CN216274428U - 一种用于电镀设备的工装及电镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于电镀设备的工装及电镀设备，用于电镀设备的工装包括：本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。本申请通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

Description

一种用于电镀设备的工装及电镀设备

技术领域

本实用新型一般涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于电镀设备的工装及电镀设备。

背景技术

电镀设备应用于半导体制造，其配置有电镀用于电镀设备的工装，该滤芯用于过滤药液中的杂质。

在相关技术中，电镀用于电镀设备的工装包括上盖，内盖及载盘，载盘用于放置晶圆；内盖用于密封晶圆外围洗边位置，使洗边位置无法接触镀液，从而保证洗边位置不会镀上金；上盖旋紧后可将内盖与载台及产品压合紧密。

然而，上述用于电镀设备的工装存在密封效果不佳，使得镀液进入洗边位置进而导致漏镀现象。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于电镀设备的工装及电镀设备。

本申请提供一种用于电镀设备的工装，其包括：

本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；

密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；

吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。

作为可选的方案，所述出气孔的数量为多个，若干个所述出气孔沿所述容置槽周向布置。

作为可选的方案，所述出气孔与所述容置槽连通的开口位于所述容置槽的侧壁上。

作为可选的方案，所述出气孔与所述容置槽连通的开口靠近所述容置槽的底壁设置。

作为可选的方案，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线成锐角，其中，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线交点位于所述容置槽的开口一侧。

作为可选的方案，所述容置槽的侧壁上设置有腔体，所述腔体与所述出气孔连通，并且所述腔体与所述吹气组件连通。

作为可选的方案，所述腔体为环形。

作为可选的方案，所述吹气组件包括：吹气嘴，与气源相连通；及控制阀，所述控制阀用于控制所述吹气嘴的启闭

作为可选的方案，所述保护气体为氮气。

本申请还提供一种电镀设备，其包括用于电镀设备的工装。

本申请通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例提供的一种用于电镀设备的工装的示意图；

图2是图1的纵向方向的剖面图一；

图3是图1的纵向方向的剖面图二；

图4是图3的A-A方向的剖面图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

本实用新型使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本实用新型。在本实用新型和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

图1示出了一种用于电镀设备的工装的结构示意图。

如图1至图4所示，用于电镀设备的工装包括本体10、密封件30 和吹气组件(未示出)。

本体10上设置有容置槽11，容置槽11用于放置待镀件20，本体 10上还设置有出气孔12，出气孔12的一端与容置槽11连通；密封件 30设置于容置槽11与待镀件20之间，以阻止镀液进入容置槽11与待镀件20的间隙；吹气组件与出气孔12的另一端连通，吹气组件用于提供保护气体，保护气体填充于容置槽11与待镀件20的间隙。

需要说明的是，容置槽11包括侧壁和底壁，待镀件20放置于容置槽11内，其中，待镀件20的侧面与容置槽11的侧壁存在间隙。出气孔12的一个开口可以位于容置槽11的侧壁的内表面上，出气孔12 的一个开口也可以位于容置槽11的底壁的预设位置，预设位置为未被待镀件20覆盖的区域。出气孔12的横截面可以为圆形、矩形或者三角形等。吹气组件包括出气嘴和控制阀，出气嘴与气源相连通；控制阀控制吹气嘴的开启和关闭，其中，气源的保护气体可以为稀有气体，氮气等，有效隔绝空气对待镀件20的电镀影响。

在相关技术中，用于电镀设备的工装存在密封效果不佳，使得镀液进入洗边位置进而导致漏镀现象。

基于此，本申请提出一种用于电镀设备的工装，通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

如图2和图3所示，作为可实现的方式，本体10包括第一部分 101和第二部分102，第一部分101和第二部分102可拆卸连接。第一部分101用于水平承载待镀件20，第一部分101为平板件；第二部分 102自第一部分101的边缘沿第一方向延伸，并且沿第二方向向第一部分的中心位置延伸，其中，第一方向为垂直于第一部分101的方向，第二方向为平行于第一部分101的方向。第二部分102大致为环状。

第二部分102与第一部分101组合构成上述的容置槽11。

第一部分101与第二部分102拆卸后，将待镀件20放置于第二部分102内；第二部分102与第一部分101再次连接，例如，螺纹连接，实现待镀件20设置于容置槽11内。其中，密封件30设置于第二部分 102的沿第一方向的延伸段与待镀件之间。第二部分102的沿第一方向的延伸段止挡待镀件20脱离容置槽11，有利于稳定固定待镀件20。

作为可实现的方式，出气孔12的数量为多个，若干个出气孔12 沿容置槽11周向布置。

如图1所示，在具体实施例中，若干个出气孔12沿容置槽11的周向等角度布置，保护气体均匀吹至待镀件20的待镀面周边，提高保护气体的保护效果。

作为可实现的方式，出气孔12的横截面沿出气方向逐渐减小。

需要说明的是，出气孔12与容置槽11连通的开口12a为缩口状，通过缩口状的开口压缩保护气体，进而提高保护气体的动能，有利于提高保护气体的保护效果。

作为可实现的方式，出气孔12与容置槽11连通的开口12a位于容置槽11的侧壁的内表面上。

需要说明的是，考虑到待镀件20与容置槽11之间的间隙较小，待镀件20未覆盖容置槽11的底壁的部分有限，不利于设置出气孔12；而将出气孔12设置于容置槽11的侧壁的内表面上，容置槽11的设置尺寸可以根据容置槽11的深度而定，加工方便。

作为可实现的方式，出气孔12与容置槽11连通的开口12a靠近容置槽11的底壁设置，使得保护气体能够充分填充于容置槽11与待镀件20之间的间隙，提高保护气体的保护效果。

作为可实现的方式，出气孔12的轴线与容置槽11的轴线成锐角 A，其中，出气孔12的轴线与容置槽11的轴线交点位于容置槽11的开口一侧。

需要说明的是，出气孔12为直线孔，出气孔12的轴线倾斜设置，如图4所示，避免保护气体垂直碰撞于待镀件20的侧壁，降低保护气体的动能损失，进而增大保护气体吹至待镀件20的待镀面周边的速度，可以提高保护气体的保护效果。

在一些实施例中，出气孔12的轴线也可以垂直于容置槽11的轴线。

作为可实现的方式，容置槽11的侧壁上设置有腔体，腔体与出气孔12连通，并且腔体与吹气组件连通。

如图2至图4所示，在具体实施例中，在本体10上设置有若干个出气孔12，若干个出气孔12沿容置槽11的周向等角度布置，出气孔 12与容置槽11连通的开口12a位于容置槽11的侧壁上。其中，出气孔12的轴线垂直于容置槽11的轴线。在容置槽11的侧壁上设置有空腔13，空腔13与出气孔12连通，并且空腔13与吹气组件连通。

吹气组件的保护气体先进入空腔13；然后，保护气体填充于空腔 13各个区域；最后，保护气体从各个出气孔12的开口喷出于待镀件 20与容置槽11的间隙。该工装结构简单，扩大了保护气体的保护面积。

进一步地，空腔13呈环形。环形的空腔13增大了出气孔12布置范围，有利于提高保护效率。

在一些实施例中，空腔13除了呈环形外，在空腔13内可以间隔设置若干个隔板，以将空腔13划分为多个子腔，子腔与若干个出气孔 12连通，且子腔与吹气组件连通。

在一些实施例中，保护气体为氮气，采购方便，成本低，有利于降低生产成本。

本申请还提供一种电镀设备，该电镀设备包括上述的用于电镀设备的工装，通过保护气体填充于容置槽与待镀件的间隙，使得间隙内的压强大于外界的压强，当密封件出现问题时，能够阻止镀液进入上述的间隙，进而能够避免漏镀现象。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种用于电镀设备的工装，其特征在于，包括：

本体，设置有容置槽及与所述容置槽连通的出气孔，所述容置槽用于放置待镀件；

密封件，设置于所述容置槽与所述待镀件之间，以阻止镀液进入所述容置槽与所述待镀件的间隙；

吹气组件，与所述出气孔连通，所述吹气组件用于提供保护气体，所述保护气体填充于所述容置槽与所述待镀件的间隙。

2.根据权利要求1所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔的数量为多个，若干个所述出气孔沿所述容置槽周向布置。

3.根据权利要求1所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔与所述容置槽连通的开口位于所述容置槽的侧壁的内表面上。

4.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔与所述容置槽连通的开口靠近所述容置槽的底壁设置。

5.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线成锐角，其中，所述出气孔的轴线与所述容置槽的轴线交点位于所述容置槽的开口一侧。

6.根据权利要求3所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述容置槽的侧壁上设置有腔体，所述腔体与所述出气孔连通，并且所述腔体与所述吹气组件连通。

7.根据权利要求6所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述腔体为环形。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述吹气组件包括：吹气嘴，与气源相连通；及控制阀，所述控制阀用于控制所述吹气嘴的启闭。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的用于电镀设备的工装，其特征在于，所述保护气体为氮气。

10.一种电镀设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的用于电镀设备的工装。

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