CN215933542U - 一种便于固定可调节的硅片承载座 - Google Patents
一种便于固定可调节的硅片承载座 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215933542U CN215933542U CN202122394681.2U CN202122394681U CN215933542U CN 215933542 U CN215933542 U CN 215933542U CN 202122394681 U CN202122394681 U CN 202122394681U CN 215933542 U CN215933542 U CN 215933542U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon chip
- silicon wafer
- silicon
- base
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种便于固定可调节的硅片承载座，包括硅片底座，所述硅片底座的顶部内腔开设有硅片卡槽，所述硅片卡槽的一侧开设有排水槽，所述排水槽的开设深度大于硅片卡槽的开设深度，所述硅片底座的底部设置有安装块，所述安装块的内腔开设有安装孔，所述硅片卡槽的顶部设置有硅片，通过调节螺纹杆的的从而能够调节硅片的宽度，从而能够满足各种大小的硅片便于安装，由于硅片卡槽的槽口两侧均经过倒角处理，使硅片卡槽的槽口宽度大于硅片的厚度，便于硅片伸入至硅片卡槽，当硅片卡入后，通过螺纹杆和螺母的配合从而使硅片底座更加稳固，在通过硅片底座底部的安装块和安装孔的配合能够使硅片底座安装时更加稳定牢固。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片承载着技术领域，具体为一种便于固定可调节的硅片承载座。
背景技术
随着国内集成电路产业的迅速发展，硅片是半导体领域中必不可少的核心产品，硅片底材料的需求量也越来越大，质量要求越来越严格，在硅片的加工过程中，需要硅片承载座作为载具。
对于传统的硅片承载座来说，卡槽和和承载座的宽度不能够调节，不能满足硅片的宽度和厚度，并且固定效果差，承载座的不牢固，以及清洗时，排水能力差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于固定可调节的硅片承载座，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于固定可调节的硅片承载座，包括硅片底座，所述硅片底座的顶部内腔开设有硅片卡槽，所述硅片卡槽的一侧开设有排水槽，所述排水槽的开设深度大于硅片卡槽的开设深度，所述硅片底座的底部设置有安装块，所述安装块的内腔开设有安装孔，所述述硅片卡槽的顶部设置有硅片。
优选的，所述硅片底座共设置有两组且对称分布，所述硅片卡槽设置有多组且平行分布在硅片底座的内腔。
优选的，所述安装块和安装孔共设置有四组且平行分布，所述硅片底座底部的内腔开设有调节孔，所述调节孔共开设有两组且对称分布。
优选的，所述调节孔的内腔设置有螺纹杆，所述螺纹杆的两侧设置有螺母，所述螺纹杆共设置有两组且对称分布。
优选的，所述硅片底座的顶部一侧设置有固定装置，所述固定装置的一侧设置有固定块，所述固定块的底部设置有橡胶轴，所述橡胶轴的底部固定连接有顶板。
优选的，所述顶板的内腔设置有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一侧固定连接着橡胶板，所述橡胶板的一侧固定连接有固定装置，所述固定装置的内腔两侧开设有滑槽所述顶板的两侧设置有滑轴。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该便于固定可调节的硅片承载座，通过调节螺纹杆的的从而能够调节硅片的宽度，从而能够满足各种大小的硅片便于安装，由于硅片卡槽的槽口两侧均经过倒角处理，使硅片卡槽的槽口宽度大于硅片的厚度，便于硅片伸入至硅片卡槽，当硅片卡入后，通过螺纹杆和螺母的配合从而使硅片底座更加稳固，在通过硅片底座底部的安装块和安装孔的配合能够使硅片底座安装时更加稳定牢固。
2、该便于固定可调节的硅片承载座，当硅片卡入硅片卡槽时，硅片底座顶部两侧的固定装置一侧固定块会向内施压，在压力的作用下会使橡胶轴和顶板向内收缩，使顶板向内顶压缓冲弹簧，由于在缓冲弹簧的弹力作用下，当硅片卡入硅片卡槽后会有回弹的效果，在通过滑轴和滑槽的配合从而使硅片与硅片底座更加稳定牢固，在硅片清洗装置中，利用硅片底座的排水槽，能够使清洗过硅片水流便于排水槽流出，可以提高硅片清洗的效率和提高硅片清洗效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构俯视图；
图3为本实用新型固定装置结构示意图。
图中：1、硅片底座；2、硅片卡槽；3、排水槽；4、安装块；5、安装孔；6、调节孔；7、螺纹杆；8、螺母；9、固定块；10、橡胶轴；11、顶板；12、缓冲弹簧；13、橡胶板；14、滑轴；15、滑槽；16、固定装置；17、硅片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种便于固定可调节的硅片承载座，包括硅片底座1，硅片底座1的顶部内腔开设有硅片卡槽2，硅片卡槽2的一侧开设有排水槽3，排水槽3的开设深度大于硅片卡槽2的开设深度，硅片底座1的底部设置有安装块4，安装块4的内腔开设有安装孔5，硅片卡槽2的顶部设置有硅片17。
其中，硅片底座1共设置有两组且对称分布，硅片卡槽2设置有多组且平行分布在硅片底座1的内腔。
实施例中，当需要使用该硅片承载座，通过调节螺纹杆7的的从而能够调节硅片17的宽度，从而能够满足各种大小的硅片17便于安装，由于硅片卡槽2的槽口两侧均经过倒角处理，使硅片卡槽2的槽口宽度大于硅片17的厚度，便于硅片17伸入至硅片卡槽2，当硅片17卡入后，通过螺纹杆7和螺母8的配合从而使硅片底座1更加稳固，在通过硅片底座1底部的安装块4和安装孔5的配合能够使硅片底座1安装时更加稳定牢固。
其中，安装块4和安装孔5共设置有四组且平行分布，硅片底座1底部的内腔开设有调节孔6，调节孔6共开设有两组且对称分布，调节孔6的内腔设置有螺纹杆7，螺纹杆7的两侧设置有螺母8，螺纹杆7共设置有两组且对称分布。
本实施例中，当硅片17卡入硅片卡槽2时，硅片底座1顶部两侧的固定装置16一侧固定块9会向内施压，在压力的作用下会使橡胶轴10和顶板11向内收缩，使顶板11向内顶压缓冲弹簧12，由于在缓冲弹簧12的弹力作用下，当硅片17卡入硅片卡槽2后会有回弹的效果，在通过滑轴14和滑槽15的配合从而使硅片17与硅片底座1更加稳定牢固，在硅片17清洗装置中，利用硅片底座1的排水槽3，能够使清洗过硅片17水流便于排水槽3流出，可以提高硅片17清洗的效率和提高硅片17清洗效果。
其中，硅片底座1的顶部一侧设置有固定装置16，固定装置16的一侧设置有固定块9，固定块9的底部设置有橡胶轴10，橡胶轴10的底部固定连接有顶板11，顶板11设置有缓冲弹簧12，缓冲弹簧12的一侧固定连接着橡胶板13，橡胶板13的一侧固定连接有固定装置16的内壁，固定装置16的内腔两侧开设有滑槽15，顶板11的两侧设置有滑轴14。
工作原理：当需要使用该硅片承载座，通过调节螺纹杆7的的从而能够调节硅片17的宽度，从而能够满足各种大小的硅片17便于安装，由于硅片卡槽2的槽口两侧均经过倒角处理，使硅片卡槽2的槽口宽度大于硅片17的厚度，便于硅片17伸入至硅片卡槽2，当硅片17卡入硅片卡槽2时，硅片底座1顶部两侧的固定装置16一侧固定块9会向内施压，在压力的作用下会使橡胶轴10和顶板11向内收缩，使顶板11向内顶压缓冲弹簧12，由于在缓冲弹簧12的弹力作用下，当硅片17卡入硅片卡槽2后会有回弹的效果，在通过滑轴14和滑槽15的配合从而使硅片17与硅片底座1更加稳定牢固，在硅片17清洗装置中，利用硅片底座1的排水槽3，能够使清洗过硅片17水流便于排水槽3流出，可以提高硅片17清洗的效率和提高硅片17清洗效果。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种便于固定可调节的硅片承载座，包括硅片底座(1)，其特征在于：所述硅片底座(1)的顶部内腔开设有硅片卡槽(2)，所述硅片卡槽(2)的一侧开设有排水槽(3)，所述排水槽(3)的开设深度大于硅片卡槽(2)的开设深度，所述硅片底座(1)的底部设置有安装块(4)，所述安装块(4)的内腔开设有安装孔(5)，所述硅片卡槽(2)的顶部设置有硅片(17)。
2.根据权利要求1所述的一种便于固定可调节的硅片承载座，其特征在于：所述硅片底座(1)共设置有两组且对称分布，所述硅片卡槽(2)设置有多组且平行分布在硅片底座(1)的内腔。
3.根据权利要求1所述的一种便于固定可调节的硅片承载座，其特征在于：所述安装块(4)和安装孔(5)共设置有四组且平行分布，所述硅片底座(1)底部的内腔开设有调节孔(6)，所述调节孔(6)共开设有两组且对称分布。
4.根据权利要求3所述的一种便于固定可调节的硅片承载座，其特征在于：所述调节孔(6)的内腔设置有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的两侧设置有螺母(8)，所述螺纹杆(7)共设置有两组且对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种便于固定可调节的硅片承载座，其特征在于：所述硅片底座(1)的顶部一侧设置有固定装置(16)，所述固定装置(16)的一侧设置有固定块(9)，所述固定块(9)的底部设置有橡胶轴(10)，所述橡胶轴(10)的底部固定连接有顶板(11)。
6.根据权利要求5所述的一种便于固定可调节的硅片承载座，其特征在于：所述顶板(11)的内腔设置有缓冲弹簧(12)，所述缓冲弹簧(12)的一侧固定连接着橡胶板(13)，所述橡胶板(13)的一侧固定连接有固定装置(16)，所述固定装置(16)的内腔两侧开设有滑槽(15)所述顶板(11)的两侧设置有滑轴(14)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122394681.2U CN215933542U (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种便于固定可调节的硅片承载座 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122394681.2U CN215933542U (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种便于固定可调节的硅片承载座 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215933542U true CN215933542U (zh) | 2022-03-01 |
Family
ID=80406293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122394681.2U Active CN215933542U (zh) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | 一种便于固定可调节的硅片承载座 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215933542U (zh) |
-
2021
- 2021-09-30 CN CN202122394681.2U patent/CN215933542U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206373210U (zh) | 一种冲床 | |
| CN215933542U (zh) | 一种便于固定可调节的硅片承载座 | |
| CN206357788U (zh) | 一种用于太阳能硅片生产的丝网印刷机的刮刀机构 | |
| CN116844940A (zh) | 一种改善SiC外延片浓度均匀性的制备方法 | |
| CN207119583U (zh) | 一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置 | |
| CN201115324Y (zh) | 一种贴片机的拼板夹具 | |
| CN107617602B (zh) | 一种半导体清洗装置用夹持装置 | |
| CN207255716U (zh) | 一种散热板的加工装置 | |
| CN216250662U (zh) | 单多晶硅片承载石墨框 | |
| CN115206850A (zh) | 一种可容纳多尺寸晶圆的片盒及片盒翻转装置 | |
| CN105720134A (zh) | 太阳能电池板生产工艺 | |
| CN206558488U (zh) | 一种多晶硅片用组合夹具 | |
| CN214848644U (zh) | 一种电池正面副栅线图形结构 | |
| CN208880430U (zh) | 一种切割多晶硅锭的边角处理装置 | |
| CN210045620U (zh) | 一种led晶片自动分选机用推顶器台组件 | |
| CN114664640A (zh) | 一种降低超薄硅片粘片率的清洗方法 | |
| CN106784131A (zh) | 基于n型硅片的太阳能电池片及其制备方法 | |
| CN219704630U (zh) | 一种更换结构及硅晶圆薄片专用磨轮 | |
| Rózsás et al. | Process and measurement of electroplated back-contact integrated microchannel cooling devices for CPV cells | |
| CN221041059U (zh) | 一种兼容多尺寸硅片承载的花篮 | |
| WO2000041221A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur formgebung von halbleiteroberflächen | |
| CN112342079A (zh) | 一种金刚石线锯水基切削液 | |
| CN219094385U (zh) | 一种潜水电泵管路法兰钻孔夹具 | |
| CN220922127U (zh) | 一种散热铜板夹具 | |
| CN214138498U (zh) | 一种新型农业机械用油壶支架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |