CN216144904U - 探针台用探针卡托盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种探针台用探针卡托盘装置，包括探针卡托盘放置台和探针卡托盘，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽；其中，所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔；所述探针卡托盘放置台设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱，所述定位柱与所述定位孔的形状相对应，且所述定位柱之间的柱心距离等于所述定位孔之间的孔心间距。通过在中空凹槽的底部设置环形密封件，缓冲了探针卡工作时的受力，避免了探针卡的探针倾斜；同时，在安装支座设置定位孔和定位槽，提高了探针卡托盘的安装效率。

Description

探针台用探针卡托盘装置

技术领域

本实用新型涉及半导体测试领域，更具体地，涉及一种探针台用探针卡托盘装置。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

晶圆在测试过程中被吸附在吸盘上，吸盘位于放置槽的下方，并由移动平台带动，与探针卡进行接触，从而遍测晶圆上的每个芯片。

测试过程中，探针卡受外力影响容易出现探针倾斜，扎针接触不均匀的现象，影响晶圆的正常检测。而且，长时间运行的探针卡受晶圆的影响，测试过程中会被引入颗粒物，导致测量结果不准确。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，本实用新型提供一种探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，包括探针卡托盘放置台、探针卡托盘和探针卡，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽，所述探针卡放置于所述中空凹槽内；其中，所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔；所述探针卡托盘放置台设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱，所述定位柱与所述定位孔的形状相对应，且所述定位柱之间的柱心距离等于所述定位孔之间的孔心间距。

优选地，所述定位孔数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

优选地，所述定位孔数量为6个。

优选地，所述探针卡托盘还包括环形密封件，所述环形密封件设置于所述中空凹槽的底部，所述探针卡放置于所述环形密封件上。

优选地，所述中空凹槽的底部形状为圆环形，具有外圆尺寸和内圆尺寸，所述环形密封件具有外圈尺寸和内圈尺寸，所述外圆尺寸等于所述外圈尺寸，所述内圆尺寸等于所述内圈尺寸。

优选地，所述环形密封件的材料包括弹性硅胶材料。

优选地，所述定位支座还设有若干定位槽对，所述定位槽对与所述定位孔对对应且等距设置，所述定位槽对包括沿所述定位支座的外缘对称设置的两个定位槽；所述探针卡托盘放置台还设有定位块对，所述定位块对包括两个定位块，所述定位块与所述定位槽的形状相对应，且所述定位块之间的块心距离等于所述定位槽之间的槽心间距。

优选地，所述定位槽数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

优选地，所述探针卡托盘还设置有探针卡安装槽，所述探针卡安装槽沿所述中空凹槽的外缘径向设置。

优选地，所述探针卡安装槽数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

从上述技术方案可以看出，通过在中空凹槽的底部设置环形密封件，缓冲了探针卡工作时的受力，避免了探针卡的探针倾斜；同时，在安装支座设置定位孔和定位槽，提高了探针卡托盘的安装效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了根据本实用新型实施例的探针台用探针卡托盘装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。图1示出了根据本实用新型实施例的探针台用探针卡托盘装置的结构示意图。

如图1所示，本实施例提供了一种探针台用探针卡托盘装置，包括探针卡托盘放置台200和探针卡托盘100，所述探针卡托盘100包括定位支座110，所述定位支座110内设有中空凹槽104，所述中空凹槽104用于放置探针卡。

所述定位支座110设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座110上的两个定位孔101；所述探针卡托盘放置台200设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱201，所述定位柱201与所述定位孔101的形状相对应，且所述定位柱201之间的柱心距离等于所述定位孔101之间的孔心间距。所述定位孔数量为大于等于2或小于等于10的偶数。所述定位柱201 的尺寸和形状与所述定位孔101的尺寸和形状相同，为了快捷安装，所述定位孔101的数量多于所述定位柱201的数量，通过设置数量为1对～5对的定位孔对，任一对所述定位孔对的孔心间距等于所述柱心距离，在安装所述探针卡托盘100至所述探针卡托盘放置台200上时，可通过任一对所述定位孔对与所述定位柱对的对位，实现了快捷安装。在本实施例中，所述定位孔101数量为6个。设置数量多于所述定位柱201数量的定位孔101，在对所述探针卡进行更换后，可以从任意方向方便地使探针卡托盘100放置于所述探针卡托盘放置台 200上。所述定位孔101沿所述中空凹槽104的圆周对称设置在所述定位支座110上。所述定位柱201与所述定位孔101的形状和尺寸相对应。所述定位孔的形状可以包括圆锥形、圆台形、圆柱形、长方体或正方体中的一种。在另一实施例中，沿所述定位孔的孔壁方向，所述定位孔的尺寸渐变增大或渐变减小。

如图1所示，所述定位支座110还设有若干定位槽对，所述定位槽对包括沿所述定位支座的外缘对称设置的两个定位槽103，所述定位槽对与所述定位孔对对应且等距离设置，所述定位槽103数量为大于等于2或小于等于10的偶数。具体的，各定位孔对对应定位槽对，且各定位孔对与对应的定位槽对的距离和方向相同。所述探针卡托盘放置台200还设有定位块对，所述定位块对包括两个定位块203，所述定位块卡设在所述定位槽103内，所述定位块203与所述定位槽 103的形状相对应，且所述定位块之间的块心距离等于所述定位槽之间的槽心间距。通过设置与所述定位孔对相对应的定位槽对，任一定位孔对对应所述定位柱对定位后，与所述定位孔对对应的所述定位槽对卡住所述定位块对实现固定。在进行探针卡交换时，可以从任意方向方便地使探针卡托盘100放置于所述探针卡托盘放置台200上。所述定位槽底部的形状为矩形，所述定位块为长方体。

所述探针卡托盘100还设置有探针卡安装槽102，所述探针卡安装槽102沿所述中空凹槽104的外缘径向设置。所述探针卡安装槽 102数量为大于等于2或小于等于10的偶数。所述探针卡安装槽102 的底面高于所述中空凹槽104，通过在所述中空凹槽104的外缘设置所述探针卡安装槽102，可以方便地实现环形密封件和探针卡的安装和卸下，便于及时清洁和保养。

所述探针卡托盘100还包括环形密封件。所述环形密封件设置于所述中空凹槽104的底部，所述探针卡放置于所述环形密封件上。所述中空凹槽104的底部形状为圆环形，具有外圆尺寸和内圆尺寸，所述环形密封件具有外圈尺寸和内圈尺寸，所述外圆尺寸等于所述外圈尺寸，所述内圆尺寸等于所述内圈尺寸。通过在所述中空凹槽104的底部设置环形密封件，预防测试过程中受外力影响导致探针卡的倾斜，避免了探针卡的探针扎针接触不均匀，导致测试小电流小电容数据的不稳定；同时还可以使探针卡下方处于密封状态，避免异物进入探针台。作为一优选实施例，所述环形密封件的材料包括弹性硅胶材料。

本实用新型实施例的探针台用探针卡托盘装置，通过在中空凹槽的底部设置环形密封件，缓冲了探针卡工作时的受力，避免了探针卡的探针倾斜；同时，在安装支座设置定位孔和定位槽，提高了探针卡托盘的安装效率，具有显著的意义。

以上所述的仅为本实用新型实施例的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型实施例的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型实施例的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型实施例的保护范围内。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，包括：探针卡托盘放置台和探针卡托盘，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽；其中，

所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔；所述探针卡托盘放置台设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱，所述定位柱与所述定位孔的形状相对应，且所述定位柱之间的柱心距离等于所述定位孔之间的孔心间距。

2.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位孔数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

3.如权利要求2所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位孔数量为6个。

4.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述探针卡托盘还包括环形密封件，所述环形密封件设置于所述中空凹槽的底部。

5.如权利要求4所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述中空凹槽的底部形状为圆环形，具有外圆尺寸和内圆尺寸，所述环形密封件具有外圈尺寸和内圈尺寸，所述外圆尺寸等于所述外圈尺寸，所述内圆尺寸等于所述内圈尺寸。

6.如权利要求4所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述环形密封件的材料包括弹性硅胶材料。

7.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位支座还设有若干定位槽对，所述定位槽对与所述定位孔对对应且等距设置，所述定位槽对包括沿所述定位支座的外缘对称设置的两个定位槽；所述探针卡托盘放置台还设有定位块对，所述定位块对包括两个定位块，所述定位块与所述定位槽的形状相对应，且所述定位块之间的块心距离等于所述定位槽之间的槽心间距。

8.如权利要求7所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位槽数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

9.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述探针卡托盘还设置有探针卡安装槽，所述探针卡安装槽沿所述中空凹槽的外缘径向设置。

10.如权利要求9所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述探针卡安装槽数量为大于等于2或小于等于10的偶数。

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