CN216208529U - 缺陷检测装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请适用于产品检测技术领域，提供一种缺陷检测装置及检测设备，所述缺陷检测装置包括：光源组件；透光反射镜，能将所述光源组件发出的光反射至待测产品，且能允许所述待测产品反射的光透过；第一相机组件，能接收透过所述透光反射镜的光；第二相机组件；移动组件，连接于所述第二相机组件，且能将所述第二相机组件移动至所述第一相机组件与所述透光反射镜之间，使得所述第二相机组件能接收透过所述透光反射镜的光。本申请的实施例能简化结构。

Description

缺陷检测装置及检测设备

技术领域

本申请属于产品检测技术领域，更具体地说，是涉及一种缺陷检测装置及检测设备。

背景技术

随着集成电路应用的多元化发展，智能手机、物联网、汽车电子、高性能计算、5G(5th Generation Mobile Communication Technology)通信、以及人工智能等新兴领域对芯片的需求量呈指数级增长，对芯片的质量和可靠性也提出更高的要求。

芯片在后道封装过程中会产生很多缺陷，比如脏污、划伤、破损、缺失等。为了减少不良品，可以在生产过程中通过检测装置对芯片进行缺陷检测，淘汰有缺陷的芯片。

为了对芯片进行主检和复检，目前的检测装置通过在芯片的周围设置多个反射镜，并在这些反射镜包围的空间内设置光源照射芯片，由前述反射镜将芯片反射的光反射至主检相机和复检相机，这样的检测装置结构复杂。

实用新型内容

本申请的实施例提供一种缺陷检测装置及检测设备，能简化结构。

第一方面，本申请的实施例提供一种缺陷检测装置，所述缺陷检测装置包括：

光源组件；

透光反射镜，能将所述光源组件发出的光反射至待测产品，且能允许所述待测产品反射的光透过；

第一相机组件，能接收透过所述透光反射镜的光；

第二相机组件；

移动组件，连接于所述第二相机组件，且能将所述第二相机组件移动至所述第一相机组件与所述透光反射镜之间，使得所述第二相机组件能接收透过所述透光反射镜的光。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第二相机组件包括：

第二反射镜，连接于所述移动组件，且能由所述移动组件移动至所述第一相机组件与所述透光反射镜之间；

第二相机，设置于所述第二反射镜的一侧，以接收所述第二反射镜反射的光。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述缺陷检测装置还包括：

反射连接件，设置于连接于所述透光反射镜的一侧，使得透过所述透光反射镜的光能通过所述反射连接件；

所述光源组件包括：

光源；

光源连接件，设置于所述光源和所述透光反射镜之间，使得所述光源发出的光能通过所述光源连接件的内部照射至所述透光反射镜；

所述第一相机组件包括：

第一相机；

第一连接件，连接于所述第一相机的一侧，使得所述第一相机能通过所述第一连接件接收光；

所述第二相机组件还包括：

第二连接件，一侧连接于所述第二相机，使得所述第二相机能通过所述第二连接件接收光；

所述第二连接件的另一侧设置于所述第一连接件和所述反射连接件之间，使得透过所述透光反射镜的光能通过所述反射连接件的内部和所述第二连接件的内部，入射至所述第一连接件的内部；

所述第二连接件罩住所述第二反射镜和所述移动组件。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述光源组件和所述第二相机组件位于所述第一相机组件的同一侧。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第二相机组件还包括：

固定部件，所述第二相机固定于所述固定部件；

反射镜安装部件，所述第二反射镜设置于所述反射镜安装部件；

所述移动组件包括：

主体，固定于所述固定部件；

伸缩部件，可伸缩地设置于所述主体，且连接于所述反射镜安装部件。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述缺陷检测装置还包括：

基座，承载所述光源组件、所述透光反射镜、所述第一相机组件、所述第二相机组件和所述移动组件；

物镜组件，具有多个物镜，所述物镜能允许所述透光反射镜反射的光透过；

切换组件，连接于所述基座和所述物镜组件，以带动所述物镜组件相对所述基座移动。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座设有第一角度调节部；

所述缺陷检测装置还包括：

安装转接部件，设有第二角度调节部；

角度锁紧部件，能连接所述第一角度调节部和所述第二角度调节部。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述缺陷检测装置还包括：

遮挡部件，设置于所述基座且遮盖所述透光反射镜。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述缺陷检测装置还包括：

第一半镜座，设有能允许光通过的第一孔，所述第一孔连接于所述光源组件；

第二半镜座，设有能允许光通过的第二孔，所述透光反射镜位于所述第一半镜座与所述第二半镜座之间。

第二方面，本申请的实施例提供一种检测设备，所述检测设备包括上述任一项所述缺陷检测装置。

本申请的实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

光源组件发出光照射至透光反射镜的表面，透光反射镜对光进行反射，使得光照射至待测产品的表面，待测产品对光进行反射形成反射光，前述反射光原路返回照射至透光反射镜的表面，前述反射光透过透光反射镜并入射至第一相机组件，以进行第一次检测(或者说进行主检)；在完成第一次检测之后，光源组件持续发出光照射待测产品，移动组件工作，将第二相机组件移动至第一相机组件与透光反射镜之间，使得第二相机组件接收透过透光反射镜的光，也即接收前述反射光，以进行第二次检测(或者说进行复检)；可见，只需在待测产品的周围设置一个透光反射镜，在第一相机组件对待测产品完成第一次检测之后，由移动组件将第二相机组件移动至第一相机组件与透光反射镜之间，即可由第二相机组件对待测产品进行第二次检测，相比于在待测产品的周围设置多个反射镜将光反射至第一相机组件和第二相机组件，能简化缺陷检测装置的结构。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的缺陷检测装置的主视图；

图2为本申请一实施例提供的缺陷检测装置的立体图；

图3为本申请一实施例提供的光源组件和透光反射镜的立体图；

图4为本申请一实施例提供的第一相机组件的立体图；

图5为本申请一实施例提供的第二相机组件和移动组件的立体图；

图6为本申请另一实施例提供的缺陷检测装置的主视图；

图7为本申请另一实施例提供的缺陷检测装置的立体图；

图8为本申请一实施例提供的切换组件和物镜组件的立体图。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至8及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

图1为本申请一实施例提供的缺陷检测装置的主视图。图2为本申请一实施例提供的缺陷检测装置的立体图。参考图1和图2，本申请的实施例提供的缺陷检测装置可安装于检测设备以检测待测产品100的缺陷；前述待测产品100 可以是半导体晶圆；前述缺陷可以是脏污、划伤、破损或者缺失等。

参考图1和图2，本实施例的缺陷检测装置包括光源组件1、透光反射镜2、第一相机组件3、第二相机组件4、以及移动组件5。

参考图1，光源组件1用于发出光对待测产品100进行打光。

透光反射镜2既能将光源组件1发出的光反射至待测产品100，也能允许待测产品100反射的光透过；其中，待测产品100是对光源组件1发出的光进行反射。透光反射镜2具体可以是透明的反射镜；当然，透光反射镜2还可以是分色镜。

第一相机组件3能接收透过透光反射镜2的光，具体是接收由待测产品反射且透过透光反射镜2的光，进而对待测产品进行检测。

第二相机组件4也能接收透过透光反射镜2的光，具体是接收由待测产品 100反射且透过透光反射镜2的光，进而对待测产品100进行检测。

应当理解，第一相机组件3和第二相机组件4用于待测产品的主检和复检；其中，可以是第一相机组件3用于主检(即作为主检相机组件)，第二相机组件 4用于复检(即作为复检相机组件)，也可以是第二相机组件4用于主检(即作为主检相机组件)，第一相机组件3则用于复检(即作为复检相机组件)。

参考图1，移动组件5连接于第二相机组件4，且能将第二相机组件4移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间，具体可以是将第二相机组件4的一部分(比如下文中的第二反射镜)移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间，具体是使得第二相机组件4位于指定位置200，使得第二相机组件4能接收透过透光反射镜2的光。

待测产品100放置于缺陷检测装置的下方，光源组件1发出光照射至透光反射镜2的表面，透光反射镜2对光进行反射，使得光照射至待测产品100的表面，待测产品对光进行反射形成反射光，前述反射光原路返回照射至透光反射镜2的表面，前述反射光透过透光反射镜2并入射至第一相机组件3，以进行第一次检测(或者说进行主检)；在完成第一次检测之后，光源组件1持续发出光照射待测产品，移动组件5工作，将第二相机组件4移动至第一相机组件 3与透光反射镜2之间，具体是使得第二相机组件4位于指定位置200，使得第二相机组件4接收透过透光反射镜2的光，也即接收前述反射光，以进行第二次检测(或者说进行复检)；完成第二次检测之后，移动组件5将第二相机组件 4移回原位，以便第一相机组件3检测下一待测产品。可见，只需在待测产品的周围设置一个透光反射镜2，在第一相机组件3对待测产品完成第一次检测之后，由移动组件5将第二相机组件4移动至第一相机组件3与透光反射镜2 之间，即可由第二相机组件4对待测产品进行第二次检测，相比于在待测产品的周围设置多个反射镜将光反射至第一相机组件和第二相机组件，能简化缺陷检测装置的结构；此外，相比于在反射镜包围的空间内设置光源照射待测产品 100，通过透光反射镜2将光源组件1发出的光反射至待测产品100对光源的位置要求更宽松，便于操作。

参考图1，在一些实施例中，第一相机组件3的中心、透光反射镜2的中心以及待测产品100的中心均位于同一条直线，使得待测产品反射的光沿直线传播，这样第一相机组件3和透光反射镜2是沿直线安装的，便于安装和光的对准。

在其他一些实施例中，第一相机组件3的中心、透光反射镜2的中心以及待测产品的中心位于不同的直线，待测产品反射的光透过透光反射镜2之后，照射至额外设置的反射镜，而后反射至第一相机组件3。

在其他一些实施例中，移动组件5可以是将整个第二相机组件4移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间。

参考图1，在一些实施例中，缺陷检测装置还包括反射连接件6。

参考图1，反射连接件6为能允许光通过的结构，比如中空的结构。反射连接件6连接于透光反射镜2，那么，透过透光反射镜2的光能在反射连接件6 的内部传播。

图3为本申请一实施例提供的光源组件1和透光反射镜2的立体图。参考图3，在一些实施例中，光源组件1包括光源11和光源连接件12。

光源11用于发出光。

光源连接件12为能允许光通过的结构，比如中空的结构。参考图3，光源连接件12设置于光源11和透光反射镜2之间，如此，光源11发出的光通过光源连接件12的内部照射至透光反射镜2的表面。

图4为本申请一实施例提供的第一相机组件3的立体图。参考图4，在一些实施例中，第一相机组件3包括第一相机31和第一连接件32。

第一相机31用于采集待测产品反射的光，以生成待测产品的图像信息，进而对待测产品进行第一次缺陷检测(或者说主检)。

参考图4，第一连接件32为能允许光通过的结构，比如中空的结构。第一连接件32连接于第一相机31。

参考图4，在一些实施例中，第一相机31可以为线扫描相机，相应的，第一相机组件3还包括旋转滑台39。旋转滑台39能旋转第一相机31，使得第一相机31实现扫描拍摄。

第一相机31具体可以通过旋转滑台39与第一连接件32连接。

第一相机31采用线扫描相机，能提高检测精度及效率。

图5为本申请一实施例提供的第二相机组件4和移动组件5的立体图。参考图5，在一些实施例中，第二相机组件4包括第二反射镜41和第二相机42。

参考图5，第二反射镜41连接于移动组件5，由移动组件5将第二反射镜 41移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间。

第二相机42用于采集待测产品反射的光，以生成待测产品的图像信息，进而对待测产品进行第二次缺陷检测(或者说复检)。第二相机42设置于第二反射镜41的一侧，以接收第二反射镜2反射的光。

参考图1，移动组件5将第二反射镜41移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间，待测产品反射的光透过透光反射镜2，照射在第二反射镜41的表面，由第二反射镜41将光反射至第二相机42，从而对待测产品进行第二次缺陷检测。可见，移动组件5只需移动第二反射镜41，移动组件5所承受的载荷较小，能稳定地工作，从而能保证缺陷检测装置的可靠性。

图6为本申请另一实施例提供的缺陷检测装置的主视图。图7为本申请另一实施例提供的缺陷检测装置的立体图。参考图6和图7，在一些实施例中，第二相机组件4还包括第二连接件43。

第二连接件43也为能允许光通过的结构，比如中空的结构。

参考图1和图6，第二连接件43罩住第二反射镜41和移动组件5。

参考图6，第二连接件43的一侧连接于第二相机42，第二连接件43的另一侧设置于第一连接件32和反射连接件6之间；那么，待测物品反射的光透过透光反射镜2，先后穿过反射连接件6的内部和第二连接件43，入射至第一连接件32的内部，进而入射至第一相机31。

根据上述内容可知，光源连接件12设置于光源11和透光反射镜2之间，使得光源11发出的光通过光源连接件12传播至透光反射镜2；第二连接件43 的一侧连接于第二相机42，使得第二相机42通过第二连接件43接收光；第二连接件43的另一侧设置于第一连接件32和反射连接件6之间，第一连接件32 连接于第一相机31的一侧，使得待测物品反射的光透过透光反射镜2，先后穿过反射连接件6的内部和第二连接件43的内部，入射至第一连接件32的内部，进而入射至第一相机31；第二反射镜41连接于移动组件5，第二连接件43罩住第二反射镜41和移动组件5，那么，移动组件5是在第二连接件43的内部移动第二反射镜41，使得待测物品反射的光透过透光反射镜2，照射至第二反射镜41，然后由第二反射镜41将光反射至第二连接件43的内部，进而进入第二相机42；在整个过程中，在移动组件5只需移动第二反射镜41的情况下，光源11发出的光、以及透过透光反射镜2传播至第一相机31和第二相机42 的光均是在通道内传输，能防止外界的环境光对检测造成干扰，能保证检测的准确性。

参考图1，在一些实施例中，光源组件1和第二相机组件4位于第一相机组件3的同一侧，比如左侧，这样能使得缺陷检测装置的部件集中在一侧，能减小整个缺陷检测装置占用的空间。

参考图5，在一些实施例中，第二相机组件4还包括固定部件44和反射镜安装部件45。第二相机42固定于固定部件44。第二反射镜41设置于反射镜安装部件45。

相应的，参考图5，在一些实施例中，移动组件5包括主体51和伸缩部件 52。移动组件5具体可以是气缸。

主体51固定于固定部件44。

伸缩部件52可伸缩地设置于主体51，且连接于反射镜安装部件45。

根据上述内容可知，主体51固定于固定部件44，主体51驱使伸缩部件52 相对固定部件44伸出，与伸缩部件52连接的反射镜安装部件45也相对固定部件44移动，相应的，固定于反射镜安装部件45的第二反射镜41也相对固定部件44移动，具体是移动至反射连接件6与第一连接件32之间，从而实现将第二反射镜41移动至第一相机组件3与透光反射镜2之间。

参考图2，在一些实施例中，缺陷检测装置还包括基座7、切换组件8和物镜组件9。

参考图2，基座7承载光源组件1、透光反射镜2、第一相机组件3、第二相机组件4、移动组件5和反射连接件6。

图8为本申请一实施例提供的切换组件8和物镜组件9的立体图。参考图 2和图8，物镜组件9具有多个物镜91。物镜91能允许透光反射镜2反射的光透过。

参考图8，切换组件8连接于基座7和物镜组件9，以带动物镜组件9相对基座7移动。

当切换组件8相对基座7移动时，带动物镜组件9相对基座7移动，从而实现物镜的切换，可以根据待测产品的具体情况来自动切换物镜，有利于提升检测的效率和准确度，也能适用于更多的待测产品。

参考图8，在一些实施例中，物镜组件9包括移动板90和前述多个物镜91。各物镜91设置于移动板90。

参考图8，切换组件8包括驱动机构81和运动机构82。切换组件8具体可以是直线运动机构，比如直线电机机构，相应的，驱动机构81可以是直线电机，运动机构82则可以是与直线电机配合的直线导轨。具体可以通过控制器来控制切换组件8。

参考图8，驱动机构81固定于基座7，运动机构82则与移动板90连接。在驱动机构81的驱动下，运动机构82带动移动板90相对基座运动，就可以使得移动板90上的不同物镜91与透光反射镜2对齐，使得透光反射镜2反射的光能透过不同的物镜91，也使得待测产品反射的光能透过不同的物镜91。

参考图4，在一些实施例中，基座7设有第一角度调节部71。第一角度调节部71可以是通孔，具体可以是弧形通孔。

参考图4，相应的，在一些实施例中，缺陷检测装置还包括安装转接部件 10和角度锁紧部件20。

参考图4，安装转接部件10设有第二角度调节部110。第二角度调节部110 具体可以是螺纹孔。

参考图4，角度锁紧部件20可以是紧固件，具体可以是螺栓。角度锁紧部件20连接第一角度调节部71和第二角度调节部110，具体而言，角度锁紧部件20(前述螺栓)的螺杆穿过第一角度调节部71(前述弧形通孔)与第二角度调节部110(前述螺纹孔)螺纹连接；在基座7相对安装转接部件10旋转至指定位置后，拧紧角度锁紧部件20(前述螺栓)将基座7与安装转接部件10锁紧，使得基座7相对安装转接部件10的位置固定，从而固定基座7上的第一相机组件3和第二相机组件4的拍摄角度，以开展后续检测工作。

在其他一些实施例中，角度锁紧部件20还可以是螺栓螺母组件；相应的，第二角度调节部110还可以是通孔；螺栓螺母组件的螺栓穿过第一角度调节部 71和第二角度调节部110，前述螺栓的一端与螺母螺纹连接，将基座7与安装转接部件10锁紧。

参考图4，在一些实施例中，安装转接部件10还设有多个高度调节部101，不同的高度调节部101对应不同的安装高度位置；高度调节部101具体可以是通孔；可以通过紧固件比如螺丝穿过高度调节部101，将基座7沿竖直方向固定于检测设备的指定高度位置；改变紧固件穿过的高度调节部101，即可实现调节整个检测装置的安装高度，配合调节第一相机组件3和第二相机组件4的拍摄角度，能实现最佳拍摄，也能实现对更多尺寸的产品进行检测。

在一些实施例中，安装转接部件10可以是安装转接板，采用AL6061(AL6061 为一种铝合金)材料制作而成；安装转接板10的表面可以通过阳极氧化成黑色，能使得安装转接板10坚硬且耐磨。

参考图4，在一些实施例中，基座7包括底板72和旋转调整板73。

旋转调整板73与底板72固定连接。

前述源组件1、透光反射镜2、第一相机组件3、第二相机组件4、移动组件5和反射连接件6是承载于底板72。

前述第一角度调节部71则是位于旋转调整板73。

旋转调整板73可以采用AL6061材料制作而成；旋转调整板73的表面可以通过阳极氧化成黑色，能使得旋转调整板73坚硬且耐磨。

参考图4，在一些实施例中，缺陷检测装置还包括遮挡部件30。

参考图4，遮挡部件30设置于基座7且遮盖透光反射镜2，这样能防止外界的环境光透过透光反射镜2入射第一相机组件3和第二相机组件4，从而减少对检测的干扰。

参考图3，在一些实施例中，缺陷检测装置还包括第一半镜座50和第二半镜座60。

参考图3，第一半镜座50设有能允许光通过的第一孔501，第一孔501连接于光源组件1，具体可以是与光源组件1的第一连接件12连接，使得光源组件1发出的光能照射进第一孔501。

参考图3，第二半镜座60设有能允许光通过的第二孔601，透过透光反射镜2的光能从第二孔601出射。第二半镜座60与第一半镜座50固定透光反射镜2，使得透光反射镜2位于第一半镜座50与第二半镜座60之间，其中，透光反射镜2具体可以是与X轴成45°夹角。

参考图3，光源组件1发出的光通过第一孔501照射于透光反射镜2，由透光反射镜2将光反射至待测产品，待测产品将光反射回透光反射镜2，待测产品反射的光透过透光反射镜2，然后通过第二孔601入射至第一相机组件3或者第二相机组件4。

参考图3，透光反射镜2是位于第一半镜座50和第二半镜座60之间的，那么，第一半镜座50和第二半镜座60就能对透光反射镜2进行保护，能防止透光反射镜2受损或者能减少外界环境的光对透光反射镜2的干扰，同时能允许光源组件1发出的光照射至透光反射镜2，以及能允许待测产品反射的光入射至第一相机组件3或者第二相机组件4。

在一些实施例中，第一半镜座50和第二半镜座60具体可以是安装于基座 7，具体可以是形成一个方体(长方体或者立方体)状的镜座。

由于透光反射镜2是位于第一半镜座50和第二半镜座60之间的，前述遮挡部件30可以是遮盖第一半镜座50和第二半镜座60，这样也能实现遮盖透光反射镜2。

本申请的实施例还提供一种检测设备，该检测设备包括上述实施例提供的缺陷检测装置。

本申请的实施例提供的缺陷检测装置和检测设备，具备相机组件及光源组件对待测产品进行最佳拍摄以获取待测产品的图像信息，结构简单，能保证组装的产品的良品率，能够兼容很多不同尺寸的产品。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置包括：

光源组件；

透光反射镜，能将所述光源组件发出的光反射至待测产品，且能允许所述待测产品反射的光透过；

第一相机组件，能接收透过所述透光反射镜的光；

第二相机组件；

移动组件，连接于所述第二相机组件，且能将所述第二相机组件移动至所述第一相机组件与所述透光反射镜之间，使得所述第二相机组件能接收透过所述透光反射镜的光。

2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第二相机组件包括：

第二反射镜，连接于所述移动组件，且能由所述移动组件移动至所述第一相机组件与所述透光反射镜之间；

第二相机，设置于所述第二反射镜的一侧，以接收所述第二反射镜反射的光。

3.如权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括：

反射连接件，设置于所述透光反射镜的一侧，使得透过所述透光反射镜的光能通过所述反射连接件；

所述光源组件包括：

光源；

光源连接件，设置于所述光源和所述透光反射镜之间，使得所述光源发出的光能通过所述光源连接件的内部照射至所述透光反射镜；

所述第一相机组件包括：

第一相机；

第一连接件，连接于所述第一相机的一侧，使得所述第一相机能通过所述第一连接件接收光；

所述第二相机组件还包括：

第二连接件，一侧连接于所述第二相机，使得所述第二相机能通过所述第二连接件接收光；

所述第二连接件的另一侧设置于所述第一连接件和所述反射连接件之间，使得透过所述透光反射镜的光能通过所述反射连接件的内部和所述第二连接件的内部，入射至所述第一连接件的内部；

所述第二连接件罩住所述第二反射镜和所述移动组件。

4.如权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述光源组件和所述第二相机组件位于所述第一相机组件的同一侧。

5.如权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第二相机组件还包括：

固定部件，所述第二相机固定于所述固定部件；

反射镜安装部件，所述第二反射镜设置于所述反射镜安装部件；

所述移动组件包括：

主体，固定于所述固定部件；

伸缩部件，可伸缩地设置于所述主体，且连接于所述反射镜安装部件。

6.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括：

基座，承载所述光源组件、所述透光反射镜、所述第一相机组件、所述第二相机组件和所述移动组件；

物镜组件，具有多个物镜，所述物镜能允许所述透光反射镜反射的光透过；

切换组件，连接于所述基座和所述物镜组件，以带动所述物镜组件相对所述基座移动。

7.如权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述基座设有第一角度调节部；

所述缺陷检测装置还包括：

安装转接部件，设有第二角度调节部；

角度锁紧部件，能连接所述第一角度调节部和所述第二角度调节部。

8.如权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括：

遮挡部件，设置于所述基座且遮盖所述透光反射镜。

9.如权利要求1至8任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括：

第一半镜座，设有能允许光通过的第一孔，所述第一孔连接于所述光源组件；

第二半镜座，设有能允许光通过的第二孔，所述透光反射镜位于所述第一半镜座与所述第二半镜座之间。

10.一种检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述缺陷检测装置。

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