CN216329256U - 一种外壁处理用驱转工装 - Google Patents

Abstract

一种外壁处理用驱转工装，包括下调机构，下调机构设有一对夹持机构，夹持机构均设有驱转机构，下调机构用于调节夹持机构之间的间距，夹持机构用于调节驱转机构，以使驱转机构用于晶圆棒两端的夹持，并使驱转机构带动晶圆棒进行转动；下调机构包括一对折形板，折形板之间安装有一对调节轴承座，调节轴承座之间设有多根调节导杆，其中一个调节轴承座安装有调节电机，调节电机的输出轴连接有调节丝杆，调节丝杆两端的螺纹旋向相反，调节丝杆的两端均设有调节座，调节座上端均设有调节底板。本实用新型在进行晶圆棒加工时，方便进行晶圆棒两端的夹持，同时当对晶圆棒的外壁打磨时，能够带动晶圆棒进行稳定的转动，具有较强的实用性。

Description

一种外壁处理用驱转工装

技术领域

本实用新型涉及芯片加工设备相关技术领域，尤其涉及一种外壁处理用驱转工装。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。

其中单晶硅生长时常采用人工直拉法将单晶硅制备呈棒状材料，而通过直拉法制备的晶圆棒其外壁粗糙程度较大，而当晶圆棒外壁的粗糙程度增大将对晶圆棒分切以及晶圆的打磨操作造成影响，因此当制备完成后先需要对晶圆棒的外壁进行打磨，一方面降低晶圆棒外壁的粗糙程度，另一方面确保晶圆棒圆度。而现有的在进行晶圆棒打磨时，存在着不方便进行晶圆棒的夹持，同时在打磨的过程中，通常采用打磨部件转动的方式对晶圆棒进行打磨，这种打磨方式极不容易确保晶圆棒的圆度。

实用新型内容

本实用新型提供一种外壁处理用驱转工装，以解决上述现有技术的不足，在进行晶圆棒加工时，方便进行晶圆棒两端的夹持，能够带动晶圆棒进行稳定的转动，从而确保晶圆棒打磨时的圆度。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种外壁处理用驱转工装，包括下调机构，下调机构设有一对夹持机构，夹持机构均设有驱转机构，下调机构用于调节夹持机构之间的间距，夹持机构用于调节驱转机构，以使驱转机构用于晶圆棒两端的夹持，并使驱转机构带动晶圆棒进行转动；

下调机构包括一对折形板，折形板之间安装有一对调节轴承座，调节轴承座之间设有多根调节导杆，其中一个调节轴承座安装有调节电机，调节电机的输出轴连接有调节丝杆，调节丝杆两端的螺纹旋向相反，调节丝杆的两端均设有调节座，调节座上端均设有调节底板。

进一步地，夹持机构包括安装于调节底板两端均向上延伸地设有一对上延柱，上延柱上端安装有夹持端板，夹持端板几何中心处成形有圆孔，圆孔处呈圆周阵列地设有十字板，十字板的各个支板均成形有调节孔，十字板的中间位置处设有中板，中板的外壁安装有中块。

进一步地，夹持机构还包括呈圆周阵列地设有四对夹持轴承座，位于内侧的夹持轴承座均安装于中块，每对夹持轴承座之间设有多根夹持导杆，位于外侧的夹持轴承座均安装有夹持电机，夹持电机的输出轴均连接有夹持丝杆，夹持丝杆均设有夹持座，夹持座分别穿于调节孔。

进一步地，驱转机构包括均安装于夹持座内侧端的内板，内板均向外延伸地设有外伸连板，外伸连板的外侧端设有转动座，外伸连板向上延伸地设有一对上延座，位于外侧的上延座均安装有驱转电机，驱转电机的输出轴连接有驱动轮，驱动轮套设有传动带，传动带的另一端套设有从动轮，从动轮设有转动杆，转动杆穿于转动座，转动杆的外侧端设有转动轮。

进一步地，转动轮的外壁设有防滑橡胶垫。

上述技术方案的优点在于：

本实用新型在进行晶圆棒加工时，方便进行晶圆棒两端的夹持，同时当对晶圆棒的外壁打磨时，能够带动晶圆棒进行稳定的转动，从而确保晶圆棒打磨时的圆度，提高了晶圆棒的质量，具有较强的实用性。

附图说明

图1示出了其中一种实施例的立体结构图。

图2示出了A处放大图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1-图2所示，一种外壁处理用驱转工装，包括下调机构1，下调机构1设有一对夹持机构2，夹持机构2均设有驱转机构3，下调机构1用于调节夹持机构2之间的间距，夹持机构2用于调节驱转机构3，以使驱转机构3用于晶圆棒两端的夹持，并使驱转机构3带动晶圆棒进行转动。

该装置通过下调机构1、夹持机构2以及驱转机构3方便对晶圆棒的两端进行夹持，同时能够带动晶圆棒进行转动。其中，下调机构1能调节夹持机构2之间的间距，从而方便通过驱转机构3对晶圆棒的两端进行夹持。夹持机构2能对驱转机构3之间的间距进行调节，从而方便通过驱转机构3对晶圆棒两端进行夹持，驱转机构3能对晶圆棒的两端进行夹持，在夹持时能够确保晶圆棒的转动轴向与晶圆棒的轴线重合，从而确保打磨后晶圆棒的圆度。驱转机构3能够带动晶圆棒进行转动，在晶圆棒转动的过程中，方便对晶圆棒的外壁进行打磨操作。在操作中，将晶圆棒转移至驱转机构3之间，而后，通过下调机构1对驱转机构3之间的间距进行调节，最终使得驱转机构3作用于晶圆棒的两端，而后通过夹持机构2对驱转机构3之间的间距进行调节，并最终筒驱转机构3完成对晶圆棒两端的夹持。

下调机构1包括一对折形板10，折形板10之间安装有一对调节轴承座11，调节轴承座11之间设有多根调节导杆12，其中一个调节轴承座11安装有调节电机14，调节电机14的输出轴连接有调节丝杆13，调节丝杆13两端的螺纹旋向相反，调节丝杆13的两端均设有调节座15，调节座15上端均设有调节底板16。该机构在调节时，通过调节电机14对调节丝杆13进行调节，调节丝杆13在转动时将带动位于两端的调节座15相互靠近，而调节座15的运动将带动夹持机构2相互靠近，最终通过驱转机构3对晶圆棒的两端完成夹持，这种调节方式调精度高，且调节速度较快，同时能够实现自动调节，从而提高了晶圆棒加工时的自动化程度。

夹持机构2包括安装于调节底板16两端均向上延伸地设有一对上延柱20，上延柱20上端安装有夹持端板21，夹持端板21几何中心处成形有圆孔210，圆孔210处呈圆周阵列地设有十字板22，十字板22的各个支板均成形有调节孔220，十字板22的中间位置处设有中板23，中板23的外壁安装有中块24。

夹持机构2还包括呈圆周阵列地设有四对夹持轴承座25，位于内侧的夹持轴承座25均安装于中块24，每对夹持轴承座25之间设有多根夹持导杆26，位于外侧的夹持轴承座25均安装有夹持电机27，夹持电机27的输出轴均连接有夹持丝杆28，夹持丝杆28均设有夹持座29，夹持座29分别穿于调节孔220。

夹持机构2驱动驱转机构3对晶圆棒的两端进行夹持时，同时启动各个夹持电机27，在夹持电机27的带动下各个夹持座29沿着夹持导杆26的轴向进行运动，夹持座29在运动时将对驱转机构3的位置进行调节，这种调节方式调节后稳定性强，同时控制精度高。而为了确保驱转机构3在驱动晶圆棒转动时的稳定性以及驱转机构3的结构强度，因此设置了十字板22，同时在十字板22上成形了调节孔220。

驱转机构3包括均安装于夹持座29内侧端的内板30，内板30均向外延伸地设有外伸连板31，外伸连板31的外侧端设有转动座，外伸连板31向上延伸地设有一对上延座32，位于外侧的上延座32均安装有驱转电机33，驱转电机33的输出轴连接有驱动轮34，驱动轮34套设有传动带35，传动带35的另一端套设有从动轮，从动轮设有转动杆，转动杆穿于转动座，转动杆的外侧端设有转动轮36。转动轮36的外壁设有防滑橡胶垫。该机构中的转动轮36在进行晶圆棒夹持时，对晶圆棒起着限位支撑夹持的作用，同时地，转动轮36在转动时将带动晶圆棒进行转动，而当晶圆棒进行转动时，驱转电机33带动驱动轮34进行转动，驱动轮34在转动时将通过传动带35带动从动轮进行转动，从动轮在转动时将带动转动轮36进行转动，而转动轮36的转动将带动晶圆棒进行转动，同时为了确保夹持的稳定以及能够带动晶圆棒进行转动，因此在转动轮36的外壁设置了防滑橡胶垫。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (5)

1.一种外壁处理用驱转工装，其特征在于，包括下调机构（1），下调机构（1）设有一对夹持机构（2），夹持机构（2）均设有驱转机构（3），下调机构（1）用于调节夹持机构（2）之间的间距，夹持机构（2）用于调节驱转机构（3），以使驱转机构（3）用于晶圆棒两端的夹持，并使驱转机构（3）带动晶圆棒进行转动；

下调机构（1）包括一对折形板（10），折形板（10）之间安装有一对调节轴承座（11），调节轴承座（11）之间设有多根调节导杆（12），其中一个调节轴承座（11）安装有调节电机（14），调节电机（14）的输出轴连接有调节丝杆（13），调节丝杆（13）两端的螺纹旋向相反，调节丝杆（13）的两端均设有调节座（15），调节座（15）上端均设有调节底板（16）。

2.根据权利要求1所述的外壁处理用驱转工装，其特征在于，夹持机构（2）包括安装于调节底板（16）两端均向上延伸地设有一对上延柱（20），上延柱（20）上端安装有夹持端板（21），夹持端板（21）几何中心处成形有圆孔（210），圆孔（210）处呈圆周阵列地设有十字板（22），十字板（22）的各个支板均成形有调节孔（220），十字板（22）的中间位置处设有中板（23），中板（23）的外壁安装有中块（24）。

3.根据权利要求2所述的外壁处理用驱转工装，其特征在于，夹持机构（2）还包括呈圆周阵列地设有四对夹持轴承座（25），位于内侧的夹持轴承座（25）均安装于中块（24），每对夹持轴承座（25）之间设有多根夹持导杆（26），位于外侧的夹持轴承座（25）均安装有夹持电机（27），夹持电机（27）的输出轴均连接有夹持丝杆（28），夹持丝杆（28）均设有夹持座（29），夹持座（29）分别穿于调节孔（220）。

4.根据权利要求3所述的外壁处理用驱转工装，其特征在于，驱转机构（3）包括均安装于夹持座（29）内侧端的内板（30），内板（30）均向外延伸地设有外伸连板（31），外伸连板（31）的外侧端设有转动座，外伸连板（31）向上延伸地设有一对上延座（32），位于外侧的上延座（32）均安装有驱转电机（33），驱转电机（33）的输出轴连接有驱动轮（34），驱动轮（34）套设有传动带（35），传动带（35）的另一端套设有从动轮，从动轮设有转动杆，转动杆穿于转动座，转动杆的外侧端设有转动轮（36）。

5.根据权利要求4所述的外壁处理用驱转工装，其特征在于，转动轮（36）的外壁设有防滑橡胶垫。

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