CN215866991U - 一种晶圆检测设备移动平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体，平台本体下端面开设凹槽，凹槽内安装滑轮组件，平台本体下端面靠近凹槽处还固定安装支撑腿，平台本体上端面安装固定支撑组件，本实用新型结构设计新颖，使用方便，便于对晶圆检测设备的移动、转运，移动过程中稳定性好，减少了晶圆检测设备受到的震动。

Description

一种晶圆检测设备移动平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，具体为一种晶圆检测设备移动平台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

晶圆检测设备在安装过程中需要进行移动，现有的移动平台结构单一，稳定性差，因此，有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测设备移动平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体，所述平台本体下端面开设凹槽，所述凹槽内安装滑轮组件，所述平台本体下端面靠近凹槽处还固定安装支撑腿，所述平台本体上端面安装固定支撑组件。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测设备移动平台，其中，所述滑轮组件包括升降液压缸、万向轮安装架、万向轮本体和减震机构，所述升降液压缸尾端安装于凹槽顶壁，所述升降液压缸伸缩端连接万向轮安装架，所述万向轮本体安装于万向轮安装架，所述减震机构安装于凹槽顶壁和万向轮安装架之间。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测设备移动平台，其中，所述减震机构包括减震导向柱和减震弹簧体，所述减震弹簧体套设于减震导向柱外部。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测设备移动平台，其中，所述固定支撑组件包括对称设置的两组L型支撑板，所述L型支撑板与平台本体上端面滑动连接。

优选的，本申请提供的一种晶圆检测设备移动平台，其中，所述平台本体上端面还包覆减震橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，使用方便，便于对晶圆检测设备的移动、转运，移动过程中稳定性好，减少了晶圆检测设备受到的震动；当晶圆检测设备移动至指定位置后，控制升降液压缸工作，升降液压缸带动万向轮本体向上移动脱离地面，支撑腿用于支撑平台本体。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：平台本体1、凹槽2、支撑腿3、升降液压缸4、万向轮安装架5、万向轮本体6、减震导向柱7和减震弹簧体8。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、 “下”、 “内”、 “外”“前端”、“后端”、 “两端”、 “一端”、 “另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、 “第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、 “设置有”、 “连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体1，所述平台本体1下端面开设凹槽2，所述凹槽2内安装滑轮组件，所述平台本体1下端面靠近凹槽2处还固定安装支撑腿3，所述平台本体1上端面安装固定支撑组件，固定支撑组件包括对称设置的两组L型支撑板9，所述L型支撑板9与平台本体1上端面滑动连接，平台本体1上端面还包覆减震橡胶垫。

本实用新型中，滑轮组件包括升降液压缸4、万向轮安装架5、万向轮本体6和减震机构，所述升降液压缸4尾端安装于凹槽2顶壁，所述升降液压缸4伸缩端连接万向轮安装架5，所述万向轮本体6安装于万向轮安装架5，所述减震机构安装于凹槽2顶壁和万向轮安装架5之间，减震机构包括减震导向柱7和减震弹簧体8，所述减震弹簧体8套设于减震导向柱7外部。

综上所述，本实用新型结构设计新颖，使用方便，便于对晶圆检测设备的移动、转运，移动过程中稳定性好，减少了晶圆检测设备受到的震动；当晶圆检测设备移动至指定位置后，控制升降液压缸工作，升降液压缸带动万向轮本体向上移动脱离地面，支撑腿用于支撑平台本体。

需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体（1），其特征在于：所述平台本体（1）下端面开设凹槽（2），所述凹槽（2）内安装滑轮组件，所述平台本体（1）下端面靠近凹槽（2）处还固定安装支撑腿（3），所述平台本体（1）上端面安装固定支撑组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备移动平台，其特征在于：所述滑轮组件包括升降液压缸（4）、万向轮安装架（5）、万向轮本体（6）和减震机构，所述升降液压缸（4）尾端安装于凹槽（2）顶壁，所述升降液压缸（4）伸缩端连接万向轮安装架（5），所述万向轮本体（6）安装于万向轮安装架（5），所述减震机构安装于凹槽（2）顶壁和万向轮安装架（5）之间。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备移动平台，其特征在于：所述减震机构包括减震导向柱（7）和减震弹簧体（8），所述减震弹簧体（8）套设于减震导向柱（7）外部。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备移动平台，其特征在于：所述固定支撑组件包括对称设置的两组L型支撑板（9），所述L型支撑板（9）与平台本体（1）上端面滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备移动平台，其特征在于：所述平台本体（1）上端面还包覆减震橡胶垫。

Images