CN216082411U - 表面洁净度实时检测设备及其灰尘收集装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种灰尘收集装置，包括：防护罩，所述防护罩为由防护罩所围成的中空结构，所述防护罩开设有开口、进气口和出气口，所述开口用于贴合待检测表面，以使所述防护罩与所述待检测表面构成一个腔体：气体喷吹装置，用于产生气体，所述气体喷吹装置连接于所述进气口。还涉及一种表面洁净度实时检测设备，包括如上所述的灰尘收集装置和检测仪，所述检测仪连接于所述灰尘收集装置的所述出气口，所述检测仪用于通过所述出气口抽取所述防护罩内的灰尘并检测。以上方案中能够实时获得检测结果，检测周期短，能够及时判定测量结果，缩短品质改善周期，进而提高产品质量和良率。

Description

表面洁净度实时检测设备及其灰尘收集装置

技术领域

本实用新型涉及灰尘检测设备技术领域，特别是涉及一种表面洁净度实时检测设备及其灰尘收集装置。

背景技术

表面洁净度检测设备，也称灰尘检测设备，用于检测产品表面或设备表面落尘数量，以确定产品或设备的洁净度是否管控在允许范围内。

现有技术中对产品或设备进行洁净度检测时，通常使用吸尘器抽取空气或表面的颗粒物并收集在灰尘测试纸，再前往灰尘检测实验室对灰尘测试纸检测，从而确定产品或设备的洁净度。这种表面灰尘测试方法测试周期长，人力成本高，无法实时获得测试结果以及时判定状况，不利于立即改善现场洁净度，无法实时确保产品质量。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种表面洁净度实时检测设备及其灰尘收集装置，旨在解决现有技术存在的无法实时获得测试结果的问题。

本申请提供一种灰尘收集装置，包括防护罩、气体喷吹装置。

所述防护罩为中空结构，所述防护罩开设有开口、进气口和出气口，所述开口用于贴合待检测表面，以使所述防护罩与所述待检测表面构成一个腔体；

所述气体喷吹装置连接于所述进气口，用于向所述腔体内喷吹气体。

通过将防护罩的开口贴合待检测表面，使防护罩与待检测表面构成一个腔体，并用进气口连接气体喷吹装置，使得气体喷吹装置的所喷吹的气体从进气口进入腔体，激起待检测表面位于开口区域内的灰尘或颗粒物，使待检测表面的灰尘或颗粒物与腔体内的气体充分混合，以便于将腔体内的灰尘或颗粒物尽量多地从出气口抽出。

下面对本申请的技术方案作进一步的说明：

在其中一个实施例中，所述防护罩还开设有用于连通所述腔体与所述防护罩外部的气压平衡口，所述气压平衡口内置或连接有第一空气过滤器。

通过设置气压平衡口，平衡腔体内的气压，并利用第一空气过滤器防止内外气体通过气压平衡口流动交换时，将腔体内的灰尘或颗粒物带出至防护罩的外部，和/或，将防护罩外部的灰尘或颗粒物带入至腔体，从而确保灰尘收集装置内部的灰尘或颗粒物仅为待检测表面或原腔体内的灰尘或颗粒物。

在其中一个实施例中，所述气压平衡口位于所述防护罩的顶部，所述开口设置在所述防护罩的底部。

通过将气压平衡口设置在防护罩的顶部，减少气压平衡口对腔体内灰尘或颗粒物的吸附。

在其中一个实施例中，所述进气口和所述出气口均位于所述防护罩的侧部上近所述开口的位置。

通过将进气口贴近开口设置，使得从进气口中进入的气体贴近待检测表面，以使进入的气体能够将待检测表面的灰尘或颗粒物吹起，且若进气口与待检测表面的距离较大，进气口中所进入的气体在抵达待检测表面之前速度就会降低，从而影响待检测表面的灰尘或颗粒物被吹气的效果。

在其中一个实施例中，所述气体喷吹装置包括；空气发生器，用于产生气体，所述空气发生器通过气体管道连接所述进气口。

通过设置空气发生器，并将空气发生器和进气口之间通过气体管道连通，使得空气发生器所产生的气体能够从进气口进入腔体，以使待检测表面的灰尘或颗粒物被吹起，从而使待检测表面的灰尘或颗粒物与腔体内的气体充分混合。

在其中一个实施例中，所述空气发生器为压缩气体发生器，用于产生压缩气体。

通过设置相较于普通气体压强更高的压缩气，在从进气口进入腔体时，气体流动速度更快，待检测表面的灰尘或颗粒物被吹起的高度更高、速度更快，能够更好地使待检测表面的灰尘或颗粒物与腔体内的气体混合充分。

在其中一个实施例中，所述气体喷吹装置还包括电磁阀、脉冲开关。

电磁阀设置于所述空气发生器与所述进气口之间，用于连通或阻断所述气体管道。

脉冲开关连接所述电磁阀，并控制所述电磁阀间歇开闭。

通过设置脉冲开关连接及控制位于空气发生器与进气口之间电磁阀进行间歇开闭，从而连通或阻断气体管道，实现从空气发生器向腔体内输入的气体为脉冲气体。

在其中一个实施例中，所述进气口和所述出气口相对分布。

通过将进气口和出气口相对分布，尽可能使得从进气口中进入的气体从出气口抽出时所经过待检测表面的面积最大化，从而使得抽气时能够尽可能多地将待检测表面的灰尘和颗粒物抽出，进而使表面洁净度的检测结果更准确。

在其中一个实施例中，所述气体喷吹装置和所述进气口之间连接有第二空气过滤器。

通过在气体喷吹装置和进气口之间设置第二空气过滤器，阻碍气体喷吹装置所产生的气体中的灰尘或颗粒物进入到腔体内，减小气体喷吹装置所产生的气体中的灰尘或颗粒物对表面洁净度的检测的影响。

在其中一个实施例中，所述防护罩还包括密封垫圈，所述防护罩还包括密封垫圈，所述密封垫圈环绕所述开口且突出所述开口。

通过设置密封垫圈，将开口和待检测表面之间为密封连接，进一步减小腔体内的气体、灰尘或颗粒物从开口与待检测表面之间外溢到防护罩的外部的可能性，同时，使得防护罩外的气体、灰尘或颗粒物难以从开口与待检测表面之间进入到腔体，从而减小了防护罩外部的灰尘或颗粒物对检测结果的影响。

在其中一个实施例中，所述密封垫圈为柔性件。

通过采用柔性材料制成的密封垫圈，使得密封垫圈介于防护罩和待检测表面之间还能够适配于表面不平整的待检测表面。

在其中一个实施例中，所述密封垫圈嵌于所述防护罩。

通过将密封垫圈嵌在防护罩的外壳中，不仅能够起到对开口和待检测表面之间的密封效果，还更便于密封垫圈的安装及固定，也能够利用密封垫圈适配于表面不平整的待检测表面。

本申请还提供了一种表面洁净度实时检测设备，包括如上所述的灰尘收集装置和检测仪，所述检测仪连接于所述灰尘收集装置的所述出气口，所述检测仪用于通过所述出气口抽取所述防护罩内的灰尘并检测。

以上方案中通过使用检测仪连接灰尘收集装置，使得使用灰尘收集装置完成灰尘或颗粒物收集完成后就可以利用检测仪对所收集到的灰尘或颗粒物进行表面洁净度检测，能够实时获得检测结果，相较于现有技术不需要将灰尘收集后转移至实验室检测，检测周期短，能够及时判定测量结果，缩短品质改善周期，进而提高产品质量和良率。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例所示的表面洁净度实时检测设备的结构示意图；

图2为图1中的灰尘收集装置的正视图；

图3为图2中的灰尘收集装置的立体图；

图4为图2中A处放大示意图。

附图标记说明：

10、表面洁净度实时检测设备；100、灰尘收集装置；110、防护罩；111、腔体；112、开口；113、进气口；114、出气口；115、气压平衡口；1151、第一空气过滤器；116、密封垫圈；120、气体喷吹装置；121、空气发生器；122、气体管道；123、电磁阀；124、脉冲开关；125、第二空气过滤器；200、检测仪；20、待检测表面。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

目前，随着科技的快速发展，粒子污染控制已经逐渐从空气走向表面，表面洁净度检测设备的应用逐渐广泛。表面洁净度检测设备不仅被利用于航空航天领域，还被广泛应用在仪器仪表、光学镜头、动力电池等领域中。随着表面洁净度检测设备的应用领域逐渐扩大，其市场需求量也在不断扩增。

本发明人注意到，随着光学镜头或动力电池的生产领域中对表面洁净度的管控越来越严格，且生产现场中的表面洁净度存在一定波动，表面洁净度是否超过管控范围对所生产产品是否合格具有直接影响。例如，生产现场中的表面洁净度已经超过管控范围，此时所生产的产品存在不合格风险较大，若没有及时发现并改善，可能造成长期生产不良产品造成巨大损失或者不良产品流出。这就要求表面洁净度检测设备快速、准确地明确表面洁净度是否符合管控要求，以便生产产品质量的管控。

为了缓解这一问题，申请人研究发现，可以为检测仪增设灰尘收集装置。需要说明的是，表面洁净度通常利用在单位空间或面积内所含有灰尘或颗粒物的数量或大小表述。具体来说，可以通过将待检测空间或表面的灰尘或颗粒物收集，并输送至检测仪检测，检测仪就可以实时检测灰尘收集装置所收集的待检测空间或表面的表面洁净度。

基于以上考虑，为了解决表面洁净度检测周期长的问题，发明人经过深入研究，设计了一种灰尘收集装置，通过将防护罩的开口贴合待检测表面，使防护罩与待检测表面构成一个腔体，并用进气口连接气体喷吹装置，使得气体喷吹装置的所喷吹的气体从进气口进入腔体，激起待检测表面位于开口区域内的灰尘或颗粒物，使待检测表面的灰尘或颗粒物与腔体内的气体充分混合，以便于将腔体内的灰尘或颗粒物尽量多地从出气口抽出。

本申请实施例所公开的灰尘收集装置，可以但不限于用于航空航天、无尘生产车间等领域的表面洁净度检测中，可以利用本申请所公开的表面洁净度实时检测设备对各领域进行表面洁净度实时检测，以缩短检测周期及品质改善周期，有利于生产产品质量的管控。

下面结合附图，说明本实用新型的较佳实施方式。

如图1所示，为本申请一实施例展示的一种灰尘收集装置100，包括防护罩 110和气体喷吹装置120，其中，防护罩110为中空结构，防护罩110开设有开口112、进气口113和出气口114，开口112用于贴合待检测表面20，以使防护罩110与待检测表面20构成一个腔体111，且进气口113连接用于朝腔体111 中喷吹气体的气体喷吹装置120。

可以理解的是，防护罩110为刚性件，拥有立体固定形状。防护罩110在正常使用状态下，不会被气体喷吹装置120所喷吹的气体改变其原有形状。具体实施时，防护罩110的材质可以是玻璃、硬质塑料、金属等。

可以理解的是，在正常状态下，防护罩110的外部形状并不影响防护罩110 与待检测表面20构成一个用于灰尘或颗粒物与气体混合的腔体111，因此，防护罩110的外壁可以是任意形状。举例来说，防护罩110可以是如图1所示的圆台状，也可以是如图2和图3所示的圆柱状，也可以是棱柱、球体。

还可以理解的是，尽管防护罩110的外壁形状并不限定，但防护罩110的内部结构应当确保防护罩110与待检测表面20构成一个用于灰尘或颗粒物与气体混合的腔体111，防护罩110可以尽可能地减少影响从进气口113中喷吹的气体吹向待检测表面20，并且防护罩110可以尽可能地减少影响灰尘或颗粒物在腔体111内的混合，也就是说，防护罩110内部的形状优选为光滑或圆滑的结构，例如如图2所示的圆柱状。

可以理解的是，开口112与待检测表面20贴合，使得防护罩110覆盖在待检测表面20，防护罩110内部的中空结构与待检测表面20之间构成一个腔体 111，该腔体111用于灰尘或颗粒物与气体混合。

需要说明的是，开口112与待检测表面20贴合，即开口112和待检测表面 20之间为密封连接，使得腔体111内的气体、灰尘或颗粒物不能从开口112与待检测表面20之间外溢到防护罩110的外部，同时，防护罩110外的气体、灰尘或颗粒物也不能够从开口112与待检测表面20之间进入到腔体111，从而避免了防护罩110外部的灰尘或颗粒物对检测结果的影响。

可以理解的是，气体喷吹装置120用作喷出气体吹向待检测表面20，以使待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹起，从而使待检测表面20的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体充分混合。气体喷吹装置120连接进气口113，那么气体喷水装置所喷出的气体从进气口113进入腔体111吹向待检测表面20。

上述方案中通过将防护罩110的开口112贴合待检测表面20，使防护罩110 与待检测表面20构成一个腔体111，并用进气口113连接气体喷吹装置120，使得气体喷吹装置120的所喷吹的气体从进气口113进入腔体111，激起待检测表面20位于开口112区域内的灰尘或颗粒物，使待检测表面20的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体充分混合，以便于将腔体111内的灰尘或颗粒物尽量多地从出气口114抽出。

如图1和图2所示，在一具体的设置方式中，防护罩110还开设有用于连通腔体111与防护罩110外部的气压平衡口115，气压平衡口115内置或连接有第一空气过滤器1151。

通过设置气压平衡口115，可平衡腔体111内的气压。可以理解的是，防护罩110本身为固定形状，腔体111的大小并不会发生变化，故当气体喷吹装置 120通过进气口113向腔体111内输入气体，腔体111内的气体增多时，而，则防护罩110内的气压随之增大。当防护罩110内的气压大于外界大气压时，防护罩110内的气体可以通过气压平衡口115外溢至防护罩110的外部；或者，当从出气口114抽取腔体111内的气体，防护罩110内的气体被抽出，腔体111 气压变小至低于外界大气压，外界气体可以通过气压平衡口115进入腔体111，从而实现平衡腔体111与防护罩110外部的气压。

第一空气过滤器1151的作用在于防止内外气体通过气压平衡口115流动交换时，将腔体111内的灰尘或颗粒物带出至防护罩110的外部，和/或，将防护罩110外部的灰尘或颗粒物带入至腔体111内，从而确保灰尘收集装置100内部的灰尘或颗粒物仅为待检测表面20或原腔体111内的灰尘或颗粒物。

可以理解的是，第一空气过滤器1151可以内嵌于气压平衡口115，也可以连接于气压平衡口115。具体地，当第一空气过滤器1151内嵌于气压平衡口115，第一空气过滤器1151和气压平衡口115之间保持密封状态，使得通过气压平衡口115流动的气体需要经过第一空气过滤器1151才能流入或流出腔体111；当第一空气过滤器1151连接于气压平衡口115，第一空气过滤器1151位于腔体 111外部，第一空气过滤器1151通过能够用于气体传输的管道连接，例如橡胶软管。明显地，当第一空气过滤器1151连接于气压平衡口115，腔体111内的灰尘或颗粒物有可能吸附在用于气体传输的管道内壁，对灰尘或颗粒物的抽取造成困难进而形成一定的检测误差，在具体实施中，可以通过实际洁净度的误差范围选择第一空气过滤器1151的安装方式。在本实施例中，第一空气过滤器 1151优选内嵌于气压平衡口115。

如图2所示，在一具体的设置方式中，气压平衡口115位于防护罩110的顶部，开口设置在防护罩的底部。

通过将气压平衡口115设置在防护罩110的顶部，减少气压平衡口115对腔体111内灰尘或颗粒物的吸附。可以理解的是，气压平衡口115设置有第一空气过滤器1151，使得腔体111内的灰尘或颗粒物不会外溢至防护罩110外部，但可能存在部分粉尘或颗粒物吸附在第一空气过滤器1151的表面。在一设置方式中，将气压平衡口115设置于防护罩110的顶部，使得在不通过气压平衡口 115进行气体流通时，灰尘或颗粒物可能在其自身的重力下脱离第一空气过滤器 1151的吸附，从而减少气压平衡口115对腔体111内灰尘或颗粒物的吸附，进而减少对表面洁净度检测的影响，也能够在外界气体从气压平衡口115进入腔体111时，将少量吸附在第一空气过滤器1151的灰尘或颗粒物带动，使其脱离第一空气过滤器1151的吸附，进入腔体111和腔体111内的气体混合再背抽出腔体111进行检测。

在另一设置方式中，气压平衡口115设置于防护罩110的侧壁，也能够起到连通腔体111与防护罩110外部，实现防护罩110内外气体连通，进而平衡内外气压的作用。

请参阅图1和图2，在一具体的设置方式中，进气口113和出气口114均位于防护罩110的侧部上以近开口112的位置。也就是说，相对而言，进气口113 和出气口114更靠近防护罩110的底部而远离防护罩110的顶部。

通过将进气口113贴近开口112设置，使得从进气口113中进入的气体贴近待检测表面20，以使进入的气体能够使待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹起，且若进气口113与待检测表面20的距离较大，进气口113中所进入的气体在抵达待检测表面20之前速度就会降低，从而影响待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹气的效果。

可以理解的是，尽管进气口113中所通入的气体能够将灰尘或颗粒物吹起，并和腔体111内的气体混合，但若是停止从进气口113中通入气体且未及时抽取，已经漂浮混合再腔体111内的灰尘或颗粒物有可能会由于自身重力重新落在待检测表面20或悬浮在靠近待检测表面20附近。此时可以通过将出气口114 贴近开口112，能够使得在抽气时对待检测表面20的灰尘和颗粒物有吸力作用，更确保抽气时能够尽可能多地将待检测表面20的灰尘和颗粒物抽出。

请参阅图1，在一具体的设置方式中，气体喷吹装置120包括；空气发生器 121，用于产生气体，空气发生器121通过气体管道122连接进气口113。

通过设置空气发生器121，并将空气发生器121和进气口113之间通过气体管道122连通，使得空气发生器121所产生的气体能够从进气口113进入腔体 111，以使待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹起，从而使待检测表面20的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体充分混合。其中腔体111内的气体包括原腔体111 内的气体和空气发生器121所产生并从进气口113进入腔体111的气体。

优选地，空气发生器121为压缩气体发生器，能够产生压缩气体。压缩气相较于普通气体压强更高，在从进气口113进入腔体111时，气体流动速度更快，待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹起的高度更高、速度更快，能够更好地使待检测表面20的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体混合充分。

请参阅图1，在一具体的设置方式中，气体喷吹装置120还包括电磁阀123 和脉冲开关124。其中，电磁阀123设置于空气发生器121与进气口113之间，用于连通或阻断气体管道122；脉冲开关124连接电磁阀123并控制电磁阀123 间歇开闭。

通过设置脉冲开关124连接及控制位于空气发生器121与进气口113之间电磁阀123进行间歇开闭，从而连通或阻断气体管道122，实现从空气发生器121向腔体111内输入的气体为脉冲气体。具体地，当脉冲开关124控制电磁阀 123开启时，气体管道122被连通，空气发生器121所产生的气体能够输送至腔体111内；当脉冲开关124控制电磁阀123闭合时，气体管道122被阻断，空气发生器121所产生的气体不能够输送至腔体111内。

可以理解的是，电磁阀123是用电磁控制的工业设备，是用来控制流体的自动化基础元件，属于执行器，并不限于液压、气动。其用在工业控制系统中调整介质的方向、流量、速度和其他的参数。电磁阀123可以配合不同的电路来实现预期的控制，而控制的精度和灵活性都能够保证。电磁阀123的种类有很多，在本实施例中，采用直动式电磁阀，通电时，电磁线圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起，阀门打开；断电时，电磁力消失，弹簧把关闭件压在阀座上，阀门关闭。

可以理解的是，脉冲开关124能够和脉冲信号一样拥有稳定周期和频率，间歇产生电流。将脉冲开关124连接电磁阀123，当脉冲开关124产生电流时，电磁阀123打开，当脉冲开关124不产生电流，电磁阀123闭合。

请参阅图1和图2，在一具体的设置方式中，进气口113和出气口114相对分布。

通过将进气口113和出气口114相对分布，尽可能使得从进气口113中进入的气体从出气口114抽出时所经过待检测表面20的面积最大化，从而使得抽气时能够尽可能多地将待检测表面20的灰尘和颗粒物抽出，进而使表面洁净度的检测结果更准确。

请参阅图1，在一具体的设置方式中，进气口113和出气口114还可以倾斜朝向待检测表面20，其中进气口113和出气口114是指使得进气口113和出气口114的轴线方向与防护罩110和待检测表面20所接触的端面不垂直，确保进入的气体能够使待检测表面20的灰尘或颗粒物被吹起，以及抽气时能够尽可能多地将待检测表面20的灰尘和颗粒物抽出。

请参阅图1，在一具体的设置方式中，气体喷吹装置120和进气口113之间连接有第二空气过滤器125。

通过在气体喷吹装置120和进气口113之间设置第二空气过滤器125，阻碍气体喷吹装置120所产生的气体中的灰尘或颗粒物进入到腔体111内，减小气体喷吹装置120所产生的气体中的灰尘或颗粒物对表面洁净度的检测的影响。

请参阅图4，在一具体的设置方式中，防护罩110还包括密封垫圈116，密封垫圈116环绕开口112且突出开口112，密封垫圈116位于开口112和待检测表面20之间。

通过设置密封垫圈116，将开口112和待检测表面20之间为密封连接，进一步减小腔体111内的气体、灰尘或颗粒物从开口112与待检测表面20之间外溢到防护罩110的外部的可能性，同时，使得防护罩110外的气体、灰尘或颗粒物难以从开口112与待检测表面20之间进入到腔体111，从而减小了防护罩 110外部的灰尘或颗粒物对检测结果的影响。

较佳地，密封垫圈116为柔性件，其采用柔性材质制成。这样，密封垫圈 116介于防护罩110和待检测表面20之间还能够适配于表面不平整的待检测表面20。在本实施例中，密封垫圈116采用橡胶材料。

请参阅图3，在一具体的设置方式中，优选地，密封垫圈116嵌于防护罩 110。

通过将密封垫圈116嵌入防护罩110且突出于防护罩110与待检测表面20 的接触表面，不仅能够起到对开口112和待检测表面20之间的密封效果，还更便于密封垫圈116的安装及固定，也能够利用密封垫圈116适配于表面不平整的待检测表面20。

本申请还提供了一种表面洁净度实时检测设备10，包括如上的灰尘收集装置100和检测仪200，检测仪200连接于灰尘收集装置100的出气口114，检测仪200用于通过出气口114抽取防护罩110内的灰尘或颗粒物并检测。

可以理解的是，检测仪200为测定空气中可吸入颗粒物浓度及呼吸性粉尘、总尘浓度、粉尘质量浓度的仪器，其可以是任意一种能够实现测量灰尘或颗粒物的数量及大小的仪器。

以上方案中通过使用检测仪200连接灰尘收集装置100，使得使用灰尘收集装置100完成灰尘或颗粒物收集完成后就可以利用检测仪200对所收集到的灰尘或颗粒物进行表面洁净度检测，能够实时获得检测结果，相较于现有技术不需要将灰尘收集后转移至实验室检测，检测周期短，能够及时判定测量结果，缩短品质改善周期，进而提高产品质量和良率。

在本申请的一些实施例中，如图1至图4，本申请提供了一种灰尘收集装置 100，其包括中空结构的防护罩110，防护罩110还开设有开口112、进气口113、出气口114和气压平衡口115，其中开口112用于贴合待检测表面20，进气口 113连接用于产生压缩气体的气体喷吹装置120，气压平衡口115平衡腔体111 与防护罩110外部的气压。其中，进气口和气体喷吹装置120之间、气压平衡口115分别设有第二空气过滤器125和第一空气过滤器1151。气体喷吹装置120 包括空气发生器121、电磁阀123和脉冲开关124，以从空气发生器121向腔体 111内输入的气体为脉冲气体。通过将防护罩110的开口112贴合待检测表面 20，使防护罩110与待检测表面20构成一个腔体111，并使得气体喷吹装置120 的所喷吹的脉冲气体从进气口113进入腔体111，激起待检测表面20位于开口 112区域内的灰尘或颗粒物，使待检测表面20的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体充分混合，并设置气压平衡口115，以平衡腔体111内的气压，以便于将腔体111内的灰尘或颗粒物尽量多地从出气口114抽出。

在本申请的一些实施例中，如图1所示，本申请还提供了一种表面洁净度实时检测设备10，包括如上的灰尘收集装置100和检测仪200，其中灰尘收集装置100能够收集空间或表面内的灰尘或颗粒物，并使所收集的灰尘或颗粒物与腔体111内的气体充分混合，检测仪200连接于灰尘收集装置100的出气口 114，检测仪200用于通过出气口114抽取防护罩110内的灰尘或颗粒物并检测。通过使用检测仪200连接灰尘收集装置100，使得使用灰尘收集装置100完成灰尘或颗粒物收集完成后就可以利用检测仪200对所收集到的灰尘或颗粒物进行表面洁净度检测，能够实时获得检测结果。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (13)

1.一种灰尘收集装置，其特征在于，包括：

防护罩(110)，所述防护罩(110)为中空结构，所述防护罩(110)开设有开口(112)、进气口(113)和出气口(114)，所述开口(112)用于贴合待检测表面(20)，以使所述防护罩(110)与所述待检测表面(20)构成一个腔体(111)；

气体喷吹装置(120)，所述气体喷吹装置(120)连接于所述进气口(113)，用于向所述腔体(111)内喷吹气体。

2.根据权利要求1所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述防护罩(110)还开设有用于连通所述腔体(111)与所述防护罩(110)外部的气压平衡口(115)，所述气压平衡口(115)内置或连接有第一空气过滤器(1151)。

3.根据权利要求2所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述气压平衡口(115)位于所述防护罩(110)的顶部，所述开口(112)设置在所述防护罩(110)的底部。

4.根据权利要求3所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述进气口(113)和所述出气口(114)均位于所述防护罩(110)的侧部上近所述开口(112)的位置。

5.根据权利要求1所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述气体喷吹装置(120)包括：空气发生器(121)，用于产生气体，所述空气发生器(121)通过气体管道(122)连接所述进气口(113)。

6.根据权利要求5所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述空气发生器(121)为压缩气体发生器，用于产生压缩气体。

7.根据权利要求5所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述气体喷吹装置(120)还包括：

电磁阀(123)，设置于所述空气发生器(121)与所述进气口(113)之间，用于连通或阻断所述气体管道(122)；

脉冲开关(124)，连接所述电磁阀(123)并控制所述电磁阀(123)间歇开闭。

8.根据权利要求1所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述进气口(113)和所述出气口(114)相对分布。

9.根据权利要求1所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述气体喷吹装置(120)和所述进气口(113)之间连接有第二空气过滤器(125)。

10.根据权利要求1所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述防护罩(110)还包括密封垫圈(116)，所述密封垫圈(116)环绕所述开口(112)且突出所述开口(112)。

11.根据权利要求10所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述密封垫圈(116)为柔性件。

12.根据权利要求10所述的灰尘收集装置，其特征在于，所述密封垫圈(116)嵌于所述防护罩(110)。

13.一种表面洁净度实时检测设备，其特征在于，包括如权利要求1-12中任一所述的灰尘收集装置(100)和检测仪(200)，所述检测仪(200)连接于所述灰尘收集装置(100)的所述出气口(114)，所述检测仪(200)用于通过所述出气口(114)抽取所述腔体(111)内的灰尘并检测。

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