CN215860792U - 干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件和干式涡旋真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件和干式涡旋真空泵，属于泵技术领域。它解决了现有的涡旋真空泵中涡旋抽气组件密封性不足的问题。本干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件包括动涡旋盘和静涡旋盘，动螺旋片的端面上开设有动密封槽，动密封槽沿动螺旋片的螺旋线方向设置，动密封槽内嵌设有动密封条，动密封条与静螺旋槽的底面相依靠；和/或静螺旋片的端面上开设有静密封槽，静密封槽沿静螺旋片的螺旋线方向设置，静密封槽内嵌设有静密封条，静密封条与动螺旋槽的底面相依靠。动密封条和/或静密封条实现提高动螺旋片与静螺旋片之间密封性；降低气体反流量，实现提高干式涡旋真空泵的极限真空度。

Description

干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件和干式涡旋真空泵

技术领域

本实用新型属于泵技术领域，涉及一种真空泵，特别是一种干式涡旋真空泵。

本实用新型属于泵技术领域，涉及一种真空泵，特别是一种干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件。

背景技术

干式涡旋真空泵主要由一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。涡旋盘是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。

关于干式涡旋真空泵的相关文献较多，如无油涡旋真空泵（申请号97109681.3），全旋涡旋干式真空泵（申请号200810139527.7）。之后申请人也提出了一种涡旋真空泵（申请号201320121796.7），该涡旋真空泵存在着一些不足之处，1、偏心主轴转动稳定性低，进而影响涡旋真空泵运行稳定性；2、真空泵运行涡旋盘付存在发热是客观存在的，进而引起动、静涡旋盘发热形变，影响抽气效率，甚至导致动、静涡旋盘抱死；3、动、静涡旋盘之间通常具有细小间隙，进而影响密封性，导致极限真空度不足；4、蒸汽容易在排气口凝结，进而影响排气效率。

发明内容

本实用新型提出了一种干式涡旋真空泵，本实用新型要解决的技术问题是如何提高干式涡旋真空泵的极限真空度。

本实用新型的要解决的技术问题可通过下列技术方案来实现：一种干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，包括动涡旋盘和静涡旋盘，动涡旋盘上具有动螺旋片和动螺旋槽，静涡旋盘上具有静螺旋片和静螺旋槽，动螺旋片嵌入静螺旋槽内，静螺旋片嵌入动螺旋槽内；其特征在于，动螺旋片的端面上开设有动密封槽，动密封槽沿动螺旋片的螺旋线方向设置，动密封槽内嵌设有动密封条，动密封条与静螺旋槽的底面相依靠；和/或静螺旋片的端面上开设有静密封槽，静密封槽沿静螺旋片的螺旋线方向设置，静密封槽内嵌设有静密封条，静密封条与动螺旋槽的底面相依靠。

与现有技术相比，干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件在动螺旋片上设置动密封条和/或在静螺旋片上设置静密封条，实现提高动螺旋片与静螺旋槽的底面之间密封性和/或静螺旋片与动螺旋槽的底面之间密封性；降低气体反流量，实现提高干式涡旋真空泵的极限真空度。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述动密封条和静密封条采用聚四氟乙烯或石墨制成。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述涡旋抽气组件还包括止回阀，静涡旋盘内开设有与静螺旋槽内端相连通的排气通道；止回阀安装在排气通道内。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述涡旋抽气组件还包括气镇阀；静涡旋盘内还开设有与静螺旋槽内端相连通的气镇通道，气镇阀安装在气镇通道内。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述气镇阀包括与静涡旋盘固定连接的阀芯座，阀芯座内具有控制通道；气镇阀还包括自动阀芯组件和手动阀芯组件，当静螺旋槽内端气压低于外界气压时自动阀芯组件能使控制通道与气镇通道自动的第一阀芯组件；手动阀芯组件能使控制通道与外界大气处于相连通或截止状态。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述静涡旋盘上罩设有导流罩，导流罩与静涡旋盘固定连接，导流罩与静涡旋盘之间形成过风通道。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述导流罩上安装有风扇，风扇运行时气流从过风通道的一端流向另一端。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述静涡旋盘的表面具有多条散热片部。

一种干式涡旋真空泵，包括主泵体和偏心主轴，偏心主轴与主泵体之间转动连接，其特征在于，干式涡旋真空泵还包括上述涡旋抽气组件，静涡旋盘与主泵体的一端面之间垫设有多个垫片，多个垫片沿偏心主轴的轴心线周向分布，偏心主轴与动涡旋盘相连接。

在上述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件中，所述垫片上开设有第一预装孔，主泵体的一端面开设有第二预装孔，橡胶件穿过第一预装孔且嵌入第二预装孔内。

附图说明

图1是干式涡旋真空泵的立体结构示意图。

图2是干式涡旋真空泵的左视结构示意图。

图3是图2中A-A的剖视结构示意图。

图4是图3中B-B的剖视结构示意图。

图5是图4中C-C的剖视结构示意图。

图6是干式涡旋真空泵中端盖区域的分解结构示意图。

图7是泵体组件与涡旋抽气组件之间垫片区域剖视结构示意图。

图8是泵体组件与动涡旋盘的立体结构示意图。

图9是静涡旋盘与风扇组件的立体结构示意图。

图中，1、泵体组件；1a、主泵体；1a1、进气腔；1a2、电机腔；1a3、进气孔；1a4、轴承安装部；1b、端盖；1c、轴承座；1c1、外圈部；1c2、内圈部；1c3、辐条部；2、涡旋抽气组件；2a、动涡旋盘；2a1、动螺旋片；2a2、动螺旋槽；2b、静涡旋盘；2b1、静螺旋片；2b2、静螺旋槽；2c、止回阀；2d、气镇阀；2d1、阀芯座；2d2、控制通道；2d3、第一阀芯；2d4、第一弹簧；2d5、阀杆；2d6、第二阀芯；2d7、第二弹簧；2d8、手柄；2e、动密封条；2f、静密封条；2g、排气通道；2h、气镇通道；2i、散热片部；3、偏心主轴；4、电机转子；5、电机定子；6、风扇组件；6a、导流罩；6b、风扇；6c、过风通道；7、第一轴承；8、第二轴承；9、弹性件；10、垫片；11、平衡块；12、波纹管；13、限位螺栓；14、橡胶件。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1至9所示，一种干式涡旋真空泵包括泵体组件1、涡旋抽气组件2、风扇组件6和偏心主轴3。

涡旋抽气组件2包括动涡旋盘2a、静涡旋盘2b、止回阀2c和气镇阀2d。动涡旋盘2a上具有动螺旋片2a1和动螺旋槽2a2，静涡旋盘2b上具有静螺旋片2b1和静螺旋槽2b2，动螺旋片2a1嵌入静螺旋槽2b2内，静螺旋片2b1嵌入动螺旋槽2a2内。动螺旋片2a1的端面上开设有动密封槽，动密封槽沿动螺旋片2a1的螺旋线方向设置，动密封槽内嵌设有动密封条2e；动密封条2e与静螺旋槽2b2的底面相依靠。静螺旋片2b1的端面上开设有静密封槽，静密封槽沿静螺旋片2b1的螺旋线方向设置，静密封槽内嵌设有静密封条2f；静密封条2f与动螺旋槽2a2的底面相依靠。该结构不仅显著地提高动涡旋盘2a、静涡旋盘2b之间密封性，实现提高干式涡旋真空泵的极限真空度；还避免动涡旋盘2a和静涡旋盘2b的端面磨损，以及显著降低动密封槽和静密封槽的底面磨损，即动密封条2e和静密封条2f会优先被磨损，根据磨损情况可更换动密封条2e和静密封条2f，实现提高干式涡旋真空泵运行稳定性以及使用寿命。

动密封条2e和静密封条2f采用聚四氟乙烯或石墨制成；动密封条2e和静密封条2f可采用相同材料制成，动密封条2e和静密封条2f不仅具有优良的密封性，还由于聚四氟乙烯和石墨均具有自润滑特性，还避免动涡旋盘2a和静涡旋盘2b之间摩擦力显著增加。

静涡旋盘2b内开设有与静螺旋槽2b2内端相连通的排气通道2g，止回阀2c安装在排气通道2g内。静涡旋盘2b内还开设有与静螺旋槽2b2内端相连通的气镇通道2h，气镇阀2d安装在气镇通道2h内。

气镇阀2d包括与静涡旋盘2b固定连接的阀芯座2d1，阀芯座2d1内具有控制通道2d2；气镇通道2h内设置有第一阀芯2d3和第一弹簧2d4，在第一弹簧2d4的弹力作用下第一阀芯2d3能自动抵靠在阀芯座2d1上；当第一阀芯2d3抵靠在阀芯座2d1上时控制通道2d2与气镇通道2h处于截止状态，第一阀芯2d3脱离阀芯座2d1时控制通道2d2与气镇通道2h处于连通状态。静涡旋盘2b上还穿设有阀杆2d5，阀杆2d5的内端安装有第二阀芯2d6，阀杆2d5上套设有第二弹簧2d7，第二弹簧2d7的弹力作用下第二阀芯2d6能自动抵靠在阀芯座2d1上；当第二阀芯2d6抵靠在阀芯座2d1上时控制通道2d2与外界处于截止状态；阀杆2d5的外端安装有手柄2d8，操作手柄2d8能使第二阀芯2d6脱离阀芯座2d1，此时控制通道2d2与外界处于连通状态。

泵体组件1包括主泵体1a、端盖1b和轴承座1c；主泵体1a的内腔一端区域称为进气腔1a1，另一端区域称为电机腔1a2；进气腔1a1的侧壁上开设有进气孔1a3。涡旋抽气组件2的静涡旋盘2b通过螺栓固定在主泵体1a的一端面上，动涡旋盘2a位于进气腔1a1内，动螺旋槽2a2和静螺旋槽2b2均与进气腔1a1相连接。

偏心主轴3从一端到另一端排列有偏心段、第一平衡块安装段、第一轴承安装段、第二平衡块安装段、转子安装段和第二轴承安装段；偏心段的中心线与偏心主轴3的轴心线之间具有偏心距e。

转子安装段位于电机腔1a2内，转子安装段上固定有电机转子4，电机转子4外套设有电机定子5，电机定子5与泵体组件1的主泵体1a固定连接；由此电机转子4和电机定子5均位于电机腔1a2内。

主泵体1a的进气腔1a1内具有呈管状的轴承安装部1a4；端盖1b用于封盖电机腔1a2的敞口，轴承座1c设置在主泵体1a和端盖1b之间，轴承座1c与主泵体1a固定连接。偏心主轴3的第一轴承安装段与主泵体1a的轴承安装部1a4之间以及偏心主轴3的第二轴承安装段与轴承座1c之间均转动连接，即第一轴承安装段与轴承安装部1a4之间以及第二轴承安装段与轴承座1c之间均通过第一轴承7相连接。偏心段与动涡旋盘2a之间通过第二轴承8相连接；由此偏心主轴3转动带动动涡旋盘2a平移。轴承安装部1a4不仅增大两个第一轴承7之间间距，提高偏心主轴3转动稳定性；还降低一个轴承与动涡旋盘2a之间间距，提高动涡旋盘2a平移稳定性。

第一轴承安装段与轴承安装部1a4之间转动连接结构能限制偏心主轴3向涡旋抽气组件2方向移动，轴承座1c使得偏心主轴3可向端盖1b方向窜动和形变，进而提高动涡旋盘2a与静涡旋盘2b之间间距一致性，实现提高干式涡旋真空泵运行稳定性。

轴承座1c包括与主泵体1a固定连接的外圈部1c1和与第一轴承7相连接的内圈部1c2，外圈部1c1和内圈部1c2之间通过辐条部1c3相连接，这样更有利于轴承座1c的内圈部1c2形变，保证偏心主轴3可向端盖1b方向窜动和形变。轴承座1c的内圈部1c2与端盖1b之间设有弹性件9，弹性件9为弹性垫圈；内圈部1c2与偏心主轴3之间还通过限位螺栓13相连接；弹性件9和限位螺栓13使得内圈部1c2能自动复位，进而提高偏心主轴3转动稳定性，实现提高干式涡旋真空泵运行稳定性。

偏心主轴3的第一平衡块安装段和第二平衡块安装段上均固定连接有一个平衡块11，第一平衡块安装段位于进气腔1a1内，第二平衡块安装段位于电机腔1a2内，由此一个平衡块11位于进气腔1a1内，另一个平衡块11位于电机腔1a2内，这样不仅可充分利用主泵体1a内有限空间，避免因平衡块11大小而调整主泵体1a的结构、形状和大小，同时有助于提高偏心主轴3转动稳定性。

静涡旋盘2b与主泵体1a的一端面之间垫设有多个垫片10，多个垫片10沿偏心主轴3的轴心线周向分布，通过调整垫片10的厚度可静涡旋盘2b端面与偏心主轴3的轴心线之间垂直度，实现提高静涡旋盘2b与动涡旋盘2a的吻合度，实现提高干式涡旋真空泵运行稳定性以及提高极限真空度。垫片10上开设有第一预装孔，主泵体1a的一端面开设有第二预装孔，橡胶件14穿过第一预装孔且嵌入第二预装孔内，实现预固定垫片10的位置，这样便于安装垫片10以及涡旋抽气组件2。

轴承安装部1a4外侧套设有波纹管12，波纹管12的一端与主泵体1a之间密封固定连接，波纹管12的另一端与动涡旋盘2a之间密封固定连接；波纹管12不仅支撑动涡旋盘2a，提高动涡旋盘2a平移稳定性，还进气腔1a1内外分隔，避免空气经第一轴承安装段与轴承安装部1a4之间进入进气腔1a1的外侧区域内，实现提高干式涡旋真空泵运行稳定性以及提高极限真空度。

风扇组件6包括导流罩6a和风扇6b，风扇6b安装在导流罩6a上，导流罩6a罩设在静涡旋盘2b上，导流罩6a与静涡旋盘2b固定连接，导流罩6a与静涡旋盘2b之间形成过风通道6c，当风扇6b运行时气流从过风通道6c的一端流向另一端，如图3中箭头所示，进而带走静涡旋盘2b的热量，降低静涡旋盘2b的最高温度，进而控制静涡旋盘2b形变量，实现提高涡旋抽气组件2运行稳定性。静涡旋盘2b的表面具有多条散热片部2i，进而更有利于气流带走静涡旋盘2b的热量，进一步降低静涡旋盘2b的最高温度。

通过阐述干式涡旋真空泵的运行过程，进一步说明各个部件的作用和优点，进气孔1a3与待抽气腔室之间通过管道相连通；电机定子5接通电源，电机转子4转动带动偏心主轴3转动，偏心主轴3带动动涡旋盘2a平移；在此过程中波纹管12摆动，动涡旋盘2a和静涡旋盘2b相对运动形成容积不断变化，实现将待抽气腔室内气体吸入进气腔1a1的外侧区域以及从排气通道2g排至大气中。在干式涡旋真空泵运行初始阶段，可拉动手柄2d8以及转动手柄2d8使手柄2d8抵靠在导流罩6a的外侧面上，此时控制通道2d2与外界处于连通状态。随着干式涡旋真空泵运行时长增加，静螺旋槽2b2内端气压不断下降，在气压差作用下，第一阀芯2d3克服第一弹簧2d4的弹力，第一阀芯2d3自动脱离阀芯座2d1，控制通道2d2与气镇通道2h处于连通状态，空气自动补入静螺旋槽2b2内端，空气与蒸汽混合，避免蒸汽凝结。随着随着干式涡旋真空泵运行时长进一步增加，待抽气腔室内气体气压下降以及水分含量降低，再次转动手柄2d8，在第二弹簧2d7的弹力作用下，第二阀芯2d6自动抵靠在阀芯座2d1上，控制通道2d2与外界处于截止状态；进而避免空气进入静螺旋槽2b2内端。干式涡旋真空泵继续运行待抽气腔室内气压不断下降。

Claims (10)

1.一种干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，包括动涡旋盘（2a）和静涡旋盘（2b），动涡旋盘（2a）上具有动螺旋片（2a1）和动螺旋槽（2a2），静涡旋盘（2b）上具有静螺旋片（2b1）和静螺旋槽（2b2），动螺旋片（2a1）嵌入静螺旋槽（2b2）内，静螺旋片（2b1）嵌入动螺旋槽（2a2）内；其特征在于，动螺旋片（2a1）的端面上开设有动密封槽，动密封槽沿动螺旋片（2a1）的螺旋线方向设置，动密封槽内嵌设有动密封条（2e），动密封条（2e）与静螺旋槽（2b2）的底面相依靠；和/或静螺旋片（2b1）的端面上开设有静密封槽，静密封槽沿静螺旋片（2b1）的螺旋线方向设置，静密封槽内嵌设有静密封条（2f），静密封条（2f）与动螺旋槽（2a2）的底面相依靠。

2.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述动密封条（2e）和静密封条（2f）采用聚四氟乙烯或石墨制成。

3.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述涡旋抽气组件还包括止回阀（2c），静涡旋盘（2b）内开设有与静螺旋槽（2b2）内端相连通的排气通道（2g）；止回阀（2c）安装在排气通道（2g）内。

4.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述涡旋抽气组件还包括气镇阀（2d）；静涡旋盘（2b）内还开设有与静螺旋槽（2b2）内端相连通的气镇通道（2h），气镇阀（2d）安装在气镇通道（2h）内。

5.根据权利要求4所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述气镇阀（2d）包括与静涡旋盘（2b）固定连接的阀芯座（2d1），阀芯座（2d1）内具有控制通道（2d2）；气镇阀（2d）还包括自动阀芯组件和手动阀芯组件，当静螺旋槽（2b2）内端气压低于外界气压时自动阀芯组件能使控制通道（2d2）与气镇通道（2h）自动的第一阀芯组件；手动阀芯组件能使控制通道（2d2）与外界大气处于相连通或截止状态。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述静涡旋盘（2b）上罩设有导流罩（6a），导流罩（6a）与静涡旋盘（2b）固定连接，导流罩（6a）与静涡旋盘（2b）之间形成过风通道（6c）。

7.根据权利要求6所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述导流罩（6a）上安装有风扇（6b），风扇（6b）运行时气流从过风通道（6c）的一端流向另一端。

8.根据权利要求6所述的干式涡旋真空泵的涡旋抽气组件，其特征在于，所述静涡旋盘（2b）的表面具有多条散热片部（2i）。

9.一种干式涡旋真空泵，包括主泵体（1a）和偏心主轴（3），偏心主轴（3）与主泵体（1a）之间转动连接，其特征在于，干式涡旋真空泵还包括权利要求1至8中任意一项所述涡旋抽气组件（2），静涡旋盘（2b）与主泵体（1a）的一端面之间垫设有多个垫片（10），多个垫片（10）沿偏心主轴（3）的轴心线周向分布，偏心主轴（3）与动涡旋盘（2a）相连接。

10.根据权利要求9所述的干式涡旋真空泵，其特征在于，所述垫片（10）上开设有第一预装孔，主泵体（1a）的一端面开设有第二预装孔，橡胶件（14）穿过第一预装孔且嵌入第二预装孔内。

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