CN210974921U - 单晶炉水冷屏 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉水冷屏，包括中部沿轴向贯穿的筒体、连接于筒体顶部一侧的第一连接臂及连接于筒体顶部的另一侧且与第一连接臂相对设置的第二连接臂；第一连接臂及第二连接臂的内部连通；第一连接臂的末端开设有进液口，第一连接臂上设置有第一悬挂板；第二连接臂的末端开设有出液口，第二连接臂设置有第二悬挂板；筒体内设置有螺旋通道，螺旋通道连通第一连接臂与第二连接臂。如此便于调节高度、设置灵活。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶材料生产技术领域，特别是一种单晶炉水冷屏。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒可用于制作无错位单晶材料。晶棒在向上移动的过程中，需要进行冷却，使得晶棒固定成型。现有的冷却方式是在单晶炉中一定高度的位置固定设置有一个冷却环，在冷却环中通入冷却液体，晶棒在向上移动经过冷却环时，通过冷却环进行冷却。这种冷却方式比较固定，不能调节冷却环的高度，冷却灵活性较差。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种便于调节高度、设置灵活的单晶炉水冷屏，以解决上述问题。
一种单晶炉水冷屏，包括中部沿轴向贯穿的筒体、连接于筒体顶部一侧的第一连接臂及连接于筒体顶部的另一侧且与第一连接臂相对设置的第二连接臂；第一连接臂及第二连接臂的内部连通；第一连接臂的末端开设有进液口，第一连接臂上设置有第一悬挂板；第二连接臂的末端开设有出液口，第二连接臂设置有第二悬挂板；筒体内设置有螺旋通道，螺旋通道连通第一连接臂与第二连接臂。
进一步地，所述第一连接臂包括与筒体顶部连接的第一竖直延伸管、与第一竖直延伸管的顶部垂直连接的第一水平延伸管及与第一水平延伸管的中部连接的第一悬挂板，第一悬挂板的两端分别开设有第一弧形凹槽。
进一步地，所述第一悬挂板水平设置。
进一步地，所述第二连接臂包括与筒体顶部连接的第二竖直延伸管、与第二竖直延伸管的顶部垂直连接的第二水平延伸管及与第二水平延伸管的中部连接的第二悬挂板，第二悬挂板的两端分别开设有第二弧形凹槽。
进一步地，所述第二悬挂板水平设置。
进一步地，所述筒体具有内侧壁及位于内侧壁外侧的外侧壁，内侧壁与外侧壁之间螺旋设置有两个螺旋隔离条块，两个螺旋隔离条块在筒体的内部形成连接第一竖直延伸管的底部与筒体的底部的第一螺旋通道，及连接筒体的底部与第二竖直延伸管的底部的第二螺旋通道，第一螺旋通道的底部与第二螺旋通道的底部连通。
与现有技术相比，本实用新型的单晶炉水冷屏包括中部沿轴向贯穿的筒体、连接于筒体顶部一侧的第一连接臂及连接于筒体顶部的另一侧且与第一连接臂相对设置的第二连接臂；第一连接臂及第二连接臂的内部连通；第一连接臂的末端开设有进液口，第一连接臂上设置有第一悬挂板；第二连接臂的末端开设有出液口，第二连接臂设置有第二悬挂板；筒体内设置有螺旋通道，螺旋通道连通第一连接臂与第二连接臂。如此便于调节高度、设置灵活。
附图说明
以下结合附图描述本实用新型的实施例，其中：
图1为本实用新型提供的单晶炉水冷屏的立体示意图。
图2为筒体中的第一螺旋通道及第二螺旋通道的示意图。
具体实施方式
以下基于附图对本实用新型的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本实用新型实施例的说明并不用于限定本实用新型的保护范围。
请参考图1，本实用新型提供的单晶炉水冷屏包括中部沿轴向贯穿的筒体10、连接于筒体10顶部一侧的第一连接臂20及连接于筒体10顶部的另一侧且与第一连接臂20相对设置的第二连接臂30。
第一连接臂20包括与筒体10顶部连接的第一竖直延伸管21、与第一竖直延伸管21的顶部垂直连接的第一水平延伸管22及与第一水平延伸管22的中部连接的第一悬挂板24。
第一竖直延伸管21及第一水平延伸管22的内部中空，且第一竖直延伸管21与第一水平延伸管22的内部连通，第一水平延伸管22远离第一竖直延伸管21的一端开设有进液口23。
第一悬挂板24水平设置且第一悬挂板24的底面与第一水平延伸管22焊接。第一悬挂板24的两端分别开设有第一弧形凹槽25。
第二连接臂30包括与筒体10顶部连接的第二竖直延伸管31、与第二竖直延伸管31的顶部垂直连接的第二水平延伸管32及与第二水平延伸管32的中部连接的第二悬挂板34。
第二竖直延伸管31及第二水平延伸管32的内部中空，且第二竖直延伸管31与第二水平延伸管32的内部连通，第二水平延伸管32远离第二竖直延伸管31的一端开设有出液口33。
第二悬挂板34水平设置且第二悬挂板34的底面与第二水平延伸管32焊接。第二悬挂板34的两端分别开设有第二弧形凹槽35。
筒体10具有内侧壁及位于内侧壁外侧的外侧壁，内侧壁与外侧壁之间螺旋设置有两个螺旋隔离条块，如图2所示，从而在第一竖直延伸管21的底部与筒体10的底部之间形成逐渐向下的第一螺旋通道11，在筒体10的底部与第二竖直延伸管31的底部之间形成逐渐向上的第二螺旋通道12。第一螺旋通道11的底部与第二螺旋通道12的底部连通。如此能够对筒体10进行均匀地冷却散热，从而对穿过筒体10的晶棒进行冷却。
本实用新型提供的单晶炉水冷屏设置于一单晶炉中，一种实施方式中，单晶炉的内侧壁上在不同的高度设置有多对挂钩，其中一对挂钩伸入到本实用新型提供的单晶炉水冷屏的第一悬挂板24的第一弧形凹槽25，及第二悬挂板34的第二弧形凹槽35中。具体方式为，转动本实用新型提供的单晶炉水冷屏，使得一对挂钩伸入到呈对角设置的第一弧形凹槽25及第二弧形凹槽35中。通过将单晶炉水冷屏悬挂于不同高度的挂钩上可实现单晶炉水冷屏的高度调节。
另一实施方式中，单晶炉的内部悬挂有第一吊臂及第二吊臂，第一吊臂的底部与第一悬挂板24的第一弧形凹槽25连接，第二吊臂的底部与第二悬挂板34的第二弧形凹槽35连接，第一吊臂及第二吊臂的顶部与一升降驱动单元连接，升降驱动单元用于驱动第一吊臂及第二吊臂上下移动，从而实现单晶炉水冷屏的高度调节。
与现有技术相比，本实用新型的单晶炉水冷屏包括中部沿轴向贯穿的筒体10、连接于筒体10顶部一侧的第一连接臂20及连接于筒体10顶部的另一侧且与第一连接臂20相对设置的第二连接臂30；第一连接臂20及第二连接臂30的内部连通；第一连接臂20的末端开设有进液口23，第一连接臂20上设置有第一悬挂板24；第二连接臂30的末端开设有出液口33，第二连接臂30设置有第二悬挂板34；筒体10内设置有螺旋通道，螺旋通道连通第一连接臂20与第二连接臂30。如此便于调节高度、设置灵活。
以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用于局限本实用新型的保护范围，任何在本实用新型精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本实用新型的权利要求范围内。
Claims (6)
1.一种单晶炉水冷屏，其特征在于：包括中部沿轴向贯穿的筒体、连接于筒体顶部一侧的第一连接臂及连接于筒体顶部的另一侧且与第一连接臂相对设置的第二连接臂；第一连接臂及第二连接臂的内部连通；第一连接臂的末端开设有进液口，第一连接臂上设置有第一悬挂板；第二连接臂的末端开设有出液口，第二连接臂设置有第二悬挂板；筒体内设置有螺旋通道，螺旋通道连通第一连接臂与第二连接臂。
2.如权利要求1所述的单晶炉水冷屏，其特征在于：所述第一连接臂包括与筒体顶部连接的第一竖直延伸管、与第一竖直延伸管的顶部垂直连接的第一水平延伸管及与第一水平延伸管的中部连接的第一悬挂板，第一悬挂板的两端分别开设有第一弧形凹槽。
3.如权利要求2所述的单晶炉水冷屏，其特征在于：所述第一悬挂板水平设置。
4.如权利要求1所述的单晶炉水冷屏，其特征在于：所述第二连接臂包括与筒体顶部连接的第二竖直延伸管、与第二竖直延伸管的顶部垂直连接的第二水平延伸管及与第二水平延伸管的中部连接的第二悬挂板，第二悬挂板的两端分别开设有第二弧形凹槽。
5.如权利要求4所述的单晶炉水冷屏，其特征在于：所述第二悬挂板水平设置。
6.如权利要求1所述的单晶炉水冷屏，其特征在于：所述筒体具有内侧壁及位于内侧壁外侧的外侧壁，内侧壁与外侧壁之间螺旋设置有两个螺旋隔离条块，两个螺旋隔离条块在筒体的内部形成连接第一竖直延伸管的底部与筒体的底部的第一螺旋通道，及连接筒体的底部与第二竖直延伸管的底部的第二螺旋通道，第一螺旋通道的底部与第二螺旋通道的底部连通。
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