CN216225145U - 一种涂胶层质量控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方。能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。

Description

一种涂胶层质量控制装置

技术领域

本实用新型涉及涂胶领域，尤其涉及一种涂胶层质量控制装置。

背景技术

随着科技的进步，时代的发展，高科技产业迅猛发展，各种领域都在大量使用刷胶装置。特别是在半导体及晶圆加工过程中，由于工艺要求或者生产需要，通常要在晶圆表面涂覆一些材料或者胶体，称为涂胶或者刷胶工艺。

现目前各类产品涂胶层的质量控制通过喷胶速度、流量产品转速进行控制，但实际的胶层质量需通过其他量测设备进行检测，当涂胶层出现厚度超标、平整度超标、或是表面气泡的异常时，只能清洗后重新涂胶。因此，当前的涂胶层控制存在以下弊端：1、胶层质量只能通过涂胶机单方面进行控制。2、涂胶产品尺寸、材料单一。3、胶层质量的检测需使用其他量测设备进行测量。

因此，针对上述问题，提供一种涂胶层质量控制装置，是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种涂胶层质量控制装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型的第一方面，提供一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；

所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；

所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方；所述真空吸附装置还与功能设置模块的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台还与功能设置模块的第三控制输出端连接。

进一步地，所述功能设置模块包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台连接。

进一步地，所述平行刮片底部平整度到达um级。

进一步地，所述平行刮片可拆卸地设置于高度支杆的底部。

进一步地，所述产品放置旋转平台顶部设置有加热板。

进一步地，所述涂胶层质量控制装置还包括电机箱，所述升降电机设置于电机箱内，所述功能设置模块设置于电机箱上。

进一步地，所述产品放置旋转平台的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

进一步地，所述真空气孔的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

进一步地，所述平行刮片替换为与功能设置模块连接的厚度/平整度检测装置，所述厚度/平整度检测装置设置于高度支杆底部。

进一步地，所述升降电机、第二连接头、升降丝杆、第一连接头相配合产生的移动精度达到um级。

本实用新型的有益效果是：

(1)在本实用新型的一示例性实施例中，能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。

(2)在本实用新型的又一示例性实施例中，功能设置模块用于对升降电机、产品放置旋转平台和真空吸附装置进行控制的控制方式为可调节方式，即在使用之前，用户通过人机交互单元选择并调节升降电机的高度数据、产品放置旋转平台的旋转速度和真空吸附装置的真空压力和流量，之后控制单元对对应的部件进行控制；从而适用于不同胶层厚度以及不同涂胶材料的产品应用。

(3)在本实用新型的又一示例性实施例中，平行刮片底部平整度到达um级，升降电机、第二连接头、升降丝杆、第一连接头相配合产生的移动精度达到um级。采用上述两种方式，适用于高精度的胶层厚度控制。

(4)在本实用新型的又一示例性实施例中，平行刮片在使用过程中会随之精度下降，因此采用可拆卸的连接方式可根据磨损程度进行更换。

(5)在本实用新型的又一示例性实施例中，产品放置旋转平台可实现加热功能，保证平行刮片在作用涂胶层时保证胶层不凝固。

(6)在本实用新型的又一示例性实施例中，电机箱用于安装升降电机，同时可以将功能设置模块一并安装，实现模组化。

(7)在本实用新型的又一示例性实施例中，产品放置旋转平台可根据不同产品尺寸对其进行平台更换，真空气孔的接头尺寸可选择，可实现多尺寸产品的应用，从而能实现多尺寸、多材料的涂胶层质量控制。

(8)在本实用新型的又一示例性实施例中，该涂胶层质量控制装置还可配置厚度量测工具，拆下平行刮片后安装厚度/平整度检测装置对胶层厚度进行测量，若胶层符合工艺要求进入下一步工艺，不符合工艺要求重新进行操作或增加胶量后重新进行操作。

附图说明

图1为本实用新型一示例性实施例中的涂胶层质量控制装置的结构示意图；

图中，1-高度支杆，2-平行刮片，3-产品放置旋转平台，4-真空吸附装置，5-真空气孔，6-第二连接头，7-升降电机，8-电机箱，9-功能设置模块，10-触摸显示屏，11-升降丝杆，12-第一连接头。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

应当理解，尽管在本申请可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本申请范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。取决于语境，如在此所使用的词语“如果”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”。此外，属于“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

参见图1，图1示出了本实用新型的一示例性实施例提供的一种涂胶层质量控制装置的结构示意图，包括高度支杆1、平行刮片2、产品放置旋转平台3、真空吸附装置4、升降电机7、功能设置模块9、升降丝杆11；

所述高度支杆1通过第一连接头12与升降丝杆11的一侧连接，所述升降电机7通过第二连接头6与升降丝杆11的另一侧连接，所述升降电机7还与功能设置模块9的第一控制输出端连接；所述平行刮片2设置于高度支杆1的底部；

所述真空吸附装置4设置有真空气孔5，所述产品放置旋转平台3的中心置于所述真空气孔5的上方，所述真空吸附装置4和产品放置旋转平台3位于高度支杆1下方；所述真空吸附装置4还与功能设置模块9的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台3还与功能设置模块9的第三控制输出端连接。

具体地，在其中一示例性实施例中，当需要使用该控制装置时，可以以接通电源为开始的依据，此时：

开启升降电机7通过第二连接头6(丝杆点击连接头)将升降丝杆11转动，再通过第一连接头12(丝杆与高度支杆连接头)使高度支杆1上下移动，从而使平行刮片6移动到设置高度；

涂胶后的产品安装于产品放置旋转平台3，打开真空吸附装置4，通过真空气孔5产生压差形成吸附力将产品吸附固定，然后开启产品放置旋转平台3的旋转功能，由于平行刮片2的高度为产品工艺要求的高度，通过产品旋转平行刮片2可将超过工艺胶层厚度的胶层进行去除并通过平行刮片2的平整度来保证产品的胶层平整度，从而达到工艺要求；

而功能设置模块9用于对升降电机7、产品放置旋转平台3和真空吸附装置4进行控制，在其中一示例性实施例中，为预设控制，包括对升降电机7的升降高度的控制、产品放置旋转平台3旋转的控制和对真空吸附装置4真空吸附的控制，即每个涂胶层质量控制装置具有不同的高度控制、旋转控制和吸附控制。其中，该控制方式属于本领域的惯用技术手段，因此在此不进行赘述。

采用该方式，能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。

更优地，在一示例性实施例中，所述功能设置模块9包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机7连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置4连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台3连接。

具体地，与上述示例性实施例不同的是，在该示例性实施例中，所述功能设置模块9用于对升降电机7、产品放置旋转平台3和真空吸附装置4进行控制的控制方式为可调节方式，即在使用之前，用户通过人机交互单元(优选为触摸显示屏10)选择并调节升降电机7的高度数据(也对应平行刮片2的高度)、产品放置旋转平台3的旋转速度和真空吸附装置4的真空压力和流量，之后控制单元对对应的部件进行控制；从而适用于不同胶层厚度以及不同涂胶材料的产品应用。

更优地，在一示例性实施例中，所述平行刮片2底部平整度到达um级。更优地，在一示例性实施例中，所述升降电机7、第二连接头6、升降丝杆11、第一连接头12相配合产生的移动精度达到um级。采用上述两种方式，适用于高精度的胶层厚度控制。

更优地，在一示例性实施例中，所述平行刮片2可拆卸地设置于高度支杆1的底部。

具体地，在该示例性实施例中，平行刮片2在使用过程中会随之精度下降，因此采用可拆卸的连接方式可根据磨损程度进行更换。在其中一示例性实施例，平行刮片2可以通过设置两个卡接板的方式进行可拆卸连接；而在又一示例性实施例中，可以通过磁力吸附的方式进行可拆卸连接，可拆卸连接的方式属于本领域的惯用技术手段，在此不进行限定。

更优地，在一示例性实施例中，所述产品放置旋转平台3顶部设置有加热板。

即在该示例性实施例中，产品放置旋转平台3可实现加热功能，并优选可在功能设置区进行温度调节，保证平行刮片2在作用涂胶层时保证胶层不凝固。其中，该示例性实施例中的产品放置旋转平台3、真空吸附装置4和加热板，可以采用CN201820339456.4中的“一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台”实现。

更优地，在一示例性实施例中，所述涂胶层质量控制装置还包括电机箱8，所述升降电机7设置于电机箱8内，所述功能设置模块9设置于电机箱8上。

该电机箱8用于安装升降电机7，同时可以将功能设置模块9一并安装，实现模组化。

更优地，在一示例性实施例中，所述产品放置旋转平台3的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。更优地，在一示例性实施例中，所述真空气孔5的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

具体地，在上述两个示例性实施例中，产品放置旋转平台3可根据不同产品尺寸对其进行平台更换，真空气孔5的接头尺寸可选择，可实现多尺寸产品的应用，从而能实现多尺寸、多材料的涂胶层质量控制。

更优地，在一示例性实施例中，所述平行刮片2替换为与功能设置模块9连接的厚度/平整度检测装置，所述厚度/平整度检测装置设置于高度支杆1底部。

具体地，在该示例性实施例中，该涂胶层质量控制装置还可配置厚度量测工具，具体地，当通过旋转的方式平行刮片2去除超过厚度的胶层以及涂胶气泡之后，升起平行刮片2清理残胶，取下平行刮片2，安装厚度/平整度检测装置对胶层厚度进行测量，若胶层符合工艺要求进入下一步工艺，不符合工艺要求重新进行操作或增加胶量后重新进行操作。其中，在其中一示例性实施例中，所述厚度/平整度检测装置可以为红外检测设备或者激光检测设备，可采用挂接的形式，属于本领域的惯用技术手段，在此不进行限定。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：包括高度支杆(1)、平行刮片(2)、产品放置旋转平台(3)、真空吸附装置(4)、升降电机(7)、功能设置模块(9)、升降丝杆(11)；

所述高度支杆(1)通过第一连接头(12)与升降丝杆(11)的一侧连接，所述升降电机(7)通过第二连接头(6)与升降丝杆(11)的另一侧连接，所述升降电机(7)还与功能设置模块(9)的第一控制输出端连接；所述平行刮片(2)设置于高度支杆(1)的底部；

所述真空吸附装置(4)设置有真空气孔(5)，所述产品放置旋转平台(3)的中心置于所述真空气孔(5)的上方，所述真空吸附装置(4)和产品放置旋转平台(3)位于高度支杆(1)下方；所述真空吸附装置(4)还与功能设置模块(9)的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台(3)还与功能设置模块(9)的第三控制输出端连接。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述功能设置模块(9)包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机(7)连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置(4)连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台(3)连接。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述平行刮片(2)底部平整度到达um级。

4.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述平行刮片(2)可拆卸地设置于高度支杆(1)的底部。

5.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述产品放置旋转平台(3)顶部设置有加热板。

6.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述涂胶层质量控制装置还包括电机箱(8)，所述升降电机(7)设置于电机箱(8)内，所述功能设置模块(9)设置于电机箱(8)上。

7.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述产品放置旋转平台(3)的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

8.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述真空气孔(5)的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

9.根据权利要求5所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述平行刮片(2)替换为与功能设置模块(9)连接的厚度/平整度检测装置，所述厚度/平整度检测装置设置于高度支杆(1)底部。

10.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述升降电机(7)、第二连接头(6)、升降丝杆(11)、第一连接头(12)相配合产生的移动精度达到um级。

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