CN215973718U - 位姿调整装置及物料运输系统 - Google Patents

Abstract

位姿调整装置及物料运输系统，其中，所述位姿调整模块设置于传送装置上方，所述传送装置适于传送承载装置，所述位姿调整装置包括：采集模块，适于采集承载装置的位姿，并输出位姿采集信号至工控模块；工控模块，设置于支架上，分别与采集模块和位姿调整模块电连接，适于基于位姿采集信号，确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息是否一致，并在二者不一致时，输出位姿调整信号至位姿调整模块；位姿调整模块，设置于支架上，并与抓取模块连接，且沿承载装置的运输路径放置，适于响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整承载装置的位姿；抓取模块，适于抓取承载装置。采用上述方案，能够调整承载装置的位姿。

Description

位姿调整装置及物料运输系统

技术领域

本说明书实施例涉及机械制造技术领域，尤其涉及一种位姿调整装置及物料运输系统。

背景技术

在机械制造过程中，物料运输系统包括传送装置和承载装置，通常，由传送装置将承载装置传送至对应地物料，将物料放置于承载装置中，之后再通过传送装置将载有物料的承载装置运送至对应的加工平台。理想情况下，在空载的承载装置接近物料时，承载装置的开口部位正好朝向物料，便于物料进入承载装置，减少装载时间。

然而，在运输空载的承载装置过程中，承载装置因运送装置的抖动等原因，导致开口部位存在很大的随机性，难以对准物料。

由上可知，如何调整承载装置的位姿(例如，开口部位的朝向)，有待本领域技术人员解决。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种位姿调整装置及物料运输系统，能够调整承载装置的位姿。

首先，本说明书实施例提供了一种位姿调整装置，设置于传送装置上方，所述传送装置适于传送承载装置，所述位姿调整装置包括：支架、采集模块、工控模块、位姿调整模块和抓取模块，其中：

所述采集模块，设置于所述支架上，并与所述工控模块电连接，适于采集所述承载装置的位姿，并输出位姿采集信号至所述工控模块；

所述工控模块，设置于所述支架上，分别与所述采集模块和所述位姿调整模块电连接，适于基于所述位姿采集信号，确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息是否一致，并在二者不一致时，输出位姿调整信号至所述位姿调整模块；

所述位姿调整模块，设置于所述支架上，并与所述抓取模块连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，适于响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿；

所述抓取模块，适于抓取所述承载装置。

可选地，所述采集模块适于采集所述承载装置的姿态和位置，并输出姿态采集信号和位置采集信号至所述工控模块；

所述工控模块，适于基于所述姿态采集信号和位置采集信号，并在确定对应的承载装置的位置和/或姿态与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出相应的位置调整信号和/或姿态调整信号至所述位姿调整模块；

所述位姿调整模块，适于响应于所述姿态调整信号和/或所述位置调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿。

可选地，所述位姿调整模块包括第一驱动机构、第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构，其中：

所述第一驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述姿态调整信号，产生第一驱动力；

所述第一调整机构，分别与所述第一驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第一驱动力的驱动下，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的姿态；

所述第二驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述位置调整信号，产生第二驱动力；

所述第二调整机构，分别与所述第二驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第二驱动力的驱动下，调整所述抓取机构与所述承载装置的相对位置，使得所述抓取模块能够抓取到所述承载装置。

可选地，所述第一驱动机构和第二驱动机构为步进电机。

可选地，所述第一调整机构包括第一调整轴和第二调整轴，其中：

所述第一调整轴，其第一端与所述第一驱动机构固定连接，其第二端与所述第二调整轴的第一端可伸缩连接；

所述第二调整轴，其第二端与所述抓取模块可活动连接。

可选地，所述第二驱动机构包括多个驱动器；所述第二调整机构包括多个第三调整轴，且所述驱动器与所述第三调整轴一一对应，其中：

各所述第三调整轴，其第一端与对应的驱动器可活动连接；其第二端与所述抓取模块固定连接。

可选地，所述抓取模块可沿多个轴向运动，以调整所述承载装置的位姿。

可选地，所述支架包括：

支撑件；

框架结构，设置于所述支撑件顶部；

固定件，设置于所述框架结构上，并与所述位姿调整模块连接固定连接。

可选地，所述采集模块包括以下至少一种：

相机，适于采集所述承载装置的图像，并输出相应的位姿采集信号；

扫描仪，适于扫描所述承载装置的位姿，并输出相应的姿态采集信号。

相应地，本说明书实施例还提供一种物料运输系统，包括：

传送装置，适于传送承载装置；

前述任一实施例所述的位姿调整装置，设置于所述传送装置上方，并沿所述承载装置的运输路径设置，适于调整所述承载装置的位姿；

所述承载装置，适于在完成位姿调整后装载物料。

采用本说明书实施例中的位姿调整装置，设置于传送装置上方，所述传送装置适于传送承载装置，其中，其中，工控模块可以基于采集模块输出的位姿采集信号，在确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出位姿调整信号至位姿调整模块，由于所述位姿调整模块与所述抓取模块连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，因此，所述位姿调整模块可以响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿。由此，通过工控模块和位姿调整模块配合，能够调整承载装置的位姿；此外，通过调整所述承载装置的位姿，能够避免因承载装置的位姿不一致而导致产线宕机的问题，进而能够提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对本说明书实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本说明书的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本说明书实施例中一种位姿调整装置的结构示意图。

图2示出了本说明书实施例中图1中位姿调整模块与支架连接结构的俯视图。

图3示出了本说明书实施例中一种物料运输系统的结构示意图。

图4示出了本说明书实施例图3中物料运输系统的A向视图。

具体实施方式

由背景技术可知，在运输空载的承载装置过程中，因运送装置的抖动等原因，导致承载装置的开口部位存在很大的随机性，难以对准物料。

为解决上述问题，本说明书实施例提供一种能够调整承载装置位姿的位姿调整装置。具体而言，所述位姿调整装置设置于传送装置上方，所述传送装置适于传送承载装置，所述位姿调整装置包括：支架、采集模块、工控模块、位姿调整模块和抓取模块，其中，工控模块可以基于采集模块输出的位姿采集信号，在确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出位姿调整信号至位姿调整模块，由于所述位姿调整模块与所述抓取模块连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，因此，所述位姿调整模块可以响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿。由此，通过工控模块和位姿调整模块配合，能够调整承载装置的位姿；此外，通过调整所述承载装置的位姿，能够避免因承载装置的位姿不一致而导致产线宕机的问题，进而能够提高生产效率。

在具体实施中，本说明书实施例提供的位姿调整装置可广泛应用于各种机械制造场景，例如，半导体相关的机械制造场景、绝缘体相关的机械制造场景和导体相关的机械制造场景。相应地，本说明书实施例提供的位姿调整装置可以调整多种承载装置的姿态，例如，晶圆传送盒的姿态。本说明书实施例对位姿调整装置的应用场景及调整的承载装置的类型不做具体限制。

为使本领域技术人员更好地理解和实施本说明书实施例，以下参照附图，并通过具体应用示例进行详细描述。

参照图1所示的本说明书实施例中一种位姿调整装置，设置于传送装置(图1未示出)上方，所述传送装置适于传送承载装置(图1未示出)，所述位姿调整装置10包括：支架11、采集模块12、工控模块(图1未示出)、位姿调整模块13和抓取模块14，其中：

所述采集模块12，设置于所述支架11上，并与所述工控模块电连接，适于采集所述承载装置的位姿，并输出位姿采集信号至所述工控模块；

所述工控模块，设置于所述支架11上，分别与所述采集模块12和所述位姿调整模块13电连接，适于基于所述位姿采集信号，确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息是否一致，并在二者不一致时，输出位姿调整信号至所述位姿调整模块14；

所述位姿调整模块13，设置于所述支架11上，并与所述抓取模块14连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，适于响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块14运动，以调整所述承载装置的位姿；

所述抓取模块14，适于抓取所述承载装置。

以下简述上述实施例中姿态调整装置10的工作原理：

在具体实施中，传送装置将承载装置运输至物料的过程中，所述承载装置的位姿可能发生变化，导致所述承载装置的位姿与初始位姿不同。

在传送装置传送承载装置的过程中，采集模块12可以采集所述承载装置的位姿，并输出相应的位姿采集信号至所述工控模块，所述工控模块根据所述位姿采集信号，通过比较采集到的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息，并在确定二者不一致时，输出位姿调整信号至所述位置调整模块13，由于所述位姿调整模块13与所述抓取模块14连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，在所述位姿调整信号的作用下，所述抓取模块14可以抓取所述承载装置，并由所述位姿调整模块13驱动所述抓取模块14运动，从而实现对承载装置位姿的调整。

由上述内容可知，采用本说明书实施例中的姿态调整装置，在对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出位姿调整信号，并根据所述位姿调整信号，调整承载器具的姿态；此外，通过调整所述承载器具的姿态，能够避免因承载器具的姿态不一致，导致产线宕机的问题，进而能够提高生产效率。

为使本领域技术人员更好地理解和实施本说明书实施例，以下对本说明书实施例的构思、方案、原理及优点等结合附图，并通过具体应用示例进行详细描述。

在本说明书实施例中，承载装置的位姿具体可以包括姿态和位置，因此，为了得到所述承载装置的位姿信息，所述采集模块可以分别采集所述承载装置的姿态和位置，并输出姿态采集信号和位置采集信号至所述工控模块；相应地，所述工控模块，适于基于所述姿态采集信号和位置采集信号，并在确定对应的承载装置的位置和/或姿态与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出相应的位置调整信号和/或姿态调整信号至所述位姿调整模块；相应地，所述位姿调整模块，适于响应于所述姿态调整信号和/或所述位置调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿。

作为一具体示例，所述采集模块可以获取所述承载装置在同一时刻的位置信息和姿态信息，并实时输出与相应姿态信息对应的姿态采集信号和与相应位置信息对应的位置采集信号至所述工控模块，当所述工控模块通过比较，在确定对应的承载装置的位置和/或姿态与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，可以按下如下策略，输出相应的位置调整信号和/或姿态调整信号至所述姿态调整模块，并调整承载装置的位姿：

1)当工控模块确定对应的承载装置的位置与预先存储的承载装置的位置信息不一致时，输出相应的位置调整信号至所述姿态调整模块，所述姿态调整模块可以调整承载装置的位置；

2)当工控模块确定对应的承载装置的姿态与预先存储的承载装置的姿态信息不一致时，输出相应的姿态调整信号至所述姿态调整模块，所述姿态调整模块可以调整承载装置的姿态；

3)当工控模块确定对应的承载装置的姿态、位置与预先存储的承载装置的姿态信息和位置信息均不一致时，输出相应的姿态调整信号和位置调整信号至所述姿态调整模块，所述姿态调整模块可以调整承载装置的姿态和位置。

在本说明书实施例中，所述采集模块可以通过多种方式实现，作为一些可选示例，所述采集模块可以为相机、扫描仪中的至少一种，其中：

所述相机，适于采集所述承载装置的图像，并输出相应的位姿采集信号；

所述扫描仪，适于扫描所述承载装置的位姿，并输出相应的位姿采集信号。

在本说明书的另一些实施例中，所述采集模块还可以是摄像头，通过实时监控承载器具的位姿，以获取其位姿信息，并上传至工控模块，或者是平板、手机等其他具备摄像功能的装置。

在本说明书一些实施例中，所述工控模块可以是工控机。在其他一些实施例中，所述工控模块可以通过中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、现场可编程逻辑门阵列(Field Programmable Gate Array，FPGA)等处理芯片实现，也可以通过特定集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)或者是被配置成实施本发明实施例的一个或多个集成电路实现。

在具体实施中，所述工控模块可以采用通用的计算机设备与采集模块进行数据通信及数据运算，本说明书实施例中并不涉及对所述计算设备具体工作方法的改进。计算设备获取数据的过程和比较过程均可以采用本领域现有技术或常规技术手段实施。

在具体应用中，可以将采集模块和工控模块集成设计，一方面，能够避免采集模块和工控模块在工作过程中与其他设备发生干涉，影响输出的位姿调整信号精度；另一方面，能够减小位姿调整装置的体积。

在具体实施中，对于不同的应用场景，可以采用具有不同结构、组成的位姿调整模块，以对承载装置的位置和姿态进行调整。

如前所述，在传送所述承载装置的过程中，承载装置的位置和姿态可能均会发生变化，在对承载装置的位姿进行调整时，需要对所述承载装置的位置和姿态进行调整。在一具体应用场景中，所述位姿调整模块至少可以包括两组调整机构，其中，一组调整机构用于调整承载装置的姿态，另一组用来调整承载装置的位置，在两组调整机构的配合下，对承载装置的姿态和位置进行调整。

在本说明书实施例中，所述位姿调整模块包括第一驱动机构、第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构，其中：

所述第一驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述姿态调整信号，产生第一驱动力；

所述第一调整机构，分别与所述第一驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第一驱动力的驱动下，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的姿态；

所述第二驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述位置调整信号，产生第二驱动力；

所述第二调整机构，分别与所述第二驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第二驱动力的驱动下，调整所述抓取机构与所述承载装置的相对位置，使得所述抓取模块能够抓取到所述承载装置。

在具体实施中，当所述位姿调整模块接收相应的位置调整信号和/或姿态调整信号，一方面，所述第一驱动机构可以根据所述姿态调整信号，产生第一驱动力，并在所述驱动力的驱动下，由所述第一调整机构驱动所述抓取模块运动，实现对承载装置姿态的调整；另一方面，所述第二驱动机构可以根据所述位置调整信号，产生第二驱动力，由所述第二调整机构调整所述抓取机构与所述承载装置的相对位置，使得所述抓取机构位于所述承载装置的上方，从而能够抓取到所述承载装置。

需要说明的是，在具体实施中，可以先由第一驱动机构和第一调整机构调整承载装置的姿态，当所述承载装置的姿态与预先存储的姿态信息一致时，再由第二驱动机构和第二调整机构调整承载装置的位置，以实现对承载装置位置的调整；或者，可以先由第二驱动机构和第二调整机构调整承载装置的位置，当所述承载装置的姿态与预先存储的位置信息一致时，再由第一驱动机构和第一调整机构调整承载装置的姿态，以实现对承载装置位置的调整。本说明书实施例不限制承载装置位姿的调整顺序。

可以理解的是，仅当承载装置的位置和姿态均发生变化时，第一驱动机构、第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构才协同工作；当承载装置的姿态与预先存储的位姿信息不一致时，可以仅由第一驱动机构和第一调整机构工作，调整所述承载装置的姿态；当承载装置的位置与预先存储的位姿信息不一致时，可以仅由第二驱动机构和第二调整机构工作，调整所述承载装置的位置。

在本说明书一些实施例中，当所述第一驱动机构产生的驱动力较小时，可以将所述第一驱动机构与第一调整机构直接连接。

在本说明书另一些实施例中，所述第一驱动机构产生的驱动力较大时，为了提高第一调整机构运动过程中的稳定性，降低第一调整机构的运动速度，从而实现对物料位姿的精准调整，在具体实施中，所述第一驱动机构与第一调整机构可以通过传动结构连接，其中，所述传动机构可以是减速齿轮组件，通过所述减速齿轮组件，能过减小传递到第一调整机构的驱动力，从而降低位移机构的运动速度，提高调整精度。

可以理解的是，第二驱动机构和第二调整机构的连接关系，可以参照上述第一驱动机构和第二调整机构的连接关系。

在本说明书的一些其他实施例中，所述传动机构还可以是链轮减速组件、带轮减速组件等减速组件，所述驱动机构可以通过上述减速组件与所述推进模块连接。

需要说明的是，本说明书实施例中所描述的“较大”、“较小”等形容词仅是用来描述相对驱动力大小的比较关系，并不对驱动力的大小进行限制。

在本说明书一些实施例中，作为一具体示例，所述第一驱动机构和第二驱动机构可以是步进电机，由于步进电机控制性能好且有较大的转速调节范围，能够提高承载装置调整的精度。

在其他实施例中，所述第一驱动机构和第二驱动机构还可以是其他动力装置，例如，电动马达。

继续参照图1，作为一具体示例，如图1所示，所述第一调整机构可以包括第一调整轴132和第二调整轴133，其中：

所述第一调整轴132，其第一端与所述第一驱动机构131固定连接，其第二端与所述第二调整轴133的第一端可伸缩连接；

所述第二调整轴133，其第二端与所述抓取模块14可活动连接。

当承载装置的姿态与预设姿态不一致时，在所述姿态调整信号的作用下，第一驱动机构可以产生第一驱动力，在所述第一驱动力的作用下，第二调整轴133的第一端从所述第一调整轴132的第二端伸出，使得所述抓取机构14能够抓取到所述承载装置，当抓取到所述承载装置时，第二调整轴133的第一端可以向所述第一调整轴的第二端缩进，当缩进至预设位置时，所述第二调整轴133的第二端可以带动所述抓取机构14旋转运动，以调整所述承载装置的姿态。

继续参照图1，所述第二驱动机构包括多个驱动器(如驱动器134、136和138)；所述第二调整机构包括多个第三调整轴(如第三调整轴135、137、139)，且所述驱动器与所述第三调整轴一一对应，其中：

各所述第三调整轴，其第一端与对应的驱动器活动连接；其第二端与所述抓取模块14固定连接。

作为一具体示例，如图1所示，第三调整轴135的第一端可以与驱动器134的第一端活动连接，其第二端与所述抓取模块14连接；第三调整轴137的第一端可以与驱动器136的第一端活动连接，其第二端与所述抓取模块14连接；第三调整轴139的第一端可以与驱动器128的第一端活动连接，其第二端与所述抓取模块14连接。

当承载装置的位置与预设位置不一致时，在所述位置调整信号的作用下，各所述驱动器产生对应的第二驱动力，在所述第二驱动力的作用下，各第三调整轴的第一端可以活动，由于各第三调整轴的第二端与所述抓取模块固定连接，在所述第三调整轴活动过程中，带动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位置，以使所述抓取模块能够抓取到所述承载装置。

在本说明书一些实施例中，如图1所述，所述第二驱动机构可以包括3个驱动器和3个第三调整轴。

在另一具体应用场景中，承载装置的位置始终与预先存储的承载装置的位置信息一致，在传送所述承载装置的过程中，承载装置的姿态会发生变化。作为一具体示例，所述姿态调整装置可以包括驱动机构、调整机构，其中，所述驱动机构可以根据工控模块输出的姿态调整信号，输出相应的驱动力至调整机构，在所述驱动力的驱动下，所述调整结构能够带动所述抓取模块运动，以调整承载装置的姿态。

在又一具体应用场景中，承载装置的姿态始终与预先存储的承载装置的姿态信息一致，在传送所述承载装置的过程中，承载装置的位置会发生变化。作为一具体示例，所述姿态调整装置可以包括驱动机构、调整机构，其中，所述驱动机构可以根据工控模块输出的位置调整信号，输出相应的驱动力至调整机构，在所述驱动力的驱动下，所述调整结构能够带动所述抓取模块运动，以调整承载装置的位置。

在又一具体应用场景中，在传送所述承载装置的过程中，承载装置的位置和姿态可能均会发生变化，在对承载装置的位姿进行调整时，需要同时对所述承载装置的位置和姿态进行调整。作为一具体示例，所述位姿调整模块包括第一驱动机构、第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构，其中，当所述位姿调整模块接收相应的位置调整信号和/或姿态调整信号，所述第一驱动机构可以根据所述姿态调整信号，产生第一驱动力，并在所述驱动力的驱动下，由所述第一调整机构驱动所述抓取模块运动，实现对承载装置姿态的调整；与此同时，所述第二驱动机构可以根据所述位置调整信号，产生第二驱动力，由所述第二调整机构调整所述抓取机构与所述承载装置的相对位置，使得所述抓取机构位于所述承载装置的上方，从而能够抓取到所述承载装置。

在具体实施中，继续参照图1，为实现对所述承载装置的姿态进行全方位的调整，所述抓取模块14可沿多个轴向运动，以调整所述承载装置的位姿。具体而言，当所述抓取模块14抓取到所述承载装置时，其既能够沿着第二调整轴133的轴向运动，也可以沿与所述第二调整轴133的轴向垂直方向运动，从而能够在各个方向调整承载装置的姿态。

在本说明书一些其他实施例中，所述抓取模块可以包括第一抓取机构和第二抓取机构，其中，第一抓取机构和第二抓取机构均与所述位姿调整模块连接。在所述位姿调整模块的作用下，第一抓取机构可以沿第二调整轴的轴向旋转运动，第二抓取机构可沿垂直于第二调整轴的轴向旋转运动，在工作过程中，可以根据实际需求，灵活的选用第一抓取机构和第二抓取机构，调整承载装置的位姿。

在具体实施中，第一抓取机构具体可以为通用机械抓手(又称工业机器人)，其中，通用机械抓手的工作范围大、定位精度高。

在另一些实施例中，第一抓取机构具体可以为机械式抓手、电动式机械抓手等其他具有抓取能力的设备或器件。

在本说明书另一些其他实施例中，所述抓取模块可以包括抓取机构和旋转调整机构，抓取机构可以与所述位姿调整模块连接，旋转调整机构能够沿各个方向进行旋转运动，在工作过程中，所述抓取机构可以抓取承载装置，并将抓取到的承载装置转移至旋转调整机构，由旋转调整机构调整承载装置各个方向的位姿，待调整好所述承载装置的位姿后，再由所述抓取机构抓取完成位姿调整后的承载装置，并放置于传送装置上。

在具体实施中，第一抓取机构具体可以为通用机械抓手(又称工业机器人)、机械式抓手、电动式机械抓手等其他具有抓取能力的设备或器件。

所述旋转机构可以是螺旋式旋转机构、凸轮式旋转机构和曲柄式旋转机构。

在具体实施例，基于不同的应用场景，所述支架可以通过多种方式实现。在本说明书一些实施例中，继续参照图1，所述支架11可以包括：

支撑件111；

框架结构112，设置于所述支撑件111顶部；

固定件113，设置于所述框架结构112上，并与所述位姿调整模块13连接固定连接。

通过上述支架，能够实现第一驱动机构和第二驱动机构的固定。

在具体实施中，如图1所示，支架11的整体呈方形结构，在其他实施例中，所述支架还可以是其他形状，只要能够起到支撑和连接位姿调整模块的作用即可。

在本说明书实施例中，可以将位姿调整模块放置于支架的不同位置处。作为一具体示例，参照图2所示的本说明书实施例中图1中位姿调整模块与支架的连接关系俯视图，其中，所述位姿调整模块22可以固定设置于所述支架11的顶部，所述位姿调整模块22可以包括第一驱动机构221、第一调整机构(图2未示出)、第二驱动机构222、223、224，以及分别与第二驱动机构222、223、224连接的第二调整机构(图2未示出)，其中，第一驱动机构221可以位于所述第二驱动机构222、223、224的中心位置，且在所述第一驱动机构221的作用下，第一调整机构可以沿其轴向进行360°旋转运动，以调整承载装置的姿态；在所述第二驱动机构222、223、224作用下，所述第二调整机构的第一端可以运动，并带动与其连接的抓取机构运动，以调整承载装置的位置。

在具体应用中，所述位姿调整模块22还可以与所述支架21可滑动连接，例如：支架21的顶部和各侧部可以设置有导轨，根据实时采集到的承载装置的位姿，所述位姿调整模块22可以沿导轨运动，移动至支架21的不同位置。相应地，与所述位姿调整模块21相连接的抓取模块可以只沿一个方向转动。

可以理解的是，当采集模块和位姿调整模块位于支架的同一侧时，需要将采集模块放置于位姿调整模块的下方，采用这样的放置方式，能够避免因位姿调整模块的遮挡，使得采集模块难以采集到所述载物器具的位姿信息。

可以理解的是，上述示例仅为示意说明，在实际应用中，本领域技术人员可以根据实际需求和应用场景，可以对上述示例中的第一驱动机构和第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构的结构和连接关系进行适应性地选取和/或变形。从而能够延伸出更多的实施方案，本说明书实施例并不对这些延伸方案进行限制。

在具体实施中，可以将上述任一实施例中的位姿调整装置应用于物料运输系统以及其他需要对物料进行位姿调整的设备中，以下给出一种在物料运输系统中的应用示例。

参照图3所示的本说明书实施例中一种物料运输系统的结构示意图，在本说明书实施例中，物料运输系统30可以包括传送装置31、前述任一项所述的位姿调整装置32和承载装置33：

所述传送装置31，适于传送承载装置33；

所述位姿调整装置32，设置于所述传送装置31上方，并沿所述承载装置33的运输路径设置，适于调整所述承载装置33的位姿；

所述承载装置33，适于在完成位姿调整后装载物料。

具体而言，在传送装置31传送承载装置33的过程中，位姿调整装置32可以在所述承载装置33的位姿(位置和姿态)与预先存储的承载装置33的位姿信息不一致时，调整所述承载装置33的位姿，并在调整好所述承载装置33的位姿后，将所述承载装置33放置到所述传送装置31上，由所述传送装置31将所述承载装置33传送至相应的物料处，物料可以被装载至所述承载装置33。

在具体实施中，根据不同的应用场景，所述传送装置31可以是机输送机。继续参照图3，所述传送装置31可以是带式输送机，其包括电机、传送带和支撑所述传送带的支架，其中，所述电机可以为所述传送带提供动力，所述传送带参数(例如：传递长度、传动力)，可以根据实际场景进行选择。

在半导体相关的机械制造场景，所述承载装置33可以是晶圆传送盒，所述传送装置31可以放置多个晶圆传送盒，所述晶圆传送盒可用于容置晶圆，以在不同的加工工艺间转移晶圆。

所述位姿调整装置32的具体结构及其调整原理可以参见前述实施例介绍，此处不再展开描述。

结合图1，参照图4所示的本说明书实施例中图3中物料运输系统的A向视图，其中，位姿调整模块13可以设置于支架11的顶部，当工控模块(图4未示出)确定采集模块12采集到的承载装置33的位姿(例如，采集到的所述承载装置33的开口方向为沿其运输路径方向偏左)与预先存储的位姿信息(例如，所述承载装置33的预设开口方向为朝向其运输路径方向)不一致时，输出位姿调整信号至位姿调整模块13，所述位姿调整模块13可以响应于所述位姿调整信号，驱动抓取机构14运动并抓取承载装置33，以调整承载装置33的位姿，使得承载装置33的位姿与预设位姿一致。

其中，位姿调整模块13的工作过程以及调整原理，参见前述实施例，在此不再展开描述。

需要说明的是，在本说明书的描述中，“第一”、“第二”等术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等术语的特征可以明示或者隐含的包括一个或者多个该特征。而且，“第一”、“第二”等术语是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或表示重要性。可以理解的是，这样使用的术语在适当情况下可以互换，以使这里描述的本说明书实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

虽然本说明书实施例披露如上，但本说明书实施例并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本说明书实施例的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种位姿调整装置，设置于传送装置上方，所述传送装置适于传送承载装置，所述位姿调整装置包括：支架、采集模块、工控模块、位姿调整模块和抓取模块，其中：

所述采集模块，设置于所述支架上，并与所述工控模块电连接，适于采集所述承载装置的位姿，并输出位姿采集信号至所述工控模块；

所述工控模块，设置于所述支架上，分别与所述采集模块和所述位姿调整模块电连接，适于基于所述位姿采集信号，确定对应的承载装置的位姿与预先存储的承载装置的位姿信息是否一致，并在二者不一致时，输出位姿调整信号至所述位姿调整模块；

所述位姿调整模块，设置于所述支架上，并与所述抓取模块连接，且沿所述承载装置的运输路径放置，适于响应于所述位姿调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿；

所述抓取模块，适于抓取所述承载装置。

2.根据权利要求1所述的位姿调整装置，其特征在于，所述采集模块适于采集所述承载装置的姿态和位置，并输出姿态采集信号和位置采集信号至所述工控模块；

所述工控模块，适于基于所述姿态采集信号和位置采集信号，并在确定对应的承载装置的位置和/或姿态与预先存储的承载装置的位姿信息不一致时，输出相应的位置调整信号和/或姿态调整信号至所述位姿调整模块；

所述位姿调整模块，适于响应于所述姿态调整信号和/或所述位置调整信号，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的位姿。

3.根据权利要求2所述的位姿调整装置，其特征在于，所述位姿调整模块包括第一驱动机构、第一调整机构、第二驱动机构和第二调整机构，其中：

所述第一驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述姿态调整信号，产生第一驱动力；

所述第一调整机构，分别与所述第一驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第一驱动力的驱动下，驱动所述抓取模块运动，以调整所述承载装置的姿态；

所述第二驱动机构，与所述工控模块电连接，适于根据所述位置调整信号，产生第二驱动力；

所述第二调整机构，分别与所述第二驱动机构和所述抓取模块连接，适于在所述第二驱动力的驱动下，调整所述抓取模块与所述承载装置的相对位置，使得所述抓取模块能够抓取到所述承载装置。

4.根据权利要求3所述的位姿调整装置，其特征在于，所述第一驱动机构和第二驱动机构为步进电机。

5.根据权利要求3所述的位姿调整装置，其特征在于，所述第一调整机构包括第一调整轴和第二调整轴，其中：

所述第一调整轴，其第一端与所述第一驱动机构固定连接，其第二端与所述第二调整轴的第一端可伸缩连接；

所述第二调整轴，其第二端与所述抓取模块可活动连接。

6.根据权利要求3所述的位姿调整装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括多个驱动器；所述第二调整机构包括多个第三调整轴，且所述驱动器与所述第三调整轴一一对应，其中：

各所述第三调整轴，其第一端与对应的驱动器可活动连接；其第二端与所述抓取模块固定连接。

7.根据权利要求1所述的位姿调整装置，其特征在于，所述抓取模块可沿多个轴向运动，以调整所述承载装置的位姿。

8.根据权利要求1所述的位姿调整装置，其特征在于，所述支架包括：

支撑件；

框架结构，设置于所述支撑件顶部；

固定件，设置于所述框架结构上，并与所述位姿调整模块连接固定连接。

9.根据权利要求1至8任一项所述的位姿调整装置，其特征在于，所述采集模块包括以下至少一种：

相机，适于采集所述承载装置的图像，并输出相应的位姿采集信号；

扫描仪，适于扫描所述承载装置的位姿，并输出相应的姿态采集信号。

10.一种物料运输系统，其特征在于，包括：

传送装置，适于传送承载装置；

权利要求1至9任一项所述的位姿调整装置，设置于所述传送装置上方，并沿所述承载装置的运输路径设置，适于调整所述承载装置的位姿；

所述承载装置，适于在完成位姿调整后装载物料。

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