CN215996507U

CN215996507U - 一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统

Info

Publication number: CN215996507U
Application number: CN202122493850.8U
Authority: CN
Inventors: 张久华; 徐育明; 许弯; 闫奎; 王伟川
Original assignee: Suzhou Guanbo Control Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Guanli Technology Co ltd
Priority date: 2021-10-15
Filing date: 2021-10-15
Publication date: 2022-03-11
Anticipated expiration: 2031-10-15

Abstract

本实用新型涉及一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，包括4％KOH原液桶槽，原液桶槽底部出液口通过管道分别连接供应泵A、供应泵B入口，供应泵A、供应泵B出口通过管道分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B顶部进液口，两个稀释液存储桶槽顶部的进液口二分别通过管道连接S1混合器、S2混合器，两个稀释液存储桶槽底部出液口分别通过管道连接稀释泵A、稀释泵B、稀释泵C入口，三个稀释泵出口分别通过管道连接0.04％KOH稀释液供应桶槽顶部进液口，稀释液供应桶槽底部出液口通过管道连接过滤器组件；本实用新型解决了设备制造周期长、成本较高等问题，提高了生产良率、原材料使用效率。

Description

一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统

[技术领域]

本实用新型涉及显影制程技术领域，具体地说是一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统。

[背景技术]

随着TFT LCD/AMOLED行业的发展对人类进步的发展产生了深刻的影响，为适应国际环境的发展，国内TFT LCD/AMOLED行业的公司日益增加。为了提升产品品质、生产良率、原材料使用效率，面板厂制程使用的显影液的目标浓度随Resist的吸光度或碳酸盐浓度的变化而变化，对显影液浓度控制要求越来高，必须要有优良的显影液浓度稀释及控制系统为基础，以满足面板厂制程产品对显影液浓度的要求。

目前，国外除了NAGASE/大元等厂商有做过相关的显影液浓度稀释及控制系统案例，但设备制造时间较长、设备成本高。现如今国内能够设计制造并满足显影液目标浓度的显影液浓度稀释及控制系统设备制造厂商暂时没有。若能提供一种显影液浓度稀释及控制系统，解决设备制造周期长、成本较高等问题，同时提高生产良率、原材料使用效率，将具有非常重要的意义。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，能够解决传统显影液浓度稀释及控制设备制造周期长、成本较高等问题，同时提高了生产良率、原材料使用效率。

为实现上述目的设计一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，包括4％KOH原液桶槽1、0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3和0.04％KOH稀释液供应桶槽4，所述4％KOH原液桶槽1顶部进液口通过管道连接厂务化学品VMB阀箱，所述4％KOH原液桶槽1底部出液口通过管道分别连接供应泵A 5、供应泵B 6入口，所述供应泵A 5、供应泵B 6出口通过管道分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3顶部进液口，所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3顶部的进液口二分别通过管道连接C1浓度计18、C2浓度计19，所述C1浓度计18、C2浓度计19分别通过管道连接S1混合器16、S2混合器17，所述S1混合器16通过管道分别连接R4控制组件15、R1控制组件12，所述S2混合器17通过管道分别连接R3控制组件14、R2控制组件13，所述R4控制组件15、R3控制组件14分别通过管道连接纯水输入管，所述R1控制组件12、R2控制组件13分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6，所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3底部出液口分别通过管道连接至稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9的入口，所述稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9的出口分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽4顶部进液口，所述0.04％KOH稀释液供应桶槽4底部出液口通过管道分别连接输送泵A 10、输送泵B 11的入口，所述输送泵A 10、输送泵B 11的出口分别通过管道连接过滤器组件34。

进一步地，所述过滤器组件34通过管道分别连接至浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2，并通过浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度检测进入制程设备。

进一步地，所述浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2的入口分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6，所述4％KOH原液通过4％KOH原液桶槽1经过供应泵A 5、供应泵B6分别进入浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。

进一步地，所述供应泵A 5、供应泵B 6通过管道分别连接V3气动阀24、V4气动阀25，所述V3气动阀24、V4气动阀25分别通过管道连接浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。

进一步地，所述4％KOH原液桶槽1、0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3、0.04％KOH稀释液供应桶槽4底部均安装有漏泄侦测器。

进一步地，所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3顶部的进液口三分别通过管道连接C3浓度计20、C4浓度计21，所述C3浓度计20、C4浓度计21分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽4的顶部进液口二。

进一步地，所述供应泵A 5、供应泵B 6出口与0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3进液口之间的管道上分别装设有V1气动阀22、V2气动阀23。

进一步地，所述供应泵A 5、供应泵B 6、稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9、输送泵A10、输送泵B 11分别通过线路连接PLC控制单元。

进一步地，所述PLC控制单元通过线路分别连接V5气动阀26、V6气动阀27、V7气动阀28、V8气动阀29、V9气动阀30、V10气动阀31、V11气动阀32、V12气动阀33，所述V5气动阀26、V6气动阀27、V7气动阀28、V8气动阀29、V9气动阀30、V10气动阀31、V11气动阀32、V12气动阀33分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6。

本实用新型同现有技术相比，能够实现在线监测及浓度管理，根据Resist的吸光度或碳酸盐浓度的变化来调节浓度，解决了设备制造周期长、成本较高等问题，同时提高了生产良率、原材料使用效率，值得推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的原理框图；

图中：1、4％KOH原液桶槽 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽A 3、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 4、0.04％KOH稀释液供应桶槽 5、供应泵A 6、供应泵B 7、稀释泵A 8、稀释泵B 9、稀释泵C 10、输送泵A 11、输送泵B 12、R1控制组件 13、R2控制组件 14、R3控制组件 15、R4控制组件 16、S1混合器 17、S2混合器 18、C1浓度计 19、C2浓度计 20、C3浓度计 21、C4浓度计 22、V1气动阀 23、V2气动阀 24、V3气动阀 25、V4气动阀 26、V5气动阀 27、V6气动阀28、V7气动阀 29、V8气动阀 30、V9气动阀 31、V10气动阀 32、V11气动阀 33、V12气动阀34、过滤器组件 101、管道一102、管道二 103、管道三 104、管道四 105、管道五 106、管道六 201、管道七 202、管道八 203、管道九 204、管道十 205、管道十一 206、管道十二 301、管道十三 302、管道十四 107、管道十五 108、管道十六 401、管道十七 402、管道十八403、管道十九 404、管道二十 405、管道二十一 406、管道二十二 407、管道二十三 408、管道二十四 409、管道二十五 410、管道二十六。

[具体实施方式]

如附图1所示，本实用新型提供了一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，包括4％KOH原液桶槽1、0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3和0.04％KOH稀释液供应桶槽4，4％KOH原液桶槽1顶部进液口通过管道连接厂务化学品VMB阀箱，4％KOH原液桶槽1底部出液口通过管道分别连接供应泵A 5、供应泵B 6入口，供应泵A 5、供应泵B 6出口通过管道分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B3顶部进液口，0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3顶部的进液口二分别通过管道连接C1浓度计18、C2浓度计19，C1浓度计18、C2浓度计19分别通过管道连接S1混合器16、S2混合器17，S1混合器16通过管道分别连接R4控制组件15、R1控制组件12，S2混合器17通过管道分别连接R3控制组件14、R2控制组件13，R4控制组件15、R3控制组件14分别通过管道连接纯水输入管，R1控制组件12、R2控制组件13分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6，0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3底部出液口分别通过管道连接至稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9的入口，稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9的出口分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽4顶部进液口，0.04％KOH稀释液供应桶槽4底部出液口通过管道分别连接输送泵A 10、输送泵B 11的入口，输送泵A 10、输送泵B 11的出口分别通过管道连接过滤器组件34。

其中，过滤器组件34通过管道分别连接至浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2，并通过浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度检测进入制程设备；浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2的入口分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6，4％KOH原液通过4％KOH原液桶槽1经过供应泵A 5、供应泵B 6分别进入浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2；供应泵A 5、供应泵B 6通过管道分别连接V3气动阀24、V4气动阀25，V3气动阀24、V4气动阀25分别通过管道连接浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。

4％KOH原液桶槽1、0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B3、0.04％KOH稀释液供应桶槽4底部均安装有漏泄侦测器；0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3顶部的进液口三分别通过管道连接C3浓度计20、C4浓度计21，C3浓度计20、C4浓度计21分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽4的顶部进液口二；供应泵A 5、供应泵B 6出口与0.04％KOH稀释液存储桶槽A 2、0.04％KOH稀释液存储桶槽B 3进液口之间的管道上分别装设有V1气动阀22、V2气动阀23。供应泵A 5、供应泵B 6、稀释泵A 7、稀释泵B 8、稀释泵C9、输送泵A 10、输送泵B 11分别通过线路连接PLC控制单元，PLC控制单元通过线路分别连接V5气动阀26、V6气动阀27、V7气动阀28、V8气动阀29、V9气动阀30、V10气动阀31、V11气动阀32、V12气动阀33，V5气动阀26、V6气动阀27、V7气动阀28、V8气动阀29、V9气动阀30、V10气动阀31、V11气动阀32、V12气动阀33分别通过管道连接供应泵A 5、供应泵B 6。

本实用新型主要包括4％KOH原液桶槽、供应泵A、供应泵B、0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B、稀释泵A、稀释泵B、稀释泵C、0.04％KOH稀释液供应桶槽、输送泵A、输送泵B、浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。4％KOH原液桶槽顶部进液口通过管道一101从厂务化学品VMB阀箱连接至桶槽，4％KOH原液桶槽底部出液口通过管道二102分别连接供应泵A、供应泵B入口，供应泵A、供应泵B出口通过管道三103、管道四104、管道十五107、管道十六108分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B顶部进液口，0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B顶部其他的进液口分别连接DIW管道五105、DIW管道六106，0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B底部出液口通过管道七201、管道八202连接至稀释泵A、稀释泵B、稀释泵C的入口。稀释泵A、稀释泵B、稀释泵C的出口通过管道十一205、管道十二206连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽顶部进液口，0.04％KOH稀释液供应桶槽底部出液口通过管道十三301、输送泵A、输送泵B、管道十四302、过滤器组件连接至浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2，通过浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度检测进入制程设备。

浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2另外的入口连接管道十七401、管道十八402；4％KOH原液通过4％KOH原液桶槽连接管道二102、供应泵A、供应泵B、管道十七401、管道十八402分别进入浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。显影液工艺设备另外的入口分别连接管道十九403、管道二十404、管道二十一405、管道二十二406、管道二十三407、管道二十四408、管道二十五409、管道二十六410，4％KOH原液通过4％KOH原液桶槽连接管道二102、供应泵A、供应泵B、气动阀V3、气动阀V4、管道十九403、管道二十404、管道二十一405、管道二十二406、管道二十三407、管道二十四408、管道二十五409、管道二十六410进入制程显影设备。4％KOH原液桶槽、0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B、0.04％KOH稀释液供应桶槽底部都安装了漏泄侦测器，并且安装SCADA监控系统，能够持续监控系统的运行状况、数据监控、历史记录等功能。

下面结合具体实施例对本实用新型作以下进一步说明：

第一方面：接收CCSS厂务端供应的4％KOH原液，并供应到KOH0.04％稀释存储桶槽，且能补充到DCS进行浓度补充。

原液从厂务化学品VMB阀箱经过管道一101输送至4％KOH原液桶槽。当0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B液位低于L时，原液由4％KOH原液桶槽通过管道二102、供应泵A或供应泵B、管道三103、管道四104分别进入混合器S1、混合器S2，同时DIW纯水通过管道五105、管道六106分别进入混合器S1、混合器S2进行稀释(原液供给管道的压力需小于DIW管道压力，通过控制组件R1、通过控制组件R2调整原液供给管道三103、原液供给管道四104压力；通过控制组件R3、通过控制组件R4调整DIW管道五105、DIW管道六106管道压力)并通过浓度计C1、浓度计C2进行测量。

第一种情况：若浓度计C1，浓度计C2测量合格。浓度计C1、浓度计C2测量的合格浓度范围0.04％±0.003％。

第一种情况的第一种可能：通过管道七201、管道八202、稀释泵A或稀释泵B或稀释泵C、管道九203、管道十204，经过浓度计C3、浓度计C4进行循环测量浓度合格，则0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B的合格稀释液利用管道七201、管道八202、稀释泵A或稀释泵B或稀释泵C、管道十一205、管道十二206输送至稀释液供应桶槽；当DCS-1或DCS-2通过PLC控制单元发出药液信号时，稀释液由稀释液供应桶槽通过管道十三301、输送泵A、输送泵B、管道十四302、过滤器组件F连接至浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2，通过浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度检测进入制程显影设备。

第一种情况的第二种可能：若通过管道七201、管道八202、稀释泵A或稀释泵B或稀释泵C、管道九205、管道十206，经过浓度计C3、浓度计C4进行循环测量浓度不合格，则通过PLC控制单元计算并发出请求补液信号打开气动阀V1、气动阀V2，原液经管道二102、供应泵A、供应泵B、气动阀V1、气动阀V2、管道十五107、管道十六108分别进入0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B，并进行循环测量，直至浓度合格。浓度合格后，系统会依照第一种情况的第一种可能的程序来执行后续动作。

第二种情况：若浓度计C1，浓度计C2测量不合格。

第二种情况浓度计C1，浓度计C2测量不合格。则通过PLC控制单元计算并发出请求补液信号打开气动阀V1、气动阀V2，4％KHO原液经管道二102、供应泵A、供应泵B、管道七201、管道八202分别进入0.04％KOH稀释液存储桶槽A、0.04％KOH稀释液存储桶槽B并进行循环测量，直至浓度合格。浓度合格后，系统会依照第一种情况的第一种可能及第一种情况的第二种可能的程序来执行后续动作。

浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2检测到制程设备需要进行浓度补充时4％KOH原液经管道二102、供应泵A、供应泵B、气动阀V3、气动阀V4、管道十七401、管道十八402分别进入浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度补充到制程显影设备。

第二方面：4％KOH原液加水稀释后经DCS供应到显影液工艺设备的清洗槽。

当显影液工艺设备有需求时，制程设备通过PLC控制单元发出补液信号打开气动阀V5、气动阀V6、气动阀V7、气动阀V8、气动阀V9、气动阀V10、气动阀V11、气动阀V12，4％KOH原液经过管道二102、供应泵A、供应泵B、管道十九403、管道二十404、管道二十一405、管道二十二406、管道二十三407、管道二十四408、管道二十五409、管道二十六410进入制程显影设备。

第三方面：DCS浓度检测系统实时检测显影液工艺设备浓度和管理。管理内容：KOH浓度、抗蚀剂吸收率、碳酸盐；KOH0.04％精度：KOH0.04％±0.003％；碳酸盐的浓度检测精度：±50ppm；再现显影剂的DCS抵抗浓度：设定值(0-1)±0.01Abs。

DCS浓度检测系统根据KOH的目标浓度随Resist的吸光度或碳酸盐浓度的变化而变化，并且根据其变化来补充4％KOH原液或0.04％KOH稀释液及DIW。(DCS-1浓度检测系统中1#-11#管路所流向制程显影设备。12#、13#管路分别流向CM浓度检测装置A、CM浓度检测装置B。DCS-2浓度检测系统中与DCS-1浓度检测系统的功能相同)

本实用新型所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，主要是接收CCSS厂务端供应的4％KOH原液并供应到KOH0.04％稀释存储桶槽，且能补充到DCS进行浓度补充；4％KOH原液加水稀释后经DCS供应到显影液工艺设备的清洗槽；DCS浓度检测系统用于显影液工艺设备浓度检测和管理；以优良的显影液浓度稀释及控制系统为基础，根据Resist的吸光度或碳酸盐浓度的变化来调节浓度，从而满足面板厂制程产品对显影液浓度的要求。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：包括4％KOH原液桶槽(1)、0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)和0.04％KOH稀释液供应桶槽(4)，所述4％KOH原液桶槽(1)顶部进液口通过管道连接厂务化学品VMB阀箱，所述4％KOH原液桶槽(1)底部出液口通过管道分别连接供应泵A(5)、供应泵B(6)入口，所述供应泵A(5)、供应泵B(6)出口通过管道分别连接0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)顶部进液口，所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)顶部的进液口二分别通过管道连接C1浓度计(18)、C2浓度计(19)，所述C1浓度计(18)、C2浓度计(19)分别通过管道连接S1混合器(16)、S2混合器(17)，所述S1混合器(16)通过管道分别连接R4控制组件(15)、R1控制组件(12)，所述S2混合器(17)通过管道分别连接R3控制组件(14)、R2控制组件(13)，所述R4控制组件(15)、R3控制组件(14)分别通过管道连接纯水输入管，所述R1控制组件(12)、R2控制组件(13)分别通过管道连接供应泵A(5)、供应泵B(6)，所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)底部出液口分别通过管道连接至稀释泵A(7)、稀释泵B(8)、稀释泵C(9)的入口，所述稀释泵A(7)、稀释泵B(8)、稀释泵C(9)的出口分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽(4)顶部进液口，所述0.04％KOH稀释液供应桶槽(4)底部出液口通过管道分别连接输送泵A(10)、输送泵B(11)的入口，所述输送泵A(10)、输送泵B(11)的出口分别通过管道连接过滤器组件(34)。

2.如权利要求1所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述过滤器组件(34)通过管道分别连接至浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2，并通过浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2进行浓度检测进入制程设备。

3.如权利要求2所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2的入口分别通过管道连接供应泵A(5)、供应泵B(6)，所述4％KOH原液通过4％KOH原液桶槽(1)经过供应泵A(5)、供应泵B(6)分别进入浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。

4.如权利要求2所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述供应泵A(5)、供应泵B(6)通过管道分别连接V3气动阀(24)、V4气动阀(25)，所述V3气动阀(24)、V4气动阀(25)分别通过管道连接浓度检测系统DCS-1、浓度检测系统DCS-2。

5.如权利要求1所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述4％KOH原液桶槽(1)、0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)、0.04％KOH稀释液供应桶槽(4)底部均安装有漏泄侦测器。

6.如权利要求1所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)顶部的进液口三分别通过管道连接C3浓度计(20)、C4浓度计(21)，所述C3浓度计(20)、C4浓度计(21)分别通过管道连接至0.04％KOH稀释液供应桶槽(4)的顶部进液口二。

7.如权利要求1所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述供应泵A(5)、供应泵B(6)出口与0.04％KOH稀释液存储桶槽A(2)、0.04％KOH稀释液存储桶槽B(3)进液口之间的管道上分别装设有V1气动阀(22)、V2气动阀(23)。

8.如权利要求1至7中任一项所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述供应泵A(5)、供应泵B(6)、稀释泵A(7)、稀释泵B(8)、稀释泵C(9)、输送泵A(10)、输送泵B(11)分别通过线路连接PLC控制单元。

9.如权利要求8所述的新型阵列显影液浓度稀释及控制系统，其特征在于：所述PLC控制单元通过线路分别连接V5气动阀(26)、V6气动阀(27)、V7气动阀(28)、V8气动阀(29)、V9气动阀(30)、V10气动阀(31)、V11气动阀(32)、V12气动阀(33)，所述V5气动阀(26)、V6气动阀(27)、V7气动阀(28)、V8气动阀(29)、V9气动阀(30)、V10气动阀(31)、V11气动阀(32)、V12气动阀(33)分别通过管道连接供应泵A(5)、供应泵B(6)。