CN215878820U - 一种集成电路薄型物料缺陷检测机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种集成电路薄型物料缺陷检测机，其包括上料装置，其用于运输物料；缺陷检测装置，其设置在所述上料装置的运输路线上，用于对物料进行缺陷检测；缓存装置，其设置在所述缺陷检测装置旁，用于抓取并运输已进行缺陷检测物料；下料装置，其设置在所述缓存装置旁，用于对所述缓存装置运输的物料进行分类放置。本申请能够自动化的对物料进行缺陷检测，提高产品出货前的质量管控；此外，本申请设有缓存装置，所述缓存装置能够及时抓取并暂时存放已进行缺陷检测物料，缩短已进行缺陷检测物料待在所述缺陷检测装置处的时间，提高缺陷检测装置的效率，提高产量。

Description

一种集成电路薄型物料缺陷检测机

技术领域

本申请涉及缺陷检测技术领域，特别涉及一种集成电路薄型物料缺陷检测机。

背景技术

集成电路薄型物料作为集成电路的芯片载体，是一种现芯片内部电路与外部电路形成电气回路的关键结构件，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架和集成电路载板。当所述集成电路薄型物料出现缺陷时，对应的集成电路也会很容易出现问题。因为通常集成电路薄型物料在成品之前会进行缺陷检测。大部分厂商需要是以人工检测为主，这样缺陷检测方式成本高，效率低，漏检率高。

相关技术中存在对集成电路薄型物料进行缺陷检测的自动化设备，该设备包括上料装置、缺陷检测装置、下料装置，所述上料装置将集成电路薄型物料运输给所述缺陷检测装置，所述缺陷检测装置用于对所述集成电路薄型物料进行缺陷检测，所述下料装置用于对已进行缺陷检测的集成电路薄型物料进行抓取并运输，并且根据所述缺陷检测装置检测的结果对所述集成电路薄型物料进行分类放置。

上述内容存在缺陷：当所述下料装置抓取已进行缺陷检测的物料后，缺陷检测装置才能进行下一次的物料缺陷检测。在实际生产过程中，缺陷检测装置对物料的检测时间是小于下料装置抓取已进行缺陷检测物料的时间，这就导致了缺陷检测装置检测的效率下降。

实用新型内容

本申请实施例提供一种集成电路薄型物料缺陷检测机，以解决当前缺陷检测装置检测效率较低的问题。

一种集成电路薄型物料缺陷检测机，包括：

上料装置，其用于运输物料；

缺陷检测装置，其设置在所述上料装置的运输路线上，用于对物料进行缺陷检测；

缓存装置，其设置在所述缺陷检测装置旁，用于抓取并运输已进行缺陷检测物料，所述缓存装置包括缓存抓手与缓存运输装置，所述缓存抓手设置在所述缺陷检测装置旁，且所述缓存抓手用于安装在基座上端；所述缓存运输装置设置在所述缓存抓手旁，且所述缓存运输装置用于直线往返移动；

下料装置，其设置在所述缓存装置旁，用于对所述缓存装置运输的物料进行分类放置。

一些实施例中，所述缓存运输装置包括：

缓存轨道；

缓存平台，其滑动连接在所述缓存轨道上；

缓存驱动装置，用于驱动所述缓存平台直线往返移动。

一些实施例中，所述上料装置包括：

上料料仓，用于储存物料；

第一抓取装置，其安装在所述上料料仓周围；

第一运输装置，其安装在所述第一抓取装置旁，用于直线往返移动。

一些实施例中，所述第一运输装置包括：

滑轨；

载物台，其滑动连接在所述滑轨上；

运输驱动装置，用于驱动所述载物台直线往返移动。

一些实施例中，所述第一抓取装置为四轴机械手，所述四轴机械手用于安装在基座上端面。

一些实施例中，所述缺陷检测装置包括：

安装支架，其用于安装在基座上端；

正面检测相机，其安装在所述安装支架上；

反面检测相机，其安装在所述安装支架上，且其位于所述正面检测相机的下方，所述上料装置的运输路线位于所述正面检测相机与所述反面检测相机之间。

一些实施例中，所述下料装置包括：

下料料仓，其用于分类储存已进行缺陷检测物料；

第二抓取装置，其安装在所述下料料仓周围。

一些实施例中，所述第二抓取装置为四轴机械手。

一些实施例中，所述集成电路薄型物料缺陷检测机还包括：

上料隔纸仓，其设置在所述上料装置周围，用于储存对相邻的未进行缺陷检测物料进行间隔的第一隔纸张；

下料隔纸仓，其设置在所述下料装置周围，用于储存对相邻的已进行缺陷检测物料进行间隔的第二隔纸张。

本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：本申请能够自动化的对物料进行缺陷检测，提高产品出货前的质量管控；此外，本申请设有缓存装置，所述缓存装置能够及时抓取并暂时存放已进行缺陷检测物料，缩短已进行缺陷检测物料待在所述缺陷检测装置处的时间，提高缺陷检测装置的效率，提高产量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为本申请实施例提供的集成电路薄型物料缺陷检测机结构示意图；

图2为本申请实施例提供的上料装置结构示意图；

图3为本申请实施例提供的缺陷检测装置结构示意图；

图4为本申请实施例提供的缓存装置结构示意图。

图中：

1、上料装置；110、上料料仓；120、第一抓取装置；130、第一运输装置；131、滑轨；132、载物台；133、运输驱动装置；

2、缺陷检测装置；210、安装支架；220、正面检测相机；230、反面检测相机；

3、缓存装置；310、缓存抓手；320、缓存运输装置；321、缓存轨道；322、缓存平台；323、缓存驱动装置；

4、下料装置；410、下料料仓；420、第二抓取装置；

5、上料隔纸仓；

6、下料隔纸仓；

7、基座。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

请参考图1、图2、图3和图4，本申请实施例提供了一种集成电路薄型物料缺陷检测机，包括上料装置1，缺陷检测装置2，缓存装置3，下料装置4。所述上料装置1、所述缺陷检测装置2、所述缓存装置3和所述下料装置4均设置在基座7的上端面。所述上料装置1用于储存、抓取并运输物料，所述缺陷检测装置2用于对物料进行缺陷检测，所述缓存装置3用于抓取及运输已进行缺陷检测物料，其能够缩短已进行缺陷检测物料在所述缺陷检测装置2停留的时间，所述下料装置4用于抓取、转移由所述缓存装置3运输的已进行缺陷检测物料以及根据所述缺陷检测装置2的检测结果对已进行缺陷检测物料进行分类放置。

如图1和图2所示，一些实施例中，所述上料装置1包括上料料仓110、第一抓取装置120、第一运输装置130。

本实施例中，所述上料料仓110的数量为两个，用于储存物料。所述第一抓取装置120设置在所述上料料仓110周围，以及所述第一抓取装置120安装在所述基座7的上端面。优选的，所述第一抓取装置120螺接于所述基座7上端。螺接固定方式较为简单，并且容易拆卸，便于所述第一抓取装置120的安装。一些实施例中，所述第一抓取装置120为四轴机械手，所述四轴机械手用于安装在基座7上端面。四轴机械手为常见的机械装置，在此不做赘述。通过设置所述第一抓取装置120能够缩短物料运输距离，更高效的取放料，此外，也能够取放对应上料料仓的物料，更加灵活。

所述第一运输装置130安装在所述第一抓取装置120旁，能够直线往返移动。所述第一运输装置130用于接取所述第一抓取装置120抓取的物料，以及对接取的物料进行运输。一些实施例中，所述第一运输装置130包括滑轨131、载物台132、运输驱动装置133。所述载物台132滑动连接在所述滑轨131上。所述运输驱动装置133用于驱动所述载物台132直线往返移动。一些实施例中，所述滑轨131包括滑杆与丝杆，所述滑杆穿过所述载物台132，所述丝杆螺接于所述载物台132。所述丝杆一端与转动电机的输出端连接，所述转动电机的输出端转动能够带动所述丝杆转动，因为所述丝杆与所述载物台132螺接，当所述丝杆转动时，所述载物台132在螺纹传动的作用下直线移动。所述滑杆主要起导向作用。

如图1和图3所示，所述缺陷检测装置2位于所述上料装置1的运输路线上，这样当载物台132承载着物料运输时，所述缺陷检测装置2能够对物料进行缺陷检测。一些实施例中，所述缺陷检测装置2包括安装支架210、正面检测相机220、反面检测相机230。所述安装支架210螺接在基座7上端。所述正面检测相机220通过夹持器安装在所述安装支架210上。所述反面检测相机230通过夹持器安装在所述安装支架210上，且所述反面检测相机230位于所述正面检测相机220的下方。所述上料装置1的运输路线位于所述正面检测相机220与所述反面检测相机230之间。所述正面检测相机220用于检测物料正面缺陷，所述反面检测相机230用于检测物料反面的缺陷。因为所述物料为集成电路薄型物料，故只用检测正反两面缺陷即可。

如图1和图4所示，一些实施例中，所述缓存装置3包括缓存抓手310、缓存运输装置320，所述缓存抓手310为四轴机械手。

所述缓存抓手310设置在所述缺陷检测装置2旁，且所述所述缓存抓手310用于安装在基座7上端。所述缓存抓手310用于抓取已进行缺陷检测物料，并将已进行缺陷检测物料转移至所述缓存运输装置320上，已进行缺陷检测物料暂时存放在所述缓存运输装置320上，并由所述缓存装置3进行运输。缓存抓手310只需执行抓取并转移已进行缺陷检测的物料，并不需要对已进行缺陷检测物料进行分类放置以及其他操作，故花费时间比所述下料装置小，能与所述缺陷检测装置2配合使用，提高所述缺陷检测装置2的工作效率。

所述缓存运输装置320设置在所述缓存抓手310旁，且所述缓存运输装置320用于直线往返移动。一些实施例中，所述缓存运输装置320包括缓存轨道321、缓存平台322、缓存驱动装置323。所述缓存平台322滑动连接在所述缓存轨道321上。缓存驱动装置323用于驱动所述缓存平台322直线往返移动。一些实施例中，所述缓存轨道321包括滑杆与丝杆，所述滑杆穿过所述缓存平台322，所述丝杆螺接于所述缓存平台322。所述丝杆一端与转动电机的输出端连接，所述转动电机的输出端转动能够带动所述丝杆转动，因为所述丝杆与所述缓存平台322螺接，当所述丝杆转动时，所述缓存平台322在螺纹传动的作用下直线移动。所述滑杆主要起导向作用。

如图1所示，所述下料装置4设置在所述缓存装置3旁。一些实施例中，所述下料装置4包括下料料仓410、第二抓取装置420。本实施例的所述下料料仓410的数量为四个，所述下料料仓410用于分类储存已进行缺陷检测物料。所述第二抓取装置420安装在所述下料料仓410周围。一些实施例中，所述第二抓取装置420为四轴机械手。通过设置所述第二抓取装置420能够缩短物料运输距离，更高效的取放料，此外，也能放置对应下料料仓的物料，更加灵活。

一些实施例中，所述集成电路薄型物料缺陷检测机还包括上料隔纸仓5、下料隔纸仓6。

所述上料隔纸仓5设置在所述上料装置1周围，用于储存对相邻的未进行缺陷检测物料进行间隔的第一隔纸张。所述上料料仓110内储存着物料，相邻物料之间设有第一隔纸张。所述第一抓取装置120抓取物料之后，所述第一抓取装置120会对第一隔纸张进行抓取，将所述第一隔纸张放置在所述第一上料隔纸仓5中。

所述下料隔纸仓6设置在所述下料装置4周围，用于储存对相邻的已进行缺陷检测物料进行间隔的第二隔纸张。当所述第二抓取装置420将已进行缺陷检测物料抓取分类放置在所述下料料仓410内后，所述第二抓取装置420会在所述下料料仓410内抓取第二隔纸张，之后将所述第二隔纸张放置在所述下料料仓410中用于隔绝物料。之后所述第二抓取装置420才会再次抓取第二个已进行缺陷检测物料。

本申请设备布局能够缩短整台机器设备的循环时间，此外还能够实现检测过程全自动，减少人为干预造成物料不良。

工作流程：

将待检测物料放入上料料仓110中，将第二隔纸张放入下料料仓410中。设备运行后，所述第一抓取装置120从所述下料料仓410中抓起物料放在所述载物台132上。然后所述第一抓取装置120将上料料仓110中物料上方的第一隔纸张放入所述上料隔纸仓5中。所述载物台132承载着物料沿着直线方向匀速运动，之后通过所述正面检测相机220与所述反面检测相机230后到达所述缓存平台322上面。所述缓存抓手310将已进行缺陷检测物料取起后，所述载物台132直线移动退回原位置，所述缓存抓手310将已进行缺陷检测物料放在所述缓存平台322上。

所述缓存平台322沿直线方向运动到所述第二抓取装置420的下方，所述第二抓取装置420取起已进行缺陷检测物料，所述缓存平台322退回到所述缓存抓手310下方，所述第二抓取装置420根据所述缺陷检测装置2反馈的检测结果，将已进行缺陷检测的物料分类放置在下料料仓410内。

之后，所述第二抓取装置420会从所述下料隔纸仓6中取出第二隔纸张放入对应下料料仓410内，实现物料隔离。以此循环实现物料检测后分类。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在本申请中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，包括：上料装置（1），其用于运输物料；

缺陷检测装置（2），其设置在所述上料装置（1）的运输路线上，用于对物料进行缺陷检测；

缓存装置（3），其设置在所述缺陷检测装置（2）旁，用于抓取并运输已进行缺陷检测物料，所述缓存装置（3）包括缓存抓手（310）与缓存运输装置（320），所述缓存抓手（310）设置在所述缺陷检测装置（2）旁，且所述缓存抓手（310）用于安装在基座（7）上端；所述缓存运输装置（320）设置在所述缓存抓手（310）旁，且所述缓存运输装置（320）用于直线往返移动；

下料装置（4），其设置在所述缓存装置（3）旁，用于对所述缓存装置（3）运输的物料进行分类放置。

2.如权利要求1所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述缓存运输装置（320）包括：

缓存轨道（321）；

缓存平台（322），其滑动连接在所述缓存轨道（321）上；

缓存驱动装置（323），用于驱动所述缓存平台（322）直线往返移动。

3.如权利要求1所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述上料装置（1）包括：

上料料仓（110），用于储存物料；

第一抓取装置（120），其安装在所述上料料仓（110）周围；

第一运输装置（130），其安装在所述第一抓取装置（120）旁，用于直线往返移动。

4.如权利要求3所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述第一运输装置（130）包括：

滑轨（131）；

载物台（132），其滑动连接在所述滑轨（131）上；

运输驱动装置（133），用于驱动所述载物台（132）直线往返移动。

5.如权利要求3所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述第一抓取装置（120）为四轴机械手，所述四轴机械手用于安装在基座（7）上端面。

6.如权利要求1所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述缺陷检测装置（2）包括：

安装支架（210），其用于安装在基座（7）上端；

正面检测相机（220），其安装在所述安装支架（210）上；

反面检测相机（230），其安装在所述安装支架（210）上，且其位于所述正面检测相机（220）的下方，所述上料装置（1）的运输路线位于所述正面检测相机（220）与所述反面检测相机（230）之间。

7.如权利要求1所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述下料装置（4）包括：

下料料仓（410），其用于分类储存已进行缺陷检测物料；

第二抓取装置（420），其安装在所述下料料仓（410）周围。

8.如权利要求7所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述第二抓取装置（420）为四轴机械手。

9.如权利要求1所述的集成电路薄型物料缺陷检测机，其特征在于，所述集成电路薄型物料缺陷检测机还包括：

上料隔纸仓（5），其设置在所述上料装置（1）周围，用于储存对相邻的未进行缺陷检测物料进行间隔的第一隔纸张；

下料隔纸仓（6），其设置在所述下料装置（4）周围，用于储存对相邻的已进行缺陷检测物料进行间隔的第二隔纸张。

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