CN215877791U - 一种可自动配比例混合的液相装置 - Google Patents

一种可自动配比例混合的液相装置 Download PDF

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周传静
程志
尹丽丽
郑红
刘艳明
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Abstract

本实用新型公开了一种可自动配比例混合的液相装置,包括混合罐,所述混合罐的两端均连接有配液管,且配液管的端部连接有配比组件,所述配比组件另一端通过管道连接有吸液泵和耐腐蚀管道,且耐腐蚀管道的端部连接在吸液泵的输入端上,所述配比组件的一侧外壁连接有清洗管,且配比组建的底端外壁另一侧设有清洗阀。本实用新型利用两侧的吸液泵配合上配比组件,可准确的吸取用于液相混合的溶剂,可精准的汇入至液相混合配比罐体中,减少人工配比的过程,省时省力,同时提高精度。

Description

一种可自动配比例混合的液相装置
技术领域
本实用新型涉及液相混合技术领域,尤其涉及一种可自动配比例混合的液相装置。
背景技术
液相:通常任何气体均能无限混合,所以系统内无论含有多少种气体都是一个相,称为气相。均匀的溶液也是一个相,称为液相。用机械的或流体动力的方法,使两种或多种物料相互分散而达到一定均匀程度的单元操作。
在液相配比混合中,需要人工进行抽取定量的检测液和检测试剂,通过滴管或者试剂瓶测量后比对至同一容器中混合,如果有多种试剂,可能会造成试剂添加量紊乱,同时添加顺序等影响混合后的液相系统效果,大量的液相混合检测液体,通过人工配比强度大,容易出错,不利于液相混合后的检测和实验。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种可自动配比例混合的液相装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种可自动配比例混合的液相装置,包括混合罐,所述混合罐的两端均连接有配液管,且配液管的端部连接有配比组件,所述配比组件另一端通过管道连接有吸液泵和耐腐蚀管道,且耐腐蚀管道的端部连接在吸液泵的输入端上,所述配比组件的一侧外壁连接有清洗管,且配比组建的底端外壁另一侧设有清洗阀,所述混合罐的顶端内边卡接有密封盖,且密封盖的顶部外壁等距离环形分布有至少四个气体收集管,所述混合罐的底端等距离环形分布有与气体收集管等量的排液电磁阀,所述混合罐的底端外壁中部插接有分隔板连接轴,且分隔板连接轴的内壁等距离环形分布连接有至少两个分隔板,所述分隔板的高度与配比组件位于同一个水平面上。
作为本实用新型进一步的方案,所述配比组件的内壁中部设有流量计,且配比组件的侧边内壁固定连接有循环泵。
作为本实用新型进一步的方案,所述循环泵的端部和清洗管、清洗阀之间相连接。
作为本实用新型进一步的方案,所述配比组件的顶部外壁中部垂直对夹设在配液管中部,且清洗管和配液管之间呈十字连通结构。
作为本实用新型进一步的方案,所述配液管的端部和混合罐的端部连接处设有清洗控制电磁阀,且清洗控制电磁阀和循环泵之间通过电性连接。
作为本实用新型进一步的方案,所述配比组件的内壁位于清洗管和配液管的连接处垂直固定连接有同步液位计,且同步液位计在混合罐的分隔板高度上方起到液位检测作用。
作为本实用新型进一步的方案,所述分隔板连接轴的端部可连接有伺服电机,且伺服电机和吸液泵之间通过电性连接。
本实用新型的有益效果为:
1.本比例混合的液相装置中利用两侧的吸液泵配合上配比组件,可准确的吸取用于液相混合的溶剂,可精准的汇入至液相混合配比罐体中,减少人工配比的过程,省时省力,同时提高精度;
2.本比例混合的液相装置中还设有分隔板,分隔板转动可将内部罐体分为两个或者多个配比空腔,两侧的液相混合试剂注入时转动分隔板,可实现多个空腔转动,填入不同适量的试剂,实现混合试剂的梯度比对,提高整体的液相混合实验中的梯度试剂添加,后续通过底部排液电磁阀实现配比液释放,实现不同梯度混合液的混合效果;
3.本比例混合的液相装置中顶端设有气体收集管,可用于在混合过程中产生的气体等,避免内部试剂混合产生气体使罐体内部压强过大,或者产生有害气体溢出,不利于液相混合进程等。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种可自动配比例混合的液相装置的立体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种可自动配比例混合的液相装置的主视结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种可自动配比例混合的液相装置的侧视结构示意图;
图4为本实用新型提出的一种可自动配比例混合的液相装置的底部结构示意图。
图中:1、混合罐;2、排液电磁阀;3、清洗阀;4、配比组件;5、气体收集管;6、吸液泵;7、耐腐蚀管道;8、清洗管;9、同步液位计;10、分隔板连接轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-4,一种可自动配比例混合的液相装置,包括混合罐1,混合罐1的两端均连接有配液管,且配液管的端部连接有配比组件4,配比组件4另一端通过管道连接有吸液泵6和耐腐蚀管道7,且耐腐蚀管道7的端部连接在吸液泵6的输入端上,配比组件4的一侧外壁连接有清洗管8,且配比组建4的底端外壁另一侧设有清洗阀3,混合罐1的顶端内边卡接有密封盖,且密封盖的顶部外壁等距离环形分布有至少四个气体收集管5,混合罐1的底端等距离环形分布有与气体收集管5等量的排液电磁阀2,混合罐1的底端外壁中部插接有分隔板连接轴10,且分隔板连接轴10的内壁等距离环形分布连接有至少两个分隔板,分隔板的高度与配比组件4位于同一个水平面上,配比组件4的内壁中部设有流量计,且配比组件4的侧边内壁固定连接有循环泵,循环泵的端部和清洗管8、清洗阀3之间相连接,清洗管8循环清洗后利用清洗阀3释放,实现管路清洗,再进行后续的试剂注入,保证其不会在管路中混合,配比组件4的顶部外壁中部垂直对夹设在配液管中部,且清洗管8和配液管之间呈十字连通结构,配液管的端部和混合罐1的端部连接处设有清洗控制电磁阀,且清洗控制电磁阀和循环泵之间通过电性连接,配比组件4的内壁位于清洗管8和配液管的连接处垂直固定连接有同步液位计9,且同步液位计9在混合罐1的分隔板高度上方起到液位检测作用,保证液相注入量不会超过注入高度,避免管路受到混合液相的污染,分隔板连接轴10的端部可连接有伺服电机,且伺服电机和吸液泵6之间通过电性连接。电机带动分隔板转向,实现兑入试剂空腔的转动。
工作原理:1.本液相装置中,通过吸液泵6和耐腐蚀管道7吸取需要配比的试剂,然后通过配比组件4对抽取的试剂进行计量,混合将试剂注入至混合罐1中混合,分隔板将罐体内部的试剂按照等量或者梯度分隔开;
2.然后从另一侧注入另一种试剂,按照梯度或者等量注入,如果需要第三种或者更多种试剂输入,则首先清洗管道后再注入试剂;
3.清洗过程通过清洗管8吸取清洗液,封堵电磁阀,清洗管8循环清洗后利用清洗阀3释放,实现管路清洗,再进行后续的试剂注入,保证其不会在管路中混合,保证了液相的配比,无需人工操作,试剂量和投入顺序均通过组件控制,精度高,误差小。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”、“第一”、“第二”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本专利的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种可自动配比例混合的液相装置,包括混合罐(1),其特征在于,所述混合罐(1)的两端均连接有配液管,且配液管的端部连接有配比组件(4),所述配比组件(4)另一端通过管道连接有吸液泵(6)和耐腐蚀管道(7),且耐腐蚀管道(7)的端部连接在吸液泵(6)的输入端上,所述配比组件(4)的一侧外壁连接有清洗管(8),且配比组建(4)的底端外壁另一侧设有清洗阀(3),所述混合罐(1)的顶端内边卡接有密封盖,且密封盖的顶部外壁等距离环形分布有至少四个气体收集管(5),所述混合罐(1)的底端等距离环形分布有与气体收集管(5)等量的排液电磁阀(2),所述混合罐(1)的底端外壁中部插接有分隔板连接轴(10),且分隔板连接轴(10)的内壁等距离环形分布连接有至少两个分隔板,所述分隔板的高度与配比组件(4)位于同一个水平面上。
2.根据权利要求1所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述配比组件(4)的内壁中部设有流量计,且配比组件(4)的侧边内壁固定连接有循环泵。
3.根据权利要求2所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述循环泵的端部和清洗管(8)、清洗阀(3)之间相连接。
4.根据权利要求3所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述配比组件(4)的顶部外壁中部垂直对夹设在配液管中部,且清洗管(8)和配液管之间呈十字连通结构。
5.根据权利要求1所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述配液管的端部和混合罐(1)的端部连接处设有清洗控制电磁阀,且清洗控制电磁阀和循环泵之间通过电性连接。
6.根据权利要求4所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述配比组件(4)的内壁位于清洗管(8)和配液管的连接处垂直固定连接有同步液位计(9),且同步液位计(9)在混合罐(1)的分隔板高度上方起到液位检测作用。
7.根据权利要求1所述的一种可自动配比例混合的液相装置,其特征在于,所述分隔板连接轴(10)的端部可连接有伺服电机,且伺服电机和吸液泵(6)之间通过电性连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN116230596A (zh) * 2023-05-09 2023-06-06 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种半导体晶圆在线配液刻蚀机

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