口朝向电路板110。图1中保护罩140的内部空间为矩形，当然地，其内部空间也可为圆弧形，即在满足内部空间可以充分容纳探针的前提下将底边141及侧边142替换为弧形边，形状及具体尺寸可根据实际情况进行调整，在此不再赘述。

连接柱150例如为柱状，其一端与探针卡的电路板110相连，连接柱150与探针基座120位于电路板110的同一侧，连接柱150为多个，多个连接柱150分别设置在探针基座120的两侧，连接柱150上具有滑槽151，滑槽151例如位于连接柱150的侧面，滑槽151例如为矩形槽，与保护罩140的连接部143相匹配，滑槽151例如背向探针基座120开口朝向外侧，保护罩140向内翻折的连接部143恰好可以放入滑槽151并在滑槽151中滑动，连接柱150顶面与电路板110的距离小于探针130顶端与电路板110的距离。

进一步地，图1中仅示出了连接柱150位于探针基座120两侧，罩体两侧均设置有连接部143的情况，当然地，连接柱150也可以仅为一个，也可将连接柱150仅设置在探针基座120的一侧，罩体的连接部143与连接柱150相对应，连接部143与连接柱150的滑槽相对应，其同样可以实现保护罩140与连接柱150的连接。

图2示出了本实用新型第一实施例的探针卡保护装置在探针卡上的仰视图；图中可见，该探针保护装置包括6个连接柱150和1个保护罩140，保护罩140为矩形，保护罩140的尺寸大于探针基座120小于电路板110，保护罩140可通过连接部143与滑槽151的配合实现沿箭头所示方向的横向移动。具体地，连接柱150例如对称设置在探针基座120的上下两侧，每侧均具有3个连接柱150，图中探针基座120的左侧具有1对连接柱150，右侧具有两对连接柱150，优选地，保护罩140从右侧滑入和滑出，右侧的两对连接柱150不仅可以与保护罩140相连，还可以起到一定的导向作用，防止保护罩140在滑动过程中歪斜撞击探针130，使探针130受损。当然地，连接柱150的数量和样式可根据需求进行调整，连接柱150也可直接变为滑轨等形式，其相应的变形在此不再赘述。

图3示出了本实用新型第一实施例的探针卡保护装置进行安装的示意图。该图示中，保护罩140通过其连接部143与连接柱150的滑槽151相配合，使得保护罩140可沿滑槽151方向进行滑动，保护罩140与电路板110围成管状空间，随着保护罩140的滑动，逐步使探针130完全处于保护罩140的覆盖中，从而防止探针130受外界磕碰造成损伤，如发生碰撞冲击等则由保护罩140承受，可以有效防止探针130变形、弯折损坏。保护罩140的尺寸小于电路板110的尺寸。进一步地，保护罩140从所述电路板110的同一侧插入和抽出，为了减小保护罩140在插入和抽出时发生的偏斜，在保护罩140插入并覆盖探针130前，单侧的连接部143经过至少两个连接柱150。即在电路板110上，保护罩140的插入和抽出端与探针基座120之间包括至少4个对称设置在探针基座120两侧的连接柱，这4个连接柱150及其上的滑槽151可以限制保护罩140的偏移，防止保护罩140在插入或抽出过程中发生偏斜，撞击探针130造成探针130损伤。

图4示出了本实用新型第一实施例的探针卡及保护装置被固定在测试机台上的示意图；图中可见，该探针卡通过固定螺栓160与测试机台170相连，由于电路板110的横向尺寸(宽度)大于保护罩140的横向尺寸(宽度)，固定螺栓160在电路板110的外侧通过第一连接端111和第二连接端112与电路板110相连，由于连接柱150和保护罩140均位于第一连接端111和第二连接端112之间，故保护罩140并不会对探针卡与测试机台170的连接造成干涉，使得该探针卡保护装置可以在探针卡与测试机台170进行连接期间继续对探针卡提供保护，在探针卡与测试机台固定后，再通过滑动抽出保护罩140使探针130露出，类似地，在测试完成拆卸探针卡时，可以首先将保护罩140插入到位，使探针130处于保护罩140的保护之下，再从测试机台170上将探针卡拆下。该探针卡保护装置不仅不会对探针卡的拆装造成干涉，还可以有效对处于拆装过程中的探针卡进行保护，防止拆装操作中可能对探针卡造成的损伤，且保护罩的插入及抽出也极为便捷，操作简单。

图5示出了根据本实用新型第二实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图，如图5所示，该第二实施例与第一实施例的区别在于，其连接柱250的滑槽是朝向内侧的，相应地，保护罩240的连接部是向外侧翻折形成的，连接部与连接柱250的滑槽相对应，该第二实施例的其他部分均与第一实施例中的相类似，不再赘述。

图6示出了根据本实用新型第三实施例的探针卡保护装置连接在探针卡上的侧视图，如图6所示，该第三实施例中连接柱350上的滑槽351为T形滑槽，相应地，保护罩340的连接部343同样变成了与其匹配的T形，当然地，还可直接将探针卡的电路板110进行加厚，直接在电路板110上开设T形滑槽，加厚的电路板110具有更强的机械强度，不易变形，直接在电路板110上开设滑槽也可省去连接柱350的设置。进一步地，保护罩340的罩体的底边341例如为透明材料，可将底边341变为具有一定厚度的类似凸透镜的结构，使其具有一定的放大功能，通过该放大功能，操作人员可以更加清晰的观察到保护罩内探针130区域的情况，及时发现夹杂其中的杂物，查看探针130的磨损、弯折、变形等状况，发现问题进行及时处理，避免后续可能导致的更多问题。

本实用新型提供的探针卡保护装置，包括连接柱和保护罩，保护罩可沿连接柱的滑槽进行滑动，实现保护罩的插入和抽出，插入保护罩使保护罩覆盖在探针上方时，保护罩可对其内的探针提供保护，在进行测试时，横向抽出保护罩即可使探针裸露，保护罩的拆装极为简单便捷，不仅能对处于移动或与测试机台拆装过程中的探针提供保护，且安全可靠还可循环使用，不会残留杂物对探针卡造成污染，节省原料和人工。依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种探针卡保护装置，用于保护探针卡，所述探针卡包括电路板，设置在电路板上的探针基座，以及设置在探针基座上的探针，其特征在于，所述探针卡保护装置包括：

至少一个连接柱，所述连接柱的一端与所述电路板相连；

保护罩，所述保护罩包括罩体和连接部，所述罩体覆盖所述探针为所述探针提供保护；

其中，所述连接柱上设置有滑槽，所述连接部与所述滑槽相匹配，所述保护罩可沿所述滑槽方向进行滑动实现保护罩的拆装。

2.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述滑槽位于所述连接柱的侧面，所述连接柱至少为两个，两个所述连接柱对称设置在所述探针基座的两侧。

3.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述滑槽的开口朝向所述探针基座或背离所述探针基座，所述保护罩可平行于所述电路板滑动。

4.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述罩体包括底边和侧边，所述底边和所述侧边围成管状结构。

5.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述电路板包括第一端，所述保护罩从所述第一端插入和抽出，所述第一端与所述探针基座之间包括至少4个对称设置在所述探针基座左右两侧的连接柱，以防止所述保护罩在插入和抽出时发生偏斜。

6.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述罩体的截面包括矩形、弧形、半圆形、半椭圆形中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述滑槽包括矩形槽、T形槽中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述连接柱的高度小于所述探针的高度，所述保护罩的高度大于所述探针的高度。

9.根据权利要求1-8任一项所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述电路板还包括与测试机台连接的第一连接端和第二连接端，所述连接柱和所述保护罩均位于所述第一连接端和所述第二连接端之间，避免所述探针卡与测试机台拆装时与所述保护罩发生干涉。

10.根据权利要求1所述的探针卡保护装置，其特征在于，所述罩体采用透明材料制成。

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