CN216228750U - 一种可快速更换研磨圈的研磨头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可快速更换研磨圈的研磨头，技术要点包括研磨头主体，所述研磨头主体的顶部设置有研磨圈，所述研磨头主体上穿插有均匀分布的调节杆，所述研磨头主体的顶部固定连接有均与分布的定位管，所述调节杆穿插于定位管的内侧，所述定位管的顶部铰接有均与分布的压板，所述研磨头主体上转动连接有操作环，所述调节杆的底部与操作环啮合，所述调节杆与研磨头主体之间螺纹连接。该实用新型，相对传统的研磨头结构，能够快速对研磨圈进行更换，能够同步对多个固定点进行安装固定，缩短了更换时长，提高了研磨头的维护效率，实用性更强，满足市场的使用需求。

Description

一种可快速更换研磨圈的研磨头

技术领域

本实用新型涉及研磨头技术领域，更具体地说，涉及一种可快速更换研磨圈的研磨头。

背景技术

在半导体领域，化学机械研磨(CMP)是半导体工艺流程中不可或缺的一环。化学机械研磨工艺中，通过研磨台面带动研磨垫旋转，通过研磨液分配臂向研磨垫喷射研磨液；同时，以研磨头保持待研磨的晶圆，将晶圆的待研磨面按压在研磨垫上并作相对转动，对晶圆进行研磨处理并使其平坦化。其中，研磨头包括本体和安装在其下方的研磨圈，研磨圈用于固定晶圆。

CMP已在一定程度通过压缩周期维护时间、提高周期维护效率的方式增加产能，但由于现有的研磨头本体与研磨圈之间是采用螺栓连接的方式进行安装的，且需要环绕研磨头本体圆周安装多个，这对安装精度及力度的把握要求较高，因此，体现在研磨头重组上的工时也较长，影响了周期维护的效率，故而提出了一种可快速更换研磨圈的研磨头来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种可快速更换研磨圈的研磨头。

为实现上述目的，本实用新型采用如下的技术方案。

一种可快速更换研磨圈的研磨头，包括研磨头主体，所述研磨头主体的顶部设置有研磨圈，所述研磨头主体上穿插有均匀分布的调节杆，所述研磨头主体的顶部固定连接有均与分布的定位管，所述调节杆穿插于定位管的内侧，所述定位管的顶部铰接有均与分布的压板，所述研磨头主体上转动连接有操作环，所述调节杆的底部与操作环啮合，所述调节杆与研磨头主体之间螺纹连接，所述研磨圈的底部开设有均匀分布的卡槽，所述定位管与调节杆均延伸至卡槽的内侧，所述压板的底部与卡槽的内壁接触，所述卡槽底部的孔径略大于调节杆顶部的直径。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述调节杆包含有螺纹杆，所述螺纹杆穿插于研磨头主体上并与研磨头主体螺纹连接，所述螺纹杆的顶部固定连接有膨胀块，所述膨胀块位于卡槽的内部并与压板接触，所述螺纹杆的底部固定连接有齿轮，所述齿轮的一侧与操作环啮合，所述齿轮的底部贯穿并延伸至研磨头主体的底部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述螺纹杆上套设有与其固定连接的磁环，所述磁环与压板磁性连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述定位管的俯视形状为五边形，所述压板的数量为五个且分别安装于定位管顶部的边缘处。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述压板顶部远离定位管的一侧与膨胀块底部的外侧均设置有圆角，所述压板的底部设置有防滑纹路。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

本方案，需要进行更换研磨圈时，通过转动操作环带动调节杆旋转上移，压板的顶部失去调节杆的限制后能够进行转动，向上移动研磨圈后压板竖起贴合调节杆，从而从卡槽的开口处抽出，当进行安装研磨圈时，直接将研磨圈上的卡槽与调节杆对准后，直接将调节杆与压板插入卡槽的内部，然后方向转动操作环使得调节杆转动下移，进而对贴合于调节杆上的压板挤压，使得压板向外侧扩张，从而利用压板对卡槽的内底壁进行按压固定，达到固定研磨圈的作用，该结构相对传统的研磨头结构，能够快速对研磨圈进行更换，能够同步对多个固定点进行安装固定，缩短了更换时长，提高了研磨头的维护效率，实用性更强，满足市场的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型的局部正视剖视结构示意图；

图2为本实用新型研磨头主体的俯视结构示意图；

图3为本实用新型定位管与压板的连接结构示意图。

图中标号说明：

1、研磨头主体；2、调节杆；21、螺纹杆；22、膨胀块；23、齿轮；3、定位管；4、压板；5、操作环；6、研磨圈；7、卡槽；8、磁环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；

请参阅图1～3，本实用新型中，一种可快速更换研磨圈的研磨头，包括研磨头主体1，研磨头主体1的顶部设置有研磨圈6，研磨头主体1上穿插有均匀分布的调节杆2，研磨头主体1的顶部固定连接有均与分布的定位管3，调节杆2穿插于定位管3的内侧，定位管3的顶部铰接有均与分布的压板4，研磨头主体1上转动连接有操作环5，调节杆2的底部与操作环5啮合，调节杆2与研磨头主体1之间螺纹连接，研磨圈6的底部开设有均匀分布的卡槽7，定位管3与调节杆2均延伸至卡槽7的内侧，压板4的底部与卡槽7的内壁接触，卡槽7底部的孔径略大于调节杆2顶部的直径。

本实用新型中，需要进行更换研磨圈6时，通过转动操作环5带动调节杆2旋转上移，压板4的顶部失去调节杆2的限制后能够进行转动，向上移动研磨圈6后压板4竖起贴合调节杆2，从而从卡槽7的开口处抽出，当进行安装研磨圈6时，直接将研磨圈6上的卡槽7与调节杆2对准后，直接将调节杆2与压板4插入卡槽7的内部，然后方向转动操作环5使得调节杆2转动下移，进而对贴合于调节杆2上的压板4挤压，使得压板4向外侧扩张，从而利用压板4对卡槽7的内底壁进行按压固定，达到固定研磨圈6的作用，该结构相对传统的研磨头结构，能够快速对研磨圈6进行更换，能够同步对多个固定点进行安装固定，缩短了更换时长，提高了研磨头的维护效率，实用性更强，满足市场的使用需求。

请参阅图1，其中：调节杆2包含有螺纹杆21，螺纹杆21穿插于研磨头主体1上并与研磨头主体1螺纹连接，螺纹杆21的顶部固定连接有膨胀块22，膨胀块22位于卡槽7的内部并与压板4接触，螺纹杆21的底部固定连接有齿轮23，齿轮23的一侧与操作环5啮合，齿轮23的底部贯穿并延伸至研磨头主体1的底部。

本实用新型中，利用螺纹杆21与研磨头主体1的螺纹连接，当操作环5带动螺纹杆21底部的齿轮23进行旋转时，螺纹杆21能够带动齿轮23与膨胀块22在研磨头主体1上升降移动，从而改变膨胀块22与定位管3的间距，对位于膨胀块22与定位管3之间的压板4进行挤压，方便压板4的扩张。

请参阅图1，其中：螺纹杆21上套设有与其固定连接的磁环8，磁环8与压板4磁性连接。

本实用新型中，通过磁环8能够对压板4进行吸引贴合，当安装研磨圈6时，能够保证压板4的顶部被磁环8吸引并贴合于调节杆2，从而方便压板4插入卡槽7的内部，结构合理，操作简单，方便了使用者的使用，提高了研磨圈6的更换效率。

请参阅图1～3，其中：定位管3的俯视形状为五边形，压板4的数量为五个且分别安装于定位管3顶部的边缘处。

本实用新型中，定位管3的边与压板4的数量对应，并且定位管3的直径小于膨胀块22的直径，当压板4竖起后，避免压板4与定位管3的直径过大导致压板4插入卡槽7的内部。

请参阅图1与图3，其中：压板4顶部远离定位管3的一侧与膨胀块22底部的外侧均设置有圆角，压板4的底部设置有防滑纹路。

本实用新型中，通过圆角的设置，方便膨胀块22向下挤压时能够方便使得压板4向外侧倾斜，提高结构运行的顺畅与合理性。

工作原理：需要进行更换研磨圈6时，通过转动操作环5带动调节杆2旋转上移，压板4的顶部失去调节杆2的限制后能够进行转动，向上移动研磨圈6后压板4竖起贴合调节杆2，从而从卡槽7的开口处抽出，当进行安装研磨圈6时，直接将研磨圈6上的卡槽7与调节杆2对准后，直接将调节杆2与压板4插入卡槽7的内部，然后方向转动操作环5，利用螺纹杆21与研磨头主体1的螺纹连接，当操作环5带动螺纹杆21底部的齿轮23进行旋转时，螺纹杆21能够带动齿轮23与膨胀块22在研磨头主体1上升降移动，从而改变膨胀块22与定位管3的间距，对位于膨胀块22与定位管3之间的压板4进行挤压，方便压板4的扩张，从而利用压板4对卡槽7的内底壁进行按压固定，达到固定研磨圈6的作用，该结构相对传统的研磨头结构，能够快速对研磨圈6进行更换，能够同步对多个固定点进行安装固定，缩短了更换时长，提高了研磨头的维护效率，实用性更强，满足市场的使用需求。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (5)

1.一种可快速更换研磨圈的研磨头，包括研磨头主体(1)，所述研磨头主体(1)的顶部设置有研磨圈(6)，其特征在于：所述研磨头主体(1)上穿插有均匀分布的调节杆(2)，所述研磨头主体(1)的顶部固定连接有均匀分布的定位管(3)，所述调节杆(2)穿插于定位管(3)的内侧，所述定位管(3)的顶部铰接有均匀分布的压板(4)，所述研磨头主体(1)上转动连接有操作环(5)，所述调节杆(2)的底部与操作环(5)啮合，所述调节杆(2)与研磨头主体(1)之间螺纹连接，所述研磨圈(6)的底部开设有均匀分布的卡槽(7)，所述定位管(3)与调节杆(2)均延伸至卡槽(7)的内侧，所述压板(4)的底部与卡槽(7)的内壁接触，所述卡槽(7)底部的孔径略大于调节杆(2)顶部的直径。

2.根据权利要求1所述的一种可快速更换研磨圈的研磨头，其特征在于：所述调节杆(2)包含有螺纹杆(21)，所述螺纹杆(21)穿插于研磨头主体(1)上并与研磨头主体(1)螺纹连接，所述螺纹杆(21)的顶部固定连接有膨胀块(22)，所述膨胀块(22)位于卡槽(7)的内部并与压板(4)接触，所述螺纹杆(21)的底部固定连接有齿轮(23)，所述齿轮(23)的一侧与操作环(5)啮合，所述齿轮(23)的底部贯穿并延伸至研磨头主体(1)的底部。

3.根据权利要求2所述的一种可快速更换研磨圈的研磨头，其特征在于：所述螺纹杆(21)上套设有与其固定连接的磁环(8)，所述磁环(8)与压板(4)磁性连接。

4.根据权利要求1所述的一种可快速更换研磨圈的研磨头，其特征在于：所述定位管(3)的俯视形状为五边形，所述压板(4)的数量为五个且分别安装于定位管(3)顶部的边缘处。

5.根据权利要求2所述的一种可快速更换研磨圈的研磨头，其特征在于：所述压板(4)顶部远离定位管(3)的一侧与膨胀块(22)底部的外侧均设置有圆角，所述压板(4)的底部设置有防滑纹路。

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