CN215867499U - 一种掩模板曝光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种掩模板曝光装置，包括底座，所述底座顶端的两侧分别竖向固定有固定架，所述底座顶端的两侧分别设置有安装座，且安装座间横向设置有掩膜板本体。该掩模板曝光装置通过掩膜板本体在使用的过程中可以通过在底座的一侧转动摇柄，摇柄转动带动连接横杆外部两侧的主动锥齿轮同时转动，主动锥齿轮转动带动与之啮合连接的从动锥齿轮进行转动，从动锥齿轮转动带动螺杆转动，螺套与螺杆之间螺纹连接，两侧的螺杆同时转动带动安装座之间的掩膜板本体进行上下移动，对与基台之间的高度位置进行灵活调节，同时安装座的一侧固定有限位块可以在限位槽中定向滑动限位，解决了不便于对掩模板的使用高度进行灵活调节的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及掩模板加工技术领域，具体为一种掩模板曝光装置。
背景技术
液晶显示器内部的阵列基板在生产制作的过程中需要使用到光刻工艺，需要将基板上涂覆光刻胶后，再通过利用掩膜板将光刻胶层进行曝光等的处理后得到图案化的膜层，现有的一些掩模板曝光装置在使用时仍存在一些不足，例如，没有一种便于对掩模板的使用高度进行灵活调节的措施，同时没有一种便于对掩模板进行快速拆卸替换的措施，而且也没有一种便于对涂有光刻胶的基板进行辅助固定的措施。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种掩模板曝光装置，以解决上述背景技术中提出不便于对掩模板的使用高度进行灵活调节的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种掩模板曝光装置，包括底座，所述底座顶端的两侧分别竖向固定有固定架，所述底座顶端的两侧分别设置有安装座，且安装座间横向设置有掩膜板本体，所述掩膜板本体的两侧分别固定有滑块，所述底座的底端固定有基台，所述基台顶端的两侧分别设置有抵板，所述安装座的内部分别贯穿设置有螺套，所述底座顶端的两侧分别竖向活动连接有螺杆。
优选的，所述固定架的内部设置有限位槽，所述安装座的另一侧固定有限位块，所述螺杆的底端分别贯穿底座的内部并固定有从动锥齿轮，所述底座内部的底端横向活动连接有连接横杆，且连接横杆的一侧贯穿底座外部的一侧并固定有摇柄，所述连接横杆外部的两侧分别固定有主动锥齿轮。
优选的，所述螺杆的外部设置有外螺纹，所述螺套的内部设置有与外螺纹相配合的内螺纹。
优选的，所述安装座一侧的内部分别设置有内槽，所述滑块的顶端固定有拉柄。
优选的，所述滑块的外部尺寸小于内槽的内部尺寸。
优选的，所述基台顶端两侧的内部分别横向设置有滑槽，所述滑槽内部的一侧固定有压缩弹簧，所述抵板的底端固定有底块，所述底块嵌在滑槽的内部，所述压缩弹簧的一侧与底块的一侧固定连接，所述抵板关于基台的垂直中心线呈对称设置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该掩模板曝光装置不仅实现了便于对掩模板的使用高度进行灵活调节，实现了便于对掩模板进行快速拆卸替换，而且实现了便于对涂有光刻胶的基板进行辅助固定；
(1)通过设置有限位槽、限位块、螺套、摇柄、螺杆、从动锥齿轮、连接横杆和主动锥齿轮，掩膜板本体在使用的过程中可以通过在底座的一侧转动摇柄，摇柄转动带动连接横杆外部两侧的主动锥齿轮同时转动，主动锥齿轮转动带动与之啮合连接的从动锥齿轮进行转动，从动锥齿轮转动带动螺杆转动，螺套与螺杆之间螺纹连接，两侧的螺杆同时转动带动安装座之间的掩膜板本体进行上下移动，对与基台之间的高度位置进行灵活调节，同时安装座的一侧固定有限位块可以在限位槽中定向滑动限位；
(2)通过设置有滑块、内槽和拉柄，在利用掩膜板本体完成一次曝光后，进行下一次曝光时，需要更换对应的掩膜板本体，可以通过将掩膜板本体利用两侧滑块顶端的拉柄，将掩膜板本体利用滑块从安装座一侧内部的内槽中向上拉出将掩膜板本体进行快速拆卸替换；
(3)通过设置有抵板、底块、压缩弹簧和滑槽，涂有光刻胶的基板在进行曝光时，可以先将基板的一侧放置于基台顶端抵板的一侧后，在通过向右拉动另一侧抵板，使抵板底端固定的底块在滑槽的内部滑动，接着将基板完全放入至基台的顶端，并将另一侧的抵板松开，使底块一侧固定的压缩弹簧拉动抵板来对基板的两侧夹住进行辅助固定。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型的图1中A处局部剖面放大结构示意图；
图3为本实用新型的内槽俯视局部剖面放大结构示意图；
图4为本实用新型的抵板俯视局部剖面放大结构示意图。
图中：1、底座；2、固定架；3、限位槽；4、限位块；5、安装座；6、掩膜板本体；7、滑块；8、螺套；9、抵板；10、底块；11、摇柄；12、压缩弹簧；13、基台；14、滑槽；15、螺杆；16、从动锥齿轮；17、连接横杆；18、主动锥齿轮；19、内槽；20、拉柄。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1：请参阅图1-4，一种掩模板曝光装置，包括底座1，底座1顶端的两侧分别竖向固定有固定架2，底座1顶端的两侧分别设置有安装座5，且安装座5间横向设置有掩膜板本体6，掩膜板本体6的两侧分别固定有滑块7，底座1的底端固定有基台13，基台13顶端的两侧分别设置有抵板9，安装座5的内部分别贯穿设置有螺套8，底座1顶端的两侧分别竖向活动连接有螺杆15；
固定架2的内部设置有限位槽3，安装座5的另一侧固定有限位块4，螺杆15的底端分别贯穿底座1的内部并固定有从动锥齿轮16，底座1内部的底端横向活动连接有连接横杆17，且连接横杆17的一侧贯穿底座1外部的一侧并固定有摇柄11，连接横杆17外部的两侧分别固定有主动锥齿轮18，螺杆15的外部设置有外螺纹，螺套8的内部设置有与外螺纹相配合的内螺纹；
具体地，如图1和图2所示，掩膜板本体6在使用的过程中可以通过在底座1的一侧转动摇柄11，摇柄11转动带动连接横杆17外部两侧的主动锥齿轮18同时转动，主动锥齿轮18转动带动与之啮合连接的从动锥齿轮16进行转动，从动锥齿轮16转动带动螺杆15转动，螺套8与螺杆15之间螺纹连接，两侧的螺杆15同时转动带动安装座5之间的掩膜板本体6进行上下移动，对与基台13之间的高度位置进行灵活调节，同时安装座5的一侧固定有限位块4可以在限位槽3中定向滑动限位。
实施例2：安装座5一侧的内部分别设置有内槽19，滑块7的顶端固定有拉柄20，滑块7的外部尺寸小于内槽19的内部尺寸；
具体地，如图1和图3所示，在利用掩膜板本体6完成一次曝光后，进行下一次曝光时，需要更换对应的掩膜板本体6，可以通过将掩膜板本体6利用两侧滑块7顶端的拉柄20，将掩膜板本体6利用滑块7从安装座5一侧内部的内槽19中向上拉出将掩膜板本体6进行快速拆卸替换。
实施例3：基台13顶端两侧的内部分别横向设置有滑槽14，滑槽14内部的一侧固定有压缩弹簧12，抵板9的底端固定有底块10，底块10嵌在滑槽14的内部，压缩弹簧12的一侧与底块10的一侧固定连接，抵板9关于基台13的垂直中心线呈对称设置；
具体地，如图1和图4所示，涂有光刻胶的基板在进行曝光时，可以先将基板的一侧放置于基台13顶端抵板9的一侧后，在通过向右拉动另一侧抵板9，使抵板9底端固定的底块10在滑槽14的内部滑动，接着将基板完全放入至基台13的顶端，并将另一侧的抵板9松开，使底块10一侧固定的压缩弹簧12拉动抵板9来对基板的两侧夹住进行辅助固定。
工作原理：本实用新型在使用时，外部曝光光源发出的曝光光线垂直照射在掩膜板本体6的上表面，照射在掩膜板本体6上表面透光区域的曝光光线，穿过掩膜板本体6并对放置在底座1上的涂有光刻胶的基板进行曝光，得到图案化的膜层，掩膜板本体6在使用的过程中可以通过在底座1的一侧转动摇柄11，摇柄11转动带动连接横杆17外部两侧的主动锥齿轮18同时转动，主动锥齿轮18转动带动与之啮合连接的从动锥齿轮16进行转动，从动锥齿轮16转动带动螺杆15转动，螺套8与螺杆15之间螺纹连接，两侧的螺杆15同时转动带动安装座5之间的掩膜板本体6进行上下移动，对与基台13之间的高度位置进行灵活调节，同时安装座5的一侧固定有限位块4可以在限位槽3中定向滑动限位，涂有光刻胶的基板在进行曝光时，可以先将基板的一侧放置于基台13顶端抵板9的一侧后，在通过向右拉动另一侧抵板9，使抵板9底端固定的底块10在滑槽14的内部滑动，接着将基板完全放入至基台13的顶端，并将另一侧的抵板9松开，使底块10一侧固定的压缩弹簧12拉动抵板9来对基板的两侧夹住进行辅助固定，在利用掩膜板本体6完成一次曝光后，进行下一次曝光时，需要更换对应的掩膜板本体6，可以通过将掩膜板本体6利用两侧滑块7顶端的拉柄20，将掩膜板本体6利用滑块7从安装座5一侧内部的内槽19中向上拉出将掩膜板本体6进行快速拆卸替换。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种掩模板曝光装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶端的两侧分别竖向固定有固定架(2)，所述底座(1)顶端的两侧分别设置有安装座(5)，且安装座(5)间横向设置有掩膜板本体(6)，所述掩膜板本体(6)的两侧分别固定有滑块(7)，所述底座(1)的底端固定有基台(13)，所述基台(13)顶端的两侧分别设置有抵板(9)，所述安装座(5)的内部分别贯穿设置有螺套(8)，所述底座(1)顶端的两侧分别竖向活动连接有螺杆(15)。
2.根据权利要求1所述的一种掩模板曝光装置，其特征在于：所述固定架(2)的内部设置有限位槽(3)，所述安装座(5)的另一侧固定有限位块(4)，所述螺杆(15)的底端分别贯穿底座(1)的内部并固定有从动锥齿轮(16)，所述底座(1)内部的底端横向活动连接有连接横杆(17)，且连接横杆(17)的一侧贯穿底座(1)外部的一侧并固定有摇柄(11)，所述连接横杆(17)外部的两侧分别固定有主动锥齿轮(18)。
3.根据权利要求1所述的一种掩模板曝光装置，其特征在于：所述螺杆(15)的外部设置有外螺纹，所述螺套(8)的内部设置有与外螺纹相配合的内螺纹。
4.根据权利要求1所述的一种掩模板曝光装置，其特征在于：所述安装座(5)一侧的内部分别设置有内槽(19)，所述滑块(7)的顶端固定有拉柄(20)。
5.根据权利要求1所述的一种掩模板曝光装置，其特征在于：所述滑块(7)的外部尺寸小于内槽(19)的内部尺寸。
6.根据权利要求1所述的一种掩模板曝光装置，其特征在于：所述基台(13)顶端两侧的内部分别横向设置有滑槽(14)，所述滑槽(14)内部的一侧固定有压缩弹簧(12)，所述抵板(9)的底端固定有底块(10)，所述底块(10)嵌在滑槽(14)的内部，所述压缩弹簧(12)的一侧与底块(10)的一侧固定连接，所述抵板(9)关于基台(13)的垂直中心线呈对称设置。
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