CN215976014U - 一种耐磨旋转靶材 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种耐磨旋转靶材,包括芯体，所述芯体上粘结有绝缘层，所述绝缘层另一侧连接支撑管，所述支撑管上设有多道加强筋，多道所述加强筋与靶管内部的凹槽相匹配，多道所述加强筋上内嵌有磁块，所述加强筋和凹槽之间填充有绝缘粉，多道所述加强筋之间垂直连接有电阻丝，所述电阻丝固定在支撑轴上的固定槽中，所述电阻丝上包裹有绝缘套，所述支撑管外侧灌浇连接靶管，所述支撑管两端延伸至靶管外侧。本实用新型结构简单，内部结构紧密，提高密度，加强抗压性和耐磨性，通过加强筋的使用有效提高抗击性能，延长使用寿命。

Description

一种耐磨旋转靶材

技术领域

本实用新型具体涉及一种耐磨旋转靶材。

背景技术

磁控溅射镀膜是目前镀膜行业应用广泛的镀膜沉积工艺。溅射镀膜的原理是在真空条件下，通过电子枪氩离子对靶材表面进行轰击，靶材表面材料以分子、原子、离子或电子等形式被溅射出来，飞溅到基板上沉积成膜。目前镀膜行业使用的磁控溅射旋转靶材，包括衬管，其两端端部上均设有内凹的密封槽，用于放置密封圈以达到安装后的密封性。由于旋转靶材衬管一般由铝、铝合金、铜或铜合金制成，内部结构存在一定的不稳定性，密度低，使得其自身耐磨性能差，使得旋转靶材在运输和安装过程中容易出现变形而安装不上等情况，从而需要更换新的旋转靶材，造成极大的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于一种耐磨旋转靶材，以解决现有的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种耐磨旋转靶材,包括芯体，所述芯体上粘结有绝缘层，所述绝缘层另一侧连接支撑管，所述支撑管上设有多道加强筋，多道所述加强筋与靶管内部的凹槽相匹配，多道所述加强筋上内嵌有磁块，所述加强筋和凹槽之间填充有绝缘粉，多道所述加强筋之间垂直连接有电阻丝，所述电阻丝固定在支撑管上的固定槽中，所述电阻丝上包裹有绝缘套，所述支撑管外侧灌浇连接靶管，所述支撑管两端延伸至靶管外侧，一端所述支撑管上设有螺旋接头，所述螺旋接头连接耐磨块，所述耐磨块套在支撑管一端上，所述耐磨块上套有与之相匹配的密封圈，所述密封圈连接靶管，另一端所述支撑管上设有与之相匹配的耐磨块，所述耐磨块的末端设有连接头。

本实用新型的进一步改进在于：所述连接头由圆柱型的第一端和圆台状的第二端组成，所述第一端一端连接直径相同的支撑管、另一端连接第二端直径较大的一端。

本实用新型的进一步改进在于：多道所述加强筋环绕在支撑管上。

本实用新型的进一步改进在于：所述固定槽与绝缘套相匹配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型结构简单，内部结构紧密，提高密度，加强抗压性和耐磨性，通过加强筋的使用有效提高抗击性能，延长使用寿命；

2、本实用新型采用凹凸不平设计不仅加强结构之间的连接，还提高减震效果，且有效进行热量的传播，绝缘层配合电阻丝的使用能有效提绝缘性能，加强结构的整体稳定性；

3、本实用新型采用耐磨块对延伸出的支撑管进行防护，加大耐磨性和抗压性，避免运输和安装过程中的变形，提高工作效率，降低损失；

4、本实用新型通过连接头和螺旋接头的使用，有效提高连接性，加快安装速度和便捷性。

附图说明

图1：本实用新型的结构示意图；

图2：本实用新型的剖视图；

图3：本实用新型支撑管的结构示意图；

图4：本实用新型支撑管的平面剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种技术方案：

一种耐磨旋转靶材,包括芯体1，所述芯体1上粘结有绝缘层2，绝缘效果好，所述绝缘层2另一侧连接支撑管3，所述支撑管3上设有多道加强筋4，多道所述加强筋4环绕在支撑管3上，提高抗压性和耐磨性，多道所述加强筋4与靶管5内部的凹槽6相匹配，多道所述加强筋4上内嵌有磁块7，所述加强筋4和凹槽6之间填充有绝缘粉，多道所述加强筋4之间垂直连接有电阻丝8，所述电阻丝8固定在支撑管3上的固定槽14中，减少占地面积，所述固定槽14与绝缘套9相匹配，所述电阻丝8上包裹有绝缘套9，电阻效果好，加强绝缘性，所述支撑管3外侧灌浇连接靶管5，连接紧密，加大密度，加强内部的耐磨抗压性，避免变形、损伤。

本实施例中，所述支撑管3两端延伸至靶管5外侧，一端所述支撑管3上设有螺旋接头10，所述螺旋接头10连接耐磨块11，所述耐磨块11套在支撑管3一端上，所述耐磨块11上套有与之相匹配的密封圈12，所述密封圈12连接靶管5，另一端所述支撑管3上设有与之相匹配的耐磨块11，所述耐磨块11的末端设有连接头13，所述连接头13由圆柱型的第一端131和圆台状的第二端132组成，所述第一端131一端连接直径相同的支撑管3、另一端连接第二端132直径较大的一端，便于安装，缩短时间，提高安装速率，不仅加强连接的便捷性，还有效提高安装的紧密度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种耐磨旋转靶材,包括芯体（1），其特征在于：所述芯体（1）上粘结有绝缘层（2），所述绝缘层（2）另一侧连接支撑管（3），所述支撑管（3）上设有多道加强筋（4），多道所述加强筋（4）与靶管（5）内部的凹槽（6）相匹配，多道所述加强筋（4）上内嵌有磁块（7），所述加强筋（4）和凹槽（6）之间填充有绝缘粉，多道所述加强筋（4）之间垂直连接有电阻丝（8），所述电阻丝（8）固定在支撑管（3）上的固定槽（14）中，所述电阻丝（8）上包裹有绝缘套（9），所述支撑管（3）外侧灌浇连接靶管（5），所述支撑管（3）两端延伸至靶管（5）外侧，一端所述支撑管（3）上设有螺旋接头（10），所述螺旋接头（10）连接耐磨块（11），所述耐磨块（11）套在支撑管（3）一端上，所述耐磨块（11）上套有与之相匹配的密封圈（12），所述密封圈（12）连接靶管（5），另一端所述支撑管（3）上设有与之相匹配的耐磨块（11），所述耐磨块（11）的末端设有连接头（13）。

2.根据权利要求1所述的一种耐磨旋转靶材，其特征在于：所述连接头（13）由圆柱型的第一端（131）和圆台状的第二端（132）组成，所述第一端（131）一端连接直径相同的支撑管（3）、另一端连接第二端（132）直径较大的一端。

3.根据权利要求1所述的一种耐磨旋转靶材，其特征在于：多道所述加强筋（4）环绕在支撑管（3）上。

4.根据权利要求1所述的一种耐磨旋转靶材，其特征在于：所述固定槽（14）与绝缘套（9）相匹配。

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