CN206561022U - 一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 - Google Patents
一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206561022U CN206561022U CN201720038823.2U CN201720038823U CN206561022U CN 206561022 U CN206561022 U CN 206561022U CN 201720038823 U CN201720038823 U CN 201720038823U CN 206561022 U CN206561022 U CN 206561022U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- acid
- pickling
- silica crucible
- storage tank
- automation equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，包括酸洗室、智能控制器和自动配酸装置，所述酸洗室内设置有支架，支架上设置有用于放置待酸洗石英坩埚的喷淋平台，所述喷淋平台的上方安装有上喷头，下方安装有下喷头，所述下喷头的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽，所述上喷头和下喷头通过第一耐酸管经第一耐酸高压泵与安装在支架下侧的储酸罐相连通，所述储酸罐内安装有与智能控制器相连的水位传感器，储酸罐还通过第二耐酸管连接酸洗室外的自动配酸装置。该设备自动化程度较高，集酸清洗及酸配制为一体，显著的提高了生产效率，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚生产设备技术领域，特别涉及一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备。
背景技术
目前石英坩埚生产工艺流程中，坩埚酸洗浸泡过程多为人工搬运，人工搬运石英坩埚容易造成破损或污染，而且，随着石英坩埚向大型化发展，石英坩埚的体积越来越大，石英坩埚重量也越来越重，同时在对石英坩埚的品质要求越来越高的情况下，原有的浸泡工序已无法更好的执行；并且，在石英坩埚采用普通的无机酸进行清洗的过程中，所使用的清洗酸通常为人为配制，人为加注，自动化程度不高，生产效率低，且在酸溶液配制过程中，需要使用到纯酸，由于纯酸酸性比较强，人为手动操作，会给人身安全带来隐患。
实用新型内容
为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，该设备能对大尺寸石英坩埚进行酸喷淋清洗，且自动化程度较高，集酸清洗及酸配制为一体，显著的提高生产效率，降低生产成本，提高安全系数。
为解决上述技术问题，所采用的技术方案是：一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，包括酸洗室、智能控制器和自动配酸装置，所述酸洗室内设置有支架，支架上设置有用于放置待酸洗石英坩埚的喷淋平台，所述喷淋平台的上方安装有上喷头，下方安装有下喷头，所述下喷头的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽，所述上喷头和下喷头通过第一耐酸管经第一耐酸高压泵与安装在支架下侧的储酸罐相连通，所述储酸罐内安装有与智能控制器相连的水位传感器，储酸罐还通过第二耐酸管连接酸洗室外的自动配酸装置，所述自动配酸装置包括水容器、浓酸容器和混合液容器，所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器连接，混合液容器通过第二耐酸管连接酸洗室内的储酸罐。
作为本实用新型一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备的进一步优化：所述第二耐酸管上设置有第二耐酸高压泵和开关阀门，开关阀门处设置有流量计，所述第二耐酸高压泵和开关阀门均电连接智能控制器。
作为本实用新型一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备的进一步优化：所述酸洗室的内部顶端设置有除雾器。
有益效果
采用以上结构与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备的优点在于：
1、液酸喷淋方式使大尺寸的石英坩埚洗涤面均匀，减少了人工搬运次数，避免石英坩埚因搬运过程造成的破损或污染，且提高了石英坩埚的清洗质量，从而也提高了下游产品单晶硅的质量；
2、同时本实用新型设有除雾装置，避免在工人提取酸洗过的石英坩埚时，受到雾化酸的危害，提高工作的安全系数；
3、自动化程度较高，集酸清洗及酸配制为一体，显著的提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型用于石英坩埚酸洗的自动化设备的结构示意图；
图中标记：1、酸洗室，2、支架，3、石英坩埚，4、喷淋平台，5、上喷头，6、下喷头，7、回收槽，8、第一耐酸管，9、第一耐酸高压泵，10、储酸罐，11、第二耐酸管，12、智能控制器,13、水容器，14、浓酸容器，15、混合液容器，16、第二耐酸高压泵，17、开关阀门，18、除雾器，19、水位传感器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。
如图所示，一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，包括酸洗室1、智能控制器12和自动配酸装置，所述酸洗室1内设置有支架2，支架2上设置有用于放置待酸洗石英坩埚3的喷淋平台4，所述喷淋平台4的上方安装有上喷头5，喷淋平台4下方安装有下喷头6，所述下喷头6的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽7，所述上喷头5和下喷头6通过第一耐酸管8经第一耐酸高压泵9与安装在支架2下侧的储酸罐10相连通，所述储酸罐10内设置有与智能控制器12相连的水位传感器19，储酸罐10还通过第二耐酸管11连接酸洗室1外的自动配酸装置，所述自动配酸装置包括水容器13、浓酸容器14和混合液容器15，所述水容器13和浓酸容器14分别与混合液容器15连通，混合液容器15通过第二耐酸管8连接酸洗室1内的储酸罐10；所述酸洗室1的内部顶端设置有除雾器18，避免在工人提取酸洗过的石英坩埚3时，受到雾化酸的危害，提高工作的安全系数；
所述第二耐酸管11上设置有第二耐酸高压泵16和开关阀门17，所述开关阀门17设置有流量计，所述第二耐酸高压泵16和开关阀门17均连接智能控制器12。
将待酸洗的石英坩埚2放置在封闭酸洗室1的喷淋平台4上进行酸洗，当储酸罐10缺酸时，水位传感器19将检测信号传送给智能控制器12，通过智能控制器12控制第二耐酸高压泵16和开关阀门17自动为酸洗室1的储酸罐10提供配置好的清洗酸，这样，集酸清洗及酸配制为一体，显著的提高生产效率，降低生产成本。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，其特征在于：包括酸洗室（1）、智能控制器（12）和自动配酸装置，所述酸洗室（1）内设置有支架（2），支架（2）上设置有用于放置待酸洗石英坩埚（3）的喷淋平台（4），所述喷淋平台（4）的上方架设有上喷头（5），下方安装有下喷头（6），所述下喷头（6）的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽（7），所述上喷头（5）和下喷头（6）通过第一耐酸管（8）经第一耐酸高压泵（9）与安装在支架（2）下侧的储酸罐（10）连通，所述储酸罐（10）内安装有与智能控制器（12）相连的水位传感器（19），储酸罐（10）还通过第二耐酸管（11）连接至酸洗室（1）外的自动配酸装置，所述自动配酸装置包括水容器（13）、浓酸容器（14）和混合液容器（15），所述水容器（13）和浓酸容器（14）分别与混合液容器（15）连接，混合液容器（15）通过第二耐酸管（11）连接酸洗室（1）内的储酸罐（10）。
2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，其特征在于：所述第二耐酸管（11）上设置有第二耐酸高压泵（16）和开关阀门（17），开关阀门（17）处设置有流量计。
3.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，其特征在于：所述第二耐酸高压泵（16）和开关阀门（17）均电连接智能控制器（12）。
4.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，其特征在于：所述酸洗室（1）的内部顶端设置有除雾器（18）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720038823.2U CN206561022U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720038823.2U CN206561022U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206561022U true CN206561022U (zh) | 2017-10-17 |
Family
ID=60029258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720038823.2U Expired - Fee Related CN206561022U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206561022U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109092783A (zh) * | 2018-08-14 | 2018-12-28 | 信阳师范学院 | 一种清洗瓷坩埚的方法 |
-
2017
- 2017-01-13 CN CN201720038823.2U patent/CN206561022U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109092783A (zh) * | 2018-08-14 | 2018-12-28 | 信阳师范学院 | 一种清洗瓷坩埚的方法 |
| CN109092783B (zh) * | 2018-08-14 | 2021-08-27 | 信阳师范学院 | 一种清洗瓷坩埚的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201903792U (zh) | 液位控制系统 | |
| CN206561022U (zh) | 一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备 | |
| CN104971522B (zh) | 一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法 | |
| CN109825412A (zh) | 量水自动加注装置 | |
| CN203853347U (zh) | 高压喷洗饮用水桶内壁的清洗、消毒装置 | |
| CN205695452U (zh) | 一种蜜饯成品杀菌装置 | |
| CN208161519U (zh) | 一种清洗泡沫的制备装置 | |
| CN206143859U (zh) | 一种高效节能净水供水装置 | |
| CN207071582U (zh) | 一种桶装水水桶自动清洗装置 | |
| CN202237662U (zh) | 高压智能微米级水雾抑尘设备 | |
| CN204171057U (zh) | 玻璃瓶酸洗装置 | |
| CN210935572U (zh) | 一种粉浆循环装置 | |
| CN110067012B (zh) | 单层电容器用无氰镀金设备 | |
| CN208757848U (zh) | 开毛机的喷射装置 | |
| CN207091374U (zh) | 一种洗涤塔自动加药控制系统 | |
| CN202155345U (zh) | 空罐洗罐机 | |
| CN209631008U (zh) | 一种具有配制酸碱液功能的储罐 | |
| CN206370405U (zh) | 一种用于制绒的自动补液器 | |
| CN206862584U (zh) | 一种流量压力测试系统 | |
| CN206024507U (zh) | 一种花盆用喷淋装置 | |
| CN102485977A (zh) | 一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机 | |
| CN207091163U (zh) | 一种酸性废水处理装置 | |
| CN208824290U (zh) | 一种移动泡沫机 | |
| CN202916119U (zh) | 一种污水取样缸 | |
| CN203976775U (zh) | 葡萄酒除菌过滤装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171017 Termination date: 20180113 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |