CN216039932U - 一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 - Google Patents
一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216039932U CN216039932U CN202121680903.0U CN202121680903U CN216039932U CN 216039932 U CN216039932 U CN 216039932U CN 202121680903 U CN202121680903 U CN 202121680903U CN 216039932 U CN216039932 U CN 216039932U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crucible
- fixed
- fixedly connected
- graphite crucible
- pot body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,包括锅体,锅体底端设置有凹槽,锅体的凹槽内设置有支撑块,支撑块底端通过铸造一体成型有固定套,固定套内设置有螺纹槽,固定套内螺纹连接有转动杆,转动杆底端固定连接有卡盘,卡盘底端设置有坩埚轴,坩埚轴上端呈六角形结构,坩埚轴上侧开设有环形凹槽,通过调节伸缩杆的长度来固定环形框的高度,从而根据不同的石墨坩埚大小选择合适的高度,进行辅助限位,极大方便了调节;同时通过卡盘对坩埚轴进行固定,转动固定套使得圆球上移挤压半圆形凸起和挡板,使得挡板与石墨坩埚底侧凹槽内壁固定,调节转动套使支撑架上升,固定石墨坩埚的底侧,极大的提升了装置的稳定性,减少了转动过程中产生的晃动。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种石墨坩埚便于调节的支撑装置。
背景技术
石墨坩埚在近年来常用语熔炼多晶硅等多晶材料材料熔化,用于直拉法拉出硅棒的设备,通常坩埚轴需要固定在石墨坩埚的底端带动石墨坩埚进行旋转,从而提升工作效率,但是在实际转动中石墨坩埚的上侧容易晃动,从而使使得单晶生长容易产生缺陷。
现阶段用于石墨坩埚的支撑装置不能够根据不同的石墨坩埚进行调节,同时坩埚轴带动石墨坩埚转动时容易产生晃动,影响单晶成型的质量,且拆卸比较不便。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题:现阶段用于石墨坩埚的支撑装置不能够根据不同的石墨坩埚进行调节,同时坩埚轴带动石墨坩埚转动时容易产生滑动,影响单晶成型的质量的问题。
本实用新型解决技术问题采用的技术方案是:一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,包括锅体和转动套,所述锅体底端设置有凹槽,所述锅体的凹槽内设置有支撑块,所述支撑块底端通过铸造一体成型有固定套,所述固定套内设置有螺纹槽,所述固定套内螺纹连接有转动杆,所述转动杆底端固定连接有卡盘,所述卡盘底端设置有坩埚轴,所述坩埚轴上端呈六角形结构,所述坩埚轴上侧开设有环形凹槽。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述卡盘内相互远离的两侧均开设有第一凹槽,所述第一凹槽内插接有固定杆,所述固定杆位于第一凹槽内固定连接有移动板,所述移动板一侧插接有第一弹簧坩埚轴上侧的六角形结构,配合卡盘内的凹槽结构方便固定,同时通过固定杆插接在坩埚轴的环形凹槽上,形成双重固定,增加稳定性。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述固定套外侧螺纹连接有转动套,所述转动套底侧插接有定位栓,转动固定套,使得转动杆上升,从而方便圆球挤压半圆形凸起,极大的方便固定石墨坩埚。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述转动套外立面相互远离的四侧固定连接有支撑架,所述支撑架上端固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆上端固定连接有环形框,调节伸缩杆,使得环形框与石墨坩埚外立面接触,从而进行辅助固定。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述支撑块上相互远离的六侧均设置有挡板,所述挡板靠近支撑块的一侧固定连接有移动杆,所述移动杆远离挡板的一侧固定连接有半圆形凸起,所述半圆形凸起通过铸造一体成型有环形限位块,两个所述移动杆连接处套接有第二弹簧,所述转动杆上端固定连接有圆球,转动固定套,使转动杆带动圆球上移,挤压半圆形凸起,能够使得移动杆带动六个挡板分别朝向不同的方向移动,转动移动套,配合支撑架形成支撑,定位栓方便固定支撑架的高度,能够对石墨坩埚底侧的凹槽内壁进行挤压,从而方便固定石墨坩埚。
本实用新型具有以下优点:通过调节伸缩杆的长度来固定环形框的高度,从而根据不同的石墨坩埚大小选择合适的高度,进行辅助限位,极大方便了调节;同时通过卡盘对坩埚轴进行固定,转动固定套使得圆球上移挤压半圆形凸起和挡板,使得挡板与石墨坩埚底侧凹槽内壁固定,调节转动套使支撑架上升,固定石墨坩埚的底侧,极大的提升了装置的稳定性,减少了转动过程中产生的晃动。
附图说明
图1是本实用新型一优选实施例的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置的侧视剖视结构示意图;
图2是本实用新型一优选实施例的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置的三维结构示意图;
图3是本实用新型一优选实施例的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置的A处放大结构示意图。
附图标记说明:1、锅体;2、支撑块;3、固定套;4、螺纹槽; 5、转动杆;6、卡盘;7、坩埚轴;8、第一凹槽;9、固定杆;10、移动板;11、第一弹簧;12、转动套;13、定位栓;14、支撑架;15、伸缩杆;16、环形框;17、挡板;18、移动杆;19、半圆形凸起;20、第二弹簧;21、圆球。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1-3所示的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,包括锅体1和转动套12,锅体1底端设置有凹槽,凹槽呈六角形结构,锅体1的凹槽内设置有支撑块2,方便限位挡板17,支撑块2底端通过铸造一体成型有固定套3,方便对支撑架14和转动杆5进行一定的限位,固定套3内设置有螺纹槽4,固定套3内螺纹连接有转动杆5,转动杆5配合固定套3,能够带动圆球21上移,挤压半圆形凸起19,从而带动挡板17卡在锅体1底侧凹槽内,转动杆5底端固定连接有卡盘6,卡盘6底端设置有坩埚轴7,坩埚轴7上端呈六角形结构,方便与卡盘6底侧进行配合固定,坩埚轴7上侧开设有环形凹槽,通过固定杆9与坩埚轴7进行配合固定,减少了晃动。
其中,卡盘6内相互远离的两侧均开设有第一凹槽8,第一凹槽 8内设置有移动板10,移动板10一侧套接有第一弹簧11,第一弹簧 11内插接有固定杆9,固定杆9位于第一凹槽8内固定连接移动板 10,方便拆卸和固定坩埚轴7,增加了装置转动的稳定性。
其中,锅体1底侧设置有转动套12,转动套12螺纹连接固定套 3,转动套12一侧插接有定位栓13,通过转动转动套12,能够带动支撑架14上升或者下降,通过定位栓13能够使得转动套12稳定不动。
其中,锅体1外侧设置有环形框16,环形框16相互远离的四侧均固定连接有伸缩杆15,伸缩杆15上设置有弹簧顶针,伸缩杆15 底端固定连接在支撑架14上,通过调节弹簧顶针,使伸缩杆15的长度固定,从而能够根据锅体1大小来控制伸缩杆15的具体长度,从而对锅体1进行辅助固定。
其中,支撑块2呈环形结构,支撑块2内设置有圆球21,圆球 21通过铸造一体成型有转动杆5,圆球21与半圆形凸起19接触,半圆形凸起19一侧设置有环形限位块,半圆形凸起19远离圆球21的一侧固定连接有移动杆18,移动杆18远离圆球21一侧固定连接有挡板17,两个移动杆18连接处套接有第二弹簧20,转动固定套3能够带动转动杆5和圆球21上升,从而对半圆形凸起19进行挤压,从而移动杆18带动挡板17紧紧挤压在锅体1底侧凹槽内壁上,从而进行固定,极大提升了运行过程中锅体1的稳定性。
具体的,卡盘6内插接坩埚轴7,固定杆9插接坩埚轴7的环形凹槽内,从而进行辅助固定,减少了连接件之间的晃动,在环形框 16内放置锅体1,转动固定套3,使得转动杆5和圆球21上下移动,从而能够对半圆形凸起19进行挤压,带动移动杆18移动,第二弹簧 20收缩,从而挡板17移动贴合锅体1底侧的凹槽,大大提升了装置的适应性与稳定性,转动转动套12,带动支撑架14上下移动对锅体 1进行支撑,同时调节伸缩杆15的高度,使其更加贴合锅体1的外立面,从而进行辅助固定,减少坩埚轴7转动过程中造成的锅体1晃动。
以上仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术,故在此不再赘述。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (5)
1.一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,包括锅体(1)和转动套(12),所述锅体(1)底端设置有凹槽,其特征在于,所述锅体(1)的凹槽内设置有支撑块(2),所述支撑块(2)底端通过铸造一体成型有固定套(3),所述固定套(3)内设置有螺纹槽(4),所述固定套(3)内螺纹连接有转动杆(5),所述转动杆(5)底端固定连接有卡盘(6),所述卡盘(6)底端设置有坩埚轴(7),所述坩埚轴(7)上端呈六角形结构,所述坩埚轴(7)上侧开设有环形凹槽。
2.如权利要求1所述的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,其特征在于,所述卡盘(6)内相互远离的两侧均开设有第一凹槽(8),所述第一凹槽(8)内插接有固定杆(9),所述固定杆(9)位于第一凹槽(8)内固定连接有移动板(10),所述移动板(10)一侧插接有第一弹簧(11)。
3.如权利要求1所述的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,其特征在于,所述固定套(3)外侧螺纹连接有转动套(12),所述转动套(12)底侧插接有定位栓(13)。
4.如权利要求1所述的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,其特征在于,所述转动套(12)外立面相互远离的四侧固定连接有支撑架(14),所述支撑架(14)上端固定连接有伸缩杆(15),所述伸缩杆(15)上端固定连接有环形框(16)。
5.如权利要求1所述的一种石墨坩埚便于调节的支撑装置,其特征在于,所述支撑块(2)上相互远离的六侧均设置有挡板(17),所述挡板(17)靠近支撑块(2)的一侧固定连接有移动杆(18),所述移动杆(18)远离挡板(17)的一侧固定连接有半圆形凸起(19),所述半圆形凸起(19)通过铸造一体成型有环形限位块,两个所述移动杆(18)的连接处套接有第二弹簧(20),所述转动杆(5)上端固定连接有圆球(21)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202121680903.0U CN216039932U (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202121680903.0U CN216039932U (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN216039932U true CN216039932U (zh) | 2022-03-15 |
Family
ID=80617937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202121680903.0U Active CN216039932U (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN216039932U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117233028A (zh) * | 2023-11-13 | 2023-12-15 | 陕西三义高科石墨新材料有限公司 | 一种石墨坩埚检测装置 |
-
2021
- 2021-07-22 CN CN202121680903.0U patent/CN216039932U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117233028A (zh) * | 2023-11-13 | 2023-12-15 | 陕西三义高科石墨新材料有限公司 | 一种石墨坩埚检测装置 |
CN117233028B (zh) * | 2023-11-13 | 2024-01-16 | 陕西三义高科石墨新材料有限公司 | 一种石墨坩埚检测装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN216039932U (zh) | 一种石墨坩埚便于调节的支撑装置 | |
CN101074488A (zh) | 用于制造单晶或多晶材料、尤其是多晶硅的装置和方法 | |
CN111962142B (zh) | 一种便于半导体晶体生长的石墨坩埚及其使用方法 | |
CN217802749U (zh) | 一种生产塑胶件用便于替换的模具 | |
TW202328514A (zh) | 可豎移止晃的提拉機構及其使用方法 | |
CN205590835U (zh) | 一种多晶铸锭炉改善边缘晶粒倾斜生长的装置 | |
CN210461964U (zh) | 一种计算机机房通风管路固定结构 | |
JP5888631B2 (ja) | 単結晶インゴットの製造方法 | |
CN215160800U (zh) | 一种高度可调节的炉前作业用三角滑轮架 | |
CN108728896B (zh) | 一种坩埚轴升降装置 | |
CN217251789U (zh) | 一种可调节折弯装置 | |
CN213657545U (zh) | 一种用于黄磷生产用的黄磷炉电极支架 | |
CN218147042U (zh) | 一种新型坩埚托杆及单晶炉 | |
CN212804926U (zh) | 全自动热管前段整合自动化设备 | |
CN219755217U (zh) | 一种可调节式吊挂装配缓冲拉杆组件 | |
CN220179958U (zh) | 一种生产加工用模具 | |
CN219930337U (zh) | 一种隔热型多晶硅铸锭炉 | |
CN210974921U (zh) | 单晶炉水冷屏 | |
CN115433971B (zh) | 一种稀土合金电解阴极多功能一体自控装置 | |
CN217020443U (zh) | 一种机械手间距可调的机械手 | |
CN220135012U (zh) | 一种可调节的摄像头 | |
CN216030851U (zh) | 一种晶圆加工复合机器人 | |
CN218954423U (zh) | 一种快装式户外全景监控高点支架 | |
CN216274463U (zh) | 一种多晶铸锭炉容积调节装置 | |
CN215111685U (zh) | 一种锂电池生产用红外扩散装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |