CN216082550U - 一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，包括装夹组件、电解组件和显示组件，所述装夹组件用于将待测样品移动置于电解组件内进行电化学腐蚀减薄，所述显示组件设置于电解组件的上方，用于实时观察待测样品减薄过程，减薄是否已达到要求。本实用新型通过将显微镜、显示屏和电解装置结合起来，在减薄过程中能实时观察样品的状态，如出现电压过大或腐蚀液配制不对，可以立即停止，通过调整电压、改变腐蚀液配比，直至减薄成功，整个装置结构采用模块化、系统化设计，不仅便于装卸，而且结构简单容易加工生产制作。

Description

一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置

技术领域

本实用新型涉及透射电镜试样减薄技术领域，具体涉及一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置。

背景技术

随着材料表征技术的发展，人们越来越重视观察材料的微观组织，对金属样品的制备提出了更高的要求，如在制备透射样品时，需要样品尽可能的薄，使电子束能穿透样品。但市面上现存的样品减薄装置，只能在样品减薄结束后，才能知道样品减薄是否成功，而不能实时观察减薄的过程。如果在减薄过程中，出现电压过大、腐蚀液配制不对很容易出现减薄不成功。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，包括装夹组件、电解组件和显示组件，所述装夹组件用于将待测样品移动置于电解组件内进行电化学腐蚀减薄，所述显示组件设置于电解组件的上方，用于实时观察待测样品减薄过程，减薄是否已达到要求。

本实用新型优选的，所述装夹组件包括XYZ三轴移动座和夹具，所述夹具安装于XYZ三轴移动座的一侧，用于夹持待测样品，所述XYZ三轴移动座用于移动夹具并调节待测样品在电解组件内的位置。

本实用新型优选的，所述夹具为“Z”字型结构，其一侧用于放置待测样品。

本实用新型优选的，所述电解组件包括直流电源、无自锁常开开关、烧杯、腐蚀液和铜丝，所述烧杯内盛放有腐蚀液，所述铜丝的一端置于烧杯内，且所述腐蚀液漫过铜丝的一端，所述铜丝的另一端串联无自锁常开开关和直流电源后与夹具的一端连接。

本实用新型优选的，所述显示组件包括显微镜、显微镜支杆、显微镜座、光源和显示屏，所述显微镜座的一侧通过显微镜支杆连接显微镜，所述光源设置于显微镜座的中心位置，且与显微镜的镜头同轴线，所述显微镜与显示器通过HDMI数据线连接。

本实用新型优选的，所述待测样品放置于夹具上后移动XYZ三轴移动座将待测样品置于烧杯内，且待测样品置于腐蚀液内。

本实用新型优选的，所述待测样品、光源和显微镜的镜头同轴线。

与现有技术相比，本实用新型通过将显微镜、显示屏和电解装置结合起来，在减薄过程中能实时观察样品的状态，如出现电压过大或腐蚀液配制不对，可以立即停止，通过调整电压、改变腐蚀液配比，直至减薄成功，整个装置结构采用模块化、系统化设计，不仅便于装卸，而且结构简单容易加工生产制作。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，如图1所示，包括装夹组件、电解组件和显示组件，装夹组件用于将待测样品8移动置于电解组件内进行电化学腐蚀减薄，显示组件设置于电解组件的上方，用于实时观察待测样品8减薄过程，减薄是否已达到要求。

如图1所示，装夹组件包括XYZ三轴移动座1和夹具12，夹具12安装于XYZ三轴移动座1的一侧，用于夹持待测样品8，XYZ三轴移动座1用于移动夹具12并调节待测样品8在电解组件内的位置。

如图1所示，夹具12为“Z”字型结构，其一侧用于放置待测样品8。

如图1所示，电解组件包括直流电源3、无自锁常开开关2、烧杯7、腐蚀液10和铜丝9，烧杯7内盛放有腐蚀液10，铜丝9的一端置于烧杯7内，且腐蚀液10漫过铜丝9的一端，铜丝9的另一端串联无自锁常开开关2和直流电源3后与夹具12的一端连接。

如图1所示，显示组件包括显微镜4、显微镜支杆14、显微镜座13、光源6和显示屏5，显微镜座13的一侧通过显微镜支杆14连接显微镜4，光源6设置于显微镜座13的中心位置，且与显微镜4的镜头同轴线，显微镜4与显示器5通过HDMI数据线11连接。

如图1所示，待测样品8放置于夹具12上后移动XYZ三轴移动座1将待测样品8置于烧杯7内，且待测样品8置于腐蚀液10内。

如图1所示，待测样品8、光源6和显微镜4的镜头同轴线。

本实用新型的工作原理如下：

如图1所示，首先将配制好的腐蚀液10倒入烧杯7中，烧杯7放置在带有光源6的显微镜座13的中心上，移动XYZ三轴移动座1，使待测样品8进入腐蚀液10中，调整XYZ三轴移动座1的位置，使待测样品8、光源6、显微镜4的镜头处于同轴，直至能在显示屏5清楚的看到待测样品8的状态，由于夹具和待测样品均是金属，因此，按一下无自锁常开开关2，直流电源3、夹具12、待测样品8、腐蚀液10和铜丝9便会形成电流回路，待测样品8就会进行电化学腐蚀减薄，减薄过程中，可在显示屏5中实时观察待测样品8减薄过程，若样品减薄已达到要求，即可松开无自锁常开开关2，取出待测样品8清洗后备用。

综上所述，本实用新型通过将显微镜、显示屏和电解装置结合起来，在减薄过程中能实时观察样品的状态，如出现电压过大或腐蚀液配制不对，可以立即停止，通过调整电压、改变腐蚀液配比，直至减薄成功，整个装置结构采用模块化、系统化设计，不仅便于装卸，而且结构简单容易加工生产制作。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，包括装夹组件、电解组件和显示组件，所述装夹组件用于将待测样品移动置于电解组件内进行电化学腐蚀减薄，所述显示组件设置于电解组件的上方，用于实时观察待测样品减薄过程，减薄是否已达到要求。

2.根据权利要求1所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述装夹组件包括XYZ三轴移动座和夹具，所述夹具安装于XYZ三轴移动座的一侧，用于夹持待测样品，所述XYZ三轴移动座用于移动夹具并调节待测样品在电解组件内的位置。

3.根据权利要求2所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述夹具为“Z”字型结构，其一侧用于放置待测样品。

4.根据权利要求2或3所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述电解组件包括直流电源、无自锁常开开关、烧杯、腐蚀液和铜丝，所述烧杯内盛放有腐蚀液，所述铜丝的一端置于烧杯内，且所述腐蚀液漫过铜丝的一端，所述铜丝的另一端串联无自锁常开开关和直流电源后与夹具的一端连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述显示组件包括显微镜、显微镜支杆、显微镜座、光源和显示屏，所述显微镜座的一侧通过显微镜支杆连接显微镜，所述光源设置于显微镜座的中心位置，且与显微镜的镜头同轴线，所述显微镜与显示器通过HDMI数据线连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述待测样品放置于夹具上后移动XYZ三轴移动座将待测样品置于烧杯内，且待测样品置于腐蚀液内。

7.根据权利要求6所述的一种用于透射电子显微镜观察的金属材料可视化减薄装置，其特征在于，所述待测样品、光源和显微镜的镜头同轴线。

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