CN216334871U - 一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体，所述主体的表面滑动套设有皮带，所述主体的两侧对称固定有两个第一固定块，所述第一固定块的一端表面开设有第一限位槽，所述主体的一端设置有弧形板，所述弧形板的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴；通过设计的弧形板和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，通过设计的连接杆、第一固定块、第一限位槽、第二限位槽、塑料板、第三限位槽、卡头、第四限位槽、推动块，方便对弧形板进行安装与拆卸，有利于定期对其进行清洗，可以重复使用。

Description

一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置

技术领域

本实用新型属于输送装置技术领域，具体涉及一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置。

背景技术

晶圆储存盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆储存盒来搬运和储存晶圆，而在晶圆储存盒加工过程中需要对其进行运输，要使用到一种输送装置。

现有的晶圆储存盒加工专用输送装置在使用时，其上的皮带表面容易附着上异物，在对晶圆储存盒输送过程中，这些异物可能粘附在其表面，造成污染，而且晶圆储存盒在输送过程中，可能会受其它外力影响滑出皮带的表面，所以需要设计一种结构解决该问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体，所述主体的表面滑动套设有皮带，所述主体的两侧对称固定有两个第一固定块，所述第一固定块的一端表面开设有第一限位槽，所述主体的一端设置有弧形板，所述弧形板的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴，所述弧形板的两端对称固定有两个连接杆，所述连接杆的一端嵌入至对应第一限位槽的内部，所述连接杆的一端表面开设有第二限位槽，所述第二限位槽的一侧内壁开设有两个第三限位槽，所述第一固定块的底部开设有第四限位槽，所述第四限位槽的一侧内壁开设有第五限位槽，所述第五限位槽的一侧内壁开设有第六限位槽，所述第四限位槽的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽相连通的通孔，所述第四限位槽的内部设置有塑料板，所述塑料板的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽的内部，所述塑料板的一侧固定有两个卡头，所述卡头嵌入至对应第三限位槽的内部。

优选的，所述第四限位槽的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，所述滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，所述滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，所述滑块的一端嵌入至第四限位槽的内部与塑料板固定连接。

优选的，所述第四限位槽的内部设置有截面呈“L”型结构的推动块，所述推动块的一端嵌入至第五限位槽的内部，所述推动块的一侧贯穿开设有滑动孔，所述塑料板贯穿滑动孔的内部。

优选的，所述滑动孔的内壁表面等距离设置有多个滚珠，所述滚珠与塑料板的表面滚动连接。

优选的，所述主体的顶部相对于皮带的两侧对称固定有两个安装座，所述安装座的内侧开设有第一容纳槽，所述第一容纳槽的内部嵌入有挡板，所述挡板的内侧固定有缓冲垫，所述挡板的底部等距离开设有多个第二容纳槽，所述第一容纳槽的内壁表面等距离固定有多个铁柱，所述铁柱嵌入至对应第二容纳槽的内部。

优选的，所述第二容纳槽的内部固定有磁铁，所述磁铁与铁柱磁连接。

优选的，所述主体的底部固定有支腿，所述支腿的底端设置有滑轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设计的弧形板和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，通过设计的连接杆、第一固定块、第一限位槽、第二限位槽、塑料板、第三限位槽、卡头、第四限位槽、推动块，方便对弧形板进行安装与拆卸，有利于定期对其进行清洗，可以重复使用。

2、通过设计的安装座、挡板、第一容纳槽、第二容纳槽、铁柱，可以对晶圆储存盒起到阻挡作用，避免其受外力影响滑出皮带的表面，通过设计的缓冲垫，当晶圆储存盒撞击在挡板上时，可以起到缓冲、防护的作用，避免储存盒出现损坏。

附图说明

图1为本实用新型正视图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型弧形板的立体图；

图4为本实用新型图1中A区的正视剖视图；

图5为本实用新型图1中B区的左视剖视图；

图中：1、主体；2、弧形板；3、连接杆；4、第一固定块；5、安装座；6、挡板；7、缓冲垫；8、第一限位槽；9、第二限位槽；10、塑料板；11、第三限位槽；12、卡头；13、第四限位槽；14、推动块；15、第五限位槽；16、第六限位槽；17、滑动孔；18、第一容纳槽；19、第二容纳槽；20、铁柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体1，主体1的表面滑动套设有皮带，主体1的两侧对称固定有两个第一固定块4，第一固定块4的一端表面开设有第一限位槽8，主体1的一端设置有弧形板2，弧形板2作为毛刷的载体，弧形板2的内侧固定有毛刷，通过设计的弧形板2和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，毛刷与皮带的表面紧贴，弧形板2的两端对称固定有两个连接杆3，连接杆3的一端嵌入至对应第一限位槽8的内部，连接杆3的一端表面开设有第二限位槽9，第二限位槽9的一侧内壁开设有两个第三限位槽11，第一固定块4的底部开设有第四限位槽13，第四限位槽13的一侧内壁开设有第五限位槽15，第四限位槽13和第五限位槽15可以容纳推动块14，第五限位槽15的一侧内壁开设有第六限位槽16，推动块14的一端可以嵌入至第六限位槽16，对此时结构的状态进行固定，避免弹簧反弹，第四限位槽13的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽8相连通的通孔，第四限位槽13的内部设置有塑料板10，塑料板10可以带动卡头12同向滑动，塑料板10的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽9的内部，塑料板10的一侧固定有两个卡头12，卡头12和第三限位槽11可以对连接杆3进行限位，避免其在第一限位槽8的内部发生相对滑动，卡头12嵌入至对应第三限位槽11的内部，第四限位槽13的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，滑块的一端嵌入至第四限位槽13的内部与塑料板10固定连接，第四限位槽13的内部设置有截面呈“L”型结构的推动块14，推动块14可以带动塑料板10同向滑动，推动块14的一端嵌入至第五限位槽15的内部，推动块14的一侧贯穿开设有滑动孔17，塑料板10贯穿滑动孔17的内部，滑动孔17的内壁表面等距离设置有多个滚珠，滚珠可以减小推动块14滑动时的摩擦力，滚珠与塑料板10的表面滚动连接。

本实施例中，优选的，主体1的顶部相对于皮带的两侧对称固定有两个安装座5，安装座5的内侧开设有第一容纳槽18，第一容纳槽18的内部嵌入有挡板6，挡板6可以对晶圆储存盒起到阻挡作用，避免其受外力影响滑出皮带的表面，挡板6的内侧固定有缓冲垫7，缓冲垫7为橡胶材质构件，缓冲垫7可以对晶圆储存盒的撞击起到缓冲、防护的作用，挡板6的底部等距离开设有多个第二容纳槽19，第二容纳槽19可以容纳铁柱20，第一容纳槽18的内壁表面等距离固定有多个铁柱20，铁柱20嵌入至对应第二容纳槽19的内部，第二容纳槽19的内部固定有磁铁，磁铁可以提高铁柱20的稳定性，磁铁与铁柱20磁连接。

本实施例中，优选的，主体1的底部固定有支腿，支腿的底端设置有滑轮，滑轮方便装置的移动。

本实用新型的工作原理及使用流程：该实用新型在使用时，首先将弧形板2和毛刷安装在装置上，向上推动推动块14，使其带动塑料板10同向移动，塑料板10带动滑块在滑槽的内部同向移动，并且对弹簧进行挤压，使其受力收缩，直至塑料板10与通孔的一侧内壁相抵，无法再移动为止，然后拨动推动块14，使得塑料板10在滑动孔17的内部发生相对滑动，滑动孔17内壁表面上的滚珠贴合着塑料板10的表面发生滚动，以此减小滑动时的摩擦力，直至推动块14的一端嵌入至第六限位槽16的内部，然后将连接杆3的一端嵌入至第一限位槽8的内部，塑料板10的一端随之嵌入至第二限位槽9的内部，此时弧形板2内侧的毛刷与皮带的表面紧贴，反向拨动推动块14，使其一端滑出第六限位槽16的内部，弹簧失去挤压后，反向推动滑块，滑块带动塑料板10反向移动，塑料板10底部的卡头12嵌入至对应第三限位槽11的内部，就将弧形板2和毛刷安装好了，该结构可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染；接下来将挡板6安装在装置上，将挡板6的底部嵌入至第一容纳槽18的内部，使得第一容纳槽18内壁表面上的多个铁柱20嵌入至对应第二容纳槽19的内部，并且与第二容纳槽19内部的磁铁磁连接，该结构可以对晶圆储存盒起到阻挡作用，避免其受外力影响滑出皮带的表面，挡板6内侧的缓冲垫7可以对晶圆储存盒的撞击起到缓冲、防护的作用。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体（1），其特征在于：所述主体（1）的表面滑动套设有皮带，所述主体（1）的两侧对称固定有两个第一固定块（4），所述第一固定块（4）的一端表面开设有第一限位槽（8），所述主体（1）的一端设置有弧形板（2），所述弧形板（2）的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴，所述弧形板（2）的两端对称固定有两个连接杆（3），所述连接杆（3）的一端嵌入至对应第一限位槽（8）的内部，所述连接杆（3）的一端表面开设有第二限位槽（9），所述第二限位槽（9）的一侧内壁开设有两个第三限位槽（11），所述第一固定块（4）的底部开设有第四限位槽（13），所述第四限位槽（13）的一侧内壁开设有第五限位槽（15），所述第五限位槽（15）的一侧内壁开设有第六限位槽（16），所述第四限位槽（13）的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽（8）相连通的通孔，所述第四限位槽（13）的内部设置有塑料板（10），所述塑料板（10）的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽（9）的内部，所述塑料板（10）的一侧固定有两个卡头（12），所述卡头（12）嵌入至对应第三限位槽（11）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述第四限位槽（13）的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，所述滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，所述滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，所述滑块的一端嵌入至第四限位槽（13）的内部与塑料板（10）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述第四限位槽（13）的内部设置有截面呈“L”型结构的推动块（14），所述推动块（14）的一端嵌入至第五限位槽（15）的内部，所述推动块（14）的一侧贯穿开设有滑动孔（17），所述塑料板（10）贯穿滑动孔（17）的内部。

4.根据权利要求3所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述滑动孔（17）的内壁表面等距离设置有多个滚珠，所述滚珠与塑料板（10）的表面滚动连接。

5.根据权利要求1所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述主体（1）的顶部相对于皮带的两侧对称固定有两个安装座（5），所述安装座（5）的内侧开设有第一容纳槽（18），所述第一容纳槽（18）的内部嵌入有挡板（6），所述挡板（6）的内侧固定有缓冲垫（7），所述挡板（6）的底部等距离开设有多个第二容纳槽（19），所述第一容纳槽（18）的内壁表面等距离固定有多个铁柱（20），所述铁柱（20）嵌入至对应第二容纳槽（19）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述第二容纳槽（19）的内部固定有磁铁，所述磁铁与铁柱（20）磁连接。

7.根据权利要求1所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述主体（1）的底部固定有支腿，所述支腿的底端设置有滑轮。

Images