CN216152756U - 一种晶片多线切割可调节线滑轮 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片制造设备技术领域，公开了一种晶片多线切割可调节线滑轮，包括线滑轮本体和轴臂套，轴臂套的一端上固连有底座，轴臂套的另一端滑动的设有轴臂，轴臂远离轴臂套的一端安装有第一螺纹套，第一螺纹套远离轴臂的一侧设置有第二螺纹套，第一螺纹套与第二螺纹套之间活动的设置有调节螺母，第一螺纹套和第二螺纹套之间固定连接有连接梁，第一螺纹套、第二螺纹套和调节螺母上螺纹连接有同一根螺纹连接杆，螺纹连接杆远离第一螺纹套的一端螺纹连接有螺帽，螺帽远离螺纹连接杆的一端设置有固定轴，线滑轮本体转动安装在固定轴上。本实用新型能够自由调节伸缩轴臂长度和线滑轮轴向位置，准确的将线滑轮调整至所需位置对钢线进行输送。

Description

一种晶片多线切割可调节线滑轮

技术领域

本实用新型涉及晶片制造设备技术领域，尤其涉及一种晶片多线切割可调节线滑轮。

背景技术

在晶片制造领域，因为传统的内圆切片工艺效率低下，原料损耗巨大，已不能满足现代化生产需求，随着多线切割技术的发展，所以目前多线切割技术已取代传统的内圆切片工艺。

多线切割技术采用将钢线或者金刚线按照顺序规则排列于导线槽内形成平行排列的线网，并通过主轴转动带动线网使之进行高速往复运动，在油基砂浆或者水基切削液的作用下，钢线带动砂浆中的游离磨料或金刚线利用表面的硬质磨料对待切晶体进行磨削划犁，晶体在游离磨料的作用下产生裂纹并崩裂，使之形成深划痕，过程持续重复晶体被切割成晶片。

在多线切割的过程中，切割晶体的钢线按顺序排列为线网，而钢线前后端，则分别由送线辊、收线辊和线滑轮共同组成送线和收线系统；其中线滑轮主要负责钢线的转向和滚动输送，传统多线切割机的线滑轮通常固定于两侧腔壁上，在需要调整钢线位置时，固定的线滑轮因为不可移动和不可伸缩性，导致无法准确调整至所需位置，不利于钢线的输送，如此，不仅增大了线滑轮上橡胶圈的磨损，导致生产成本增加，同时也增大了断线的风险，不利于安全稳定的生产控制。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种晶片多线切割可调节线滑轮，能够自由调节伸缩轴臂长度和线滑轮轴向位置，准确的将线滑轮调整至所需位置对钢线进行输送。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种晶片多线切割可调节线滑轮，包括线滑轮本体和轴臂套，所述轴臂套的一端上固定连接有底座，所述轴臂套的另一端滑动的设置有轴臂，所述轴臂远离轴臂套的一端固定安装有第一螺纹套，所述第一螺纹套远离轴臂的一侧设置有第二螺纹套，所述第一螺纹套与第二螺纹套之间活动的设置有调节螺母，所述第一螺纹套和第二螺纹套之间固定连接有连接梁，所述第一螺纹套、第二螺纹套和调节螺母上螺纹连接有同一根螺纹连接杆，所述螺纹连接杆远离第一螺纹套的一端螺纹连接有螺帽，所述螺帽远离螺纹连接杆的一端设置有固定轴，所述线滑轮本体转动安装在固定轴上。

进一步，所述线滑轮本体上开设有中心通孔，所述线滑轮本体通过中心通孔转动连接在固定轴上，所述线滑轮本体远离螺帽的一侧上设置有轴承限位圈，所述轴承限位圈内固定安装有轴承，所述固定轴固定安装在轴承的内圈上。如此，可以实现线滑轮本体在轴承上旋转，使得线滑轮本体的旋转更加的顺畅，摩擦力和噪音更小。

进一步，所述轴承限位圈的外壁上固定安装有连接定位环，所述连接定位环远离线滑轮本体的一侧固定安装有顶盖。如此，利用连接定位环和顶盖将轴承密封，避免杂物进入轴承。

进一步，所述线滑轮本体上设置有若干个螺纹盲孔，所述连接定位环和顶盖上均设有与螺纹盲孔匹配的第一螺纹通孔，所述螺纹盲孔与第一螺纹通孔之间螺纹连接有固定螺栓。如此，将固定螺栓螺纹连接在第一螺纹通孔和螺纹盲孔内，达到将连接定位环和顶盖固定安装在线滑轮本体上的目的。

进一步，所述线滑轮本体的外圆周上开设有环形限位槽，所述环形限位槽内固定安装有U型圈，所述U型圈为U型开口。将U型圈内圈卡入线滑轮本体圆周外侧的环形限位槽进行固定安装，避免了在输送钢线的过程中因应力集中问题导致的材料磨损过高现象的发生，有利于增加U型圈的使用寿命，减少因U型圈磨损所导致的断线现象，降低生产成本，有效提高生产效率。

进一步，所述U型圈为TPU热塑性聚氨酯制成。TPU热塑性聚氨酯的耐磨性和弹性均较好。

进一步，所述轴臂套内设置有与轴臂尺寸匹配的轴臂盲孔，所述轴臂滑动的设置在轴臂盲孔内，所述轴臂套的侧壁上开设有与轴臂盲孔连通的条形通槽；所述轴臂的侧壁上设置有条形齿，所述条形齿位于条形通槽处，所述条形齿上啮合有齿轮，所述齿轮上固定连接有伺服电机，所述伺服电机带动齿轮旋转，所述伺服电机电连接有控制器。通过控制器控制伺服电机轴带动齿轮转动，然后齿轮通过与轴臂上的条形齿啮合传递动能使轴臂能在轴臂套内移动，实现对轴臂伸缩长度的精准化控制。

进一步，所述底座上开设有若干个第二螺纹通孔，所述底座上设置有转向座，所述轴臂套上设置有转向孔，所述转向座固定安装在转向孔内。如此，可以使用单头螺栓穿过第二螺纹通孔就可以将底座固定安装在外部的设备腔壁上，将轴臂套固定安装在底座上。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过控制器控制伺服电机旋转，利用齿轮的啮合传动，将伺服电机的动力传递至轴臂，从而实现轴臂在轴臂套内的伸缩，进而实现轴臂末端连接的线滑轮本体能在径向实现预设的位置移动；再通过旋转连接于螺纹连接杆上的调节螺母，使其在调节螺母位置固定的情况下通过螺纹连接，使螺纹连接杆进行移动，进入带动固定在螺纹连接杆上的固定轴和固定在固定上的线滑轮本体轴向位置移动。因此，本实用新型能够自由调节伸缩轴臂长度和线滑轮轴向位置，能够准确的将线滑轮调整至所需位置对钢线进行输送；进而避免了因线滑轮本体位置不便调节，从而增大切割线断线风险的问题。

附图说明

图1是本实用新型一种晶片多线切割可调节线滑轮的结构示意图；

图2为图1的拆解爆炸图；

图3为图1中轴臂和轴臂套的结构示意图。

其中，线滑轮本体1、轴臂套2、底座3、第二螺纹通孔4、转向座5、转向孔6、轴臂盲孔7、轴臂8、条形通槽9、条形齿10、齿轮11、伺服电机12、第一螺纹套13、第二螺纹套14、调节螺母15、连接梁16、螺纹连接杆17、螺帽18、固定轴19、中心通孔20、轴承限位圈21、轴承22、连接定位环23、顶盖24、螺纹盲孔25、第一螺纹通孔26、环形限位槽27、U型圈28。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型进行详细说明：

如图1～图3所示：一种晶片多线切割可调节线滑轮，包括线滑轮本体1和轴臂套2，如图1和2中轴臂套2的左端上设有底座3，底座3上开设有六个第二螺纹通孔4，底座3上一体成型有转向座5，轴臂套2上开设有转向孔6，转向座5固定在转向孔6内。轴臂套2的右端内开设有轴臂盲孔7，轴臂盲孔7内滑动的设置有轴臂8，轴臂套2的侧壁上开设有与轴臂盲孔7连通的条形通槽9；轴臂8的侧壁上一体成型有条形齿10，条形齿10位于条形通槽9处，条形齿10上啮合有齿轮11，齿轮11上固定连接有伺服电机12，伺服电机12带动齿轮11旋转，伺服电机12电连接有控制器，伺服电机12安装在外部的设备内腔的机架上。

轴臂8远离轴臂套2的一端固定安装有第一螺纹套13，第一螺纹套13远离轴臂8的一侧设置有第二螺纹套14，第一螺纹套13与第二螺纹套14之间活动的设置有调节螺母15，第一螺纹套13和第二螺纹套14之间焊接有连接梁16，第一螺纹套13、第二螺纹套14和调节螺母15上螺纹连接有同一根螺纹连接杆17，螺纹连接杆17远离第一螺纹套13的一端螺纹连接有螺帽18，螺帽18远离螺纹连接杆17的一端一体成型有固定轴19，线滑轮本体1上开设有中心通孔20，线滑轮本体1通过中心通孔20转动连接在固定轴19上，线滑轮本体1远离螺帽18的一侧上一体成型有轴承限位圈21，轴承限位圈21内固定安装有轴承22，固定轴19过盈配合的固定安装在轴承22的内圈上。

轴承限位圈21的外壁上固定安装有连接定位环23，连接定位环23远离线砂轮本体1的一侧固定安装有顶盖24；线滑轮本体1上设置有六个螺纹盲孔25，连接定位环23和顶盖24上均设有与螺纹盲孔25匹配的第一螺纹通孔26，螺纹盲孔25与第一螺纹通孔26之间螺纹连接有固定螺栓。

线滑轮本体的外圆周上开设有环形限位槽27，环形限位槽内固定卡设有U型圈28，U型圈28为U型开口，U型圈28为具有耐磨性和弹性均较好的TPU热塑性聚氨酯制成。

本实用新型的使用方法如下：

在进行安装前，将固定轴19从螺纹连接杆17取下，先将固定轴19装配于线滑轮本体1的中心通孔20，将轴承22装配于轴承限位圈21内侧，同时将轴承22套于固定轴19的顶端，此时轴承22固定于轴承限位圈21内，固定轴19一同穿过中心通孔20和轴承22内圈并固定连接，再将连接定位环23装配于轴承限位圈21外侧，将顶盖24装配于连接定位环23顶部，此时将线滑轮本体1、连接定位环23和顶盖24上的螺纹盲孔25和第一螺纹孔26对齐，并使用固定螺栓固定。

然后使用螺钉穿过底座3上的第二螺纹通孔4，将底座3固定于外部的设备腔壁，将轴臂套2上的转向孔6与底座3上的转向座5进行配合固定装配，将轴臂8穿入到轴臂盲孔7装配于轴臂套2内，此时轴臂8上的条形齿10穿过轴臂套2上的条形通槽9露出于外，与伺服电机12上连接的齿轮11相啮合，再将线滑轮本体1端的连接轴和螺纹连接杆17通过螺纹进行装配。

进行设备调试时，先通过转向座5和转向孔6的配合，使线滑轮本体1旋转至适宜的角度并固定转向，再通过控制器控制伺服电机12上的齿轮11转动，通过与轴臂8上的条形齿10啮合使轴臂8进行径向移动，待线滑轮本体1调整至合适位置，停止伺服电机12转动并固定轴臂8位置；再通过转动调节螺母15，通过螺纹传动致使螺纹连接杆17进行移动，从而实现线滑轮本体1的轴向位置移动。通过轴向机构、齿轮11机构和螺纹传动机构的相互配合和调整，从而实现线滑轮本体1所需的角度和轴径向位置调整，使线滑轮本体1能在适宜的位置进行钢线输送，减少因线滑轮位置不当所产生的线磨损最终导致停工停产和原材料报废的现象，极大地节约了生产成本，同时减少因问题处理导致的生产周期延长现象，有效提高了生产效率。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (8)

1.一种晶片多线切割可调节线滑轮，包括线滑轮本体，其特征在于：还包括轴臂套，所述轴臂套的一端上固定连接有底座，所述轴臂套的另一端滑动的设置有轴臂，所述轴臂远离轴臂套的一端固定安装有第一螺纹套，所述第一螺纹套远离轴臂的一侧设置有第二螺纹套，所述第一螺纹套与第二螺纹套之间活动的设置有调节螺母，所述第一螺纹套和第二螺纹套之间固定连接有连接梁，所述第一螺纹套、第二螺纹套和调节螺母上螺纹连接有同一根螺纹连接杆，所述螺纹连接杆远离第一螺纹套的一端螺纹连接有螺帽，所述螺帽远离螺纹连接杆的一端设置有固定轴，所述线滑轮本体转动安装在固定轴上。

2.根据权利要求1所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述线滑轮本体上开设有中心通孔，所述线滑轮本体通过中心通孔转动连接在固定轴上，所述线滑轮本体远离螺帽的一侧上设置有轴承限位圈，所述轴承限位圈内固定安装有轴承，所述固定轴固定安装在轴承的内圈上。

3.根据权利要求2所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述轴承限位圈的外壁上固定安装有连接定位环，所述连接定位环远离线滑轮本体的一侧固定安装有顶盖。

4.根据权利要求3所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述线滑轮本体上设置有若干个螺纹盲孔，所述连接定位环和顶盖上均设有与螺纹盲孔匹配的第一螺纹通孔，所述螺纹盲孔与第一螺纹通孔之间螺纹连接有固定螺栓。

5.根据权利要求4所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述线滑轮本体的外圆周上开设有环形限位槽，所述环形限位槽内固定安装有U型圈，所述U型圈为U型开口。

6.根据权利要求5所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述U型圈为TPU热塑性聚氨酯制成。

7.根据权利要求1-6任一权利要求所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述轴臂套内设置有与轴臂尺寸匹配的轴臂盲孔，所述轴臂滑动的设置在轴臂盲孔内，所述轴臂套的侧壁上开设有与轴臂盲孔连通的条形通槽；所述轴臂的侧壁上设置有条形齿，所述条形齿位于条形通槽处，所述条形齿上啮合有齿轮，所述齿轮上固定连接有伺服电机，所述伺服电机带动齿轮旋转，所述伺服电机电连接有控制器。

8.根据权利要求1-6任一权利要求所述的一种晶片多线切割可调节线滑轮，其特征在于：所述底座上开设有若干个第二螺纹通孔，所述底座上设置有转向座，所述轴臂套上设置有转向孔，所述转向座固定安装在转向孔内。

Images