CN215853933U - 一种硅粉收料系统 - Google Patents

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郭蔡民
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Abstract

本实用新型公开了一种硅粉收料系统,属于多晶硅生产技术领域,包括硅粉收料罐、收集桶和废气过滤器,所述硅粉收料罐下部连接有N2进料管线,所述硅粉收料罐与收集桶之间还设有硅粉排放管线,所述硅粉排放管线上设有下料阀,所述收集桶和废气过滤器之间还连接有废气排放管,所述废气过滤器上还设有废气放空口,所述硅粉排放管线通过快速连接件与收集桶连接,解决了现有技术中硅粉收集装置不容易固定,易出现硅粉泄漏或收集吨袋滑脱,造成硅粉粉尘逸散到空气中,导致粉尘与水分生成氯化物腐蚀设备,且存在安全隐患,另外,避免使用吨袋易吸潮,导致收集的硅粉纯度较低的问题。

Description

一种硅粉收料系统
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产技术领域,具体涉及一种硅粉收料系统。
背景技术
在多晶硅还原过程中,从SiHCl3中还原出来的Si,大部分沉积在炽热的硅棒表面生成晶体硅,但还有少量不可避免的会进气相形成微硅粉,随着还原反应尾气进入后续尾气回收系统。还原反应尾气中这部分微硅粉,经过除尘器捕集后,硅粉进入硅粉收集罐。硅粉收集罐下有排硅粉管线,当硅粉收集罐的硅粉量达到一定料位后,通过排硅粉管线将硅粉排出。
为使硅粉快速排空,本公司现有工艺是:通过充N2将硅粉收集罐的压力升高,再通过废旧吨袋将这部分硅粉进行收集。具体操作是:将吨袋口系在排硅粉管线上,并用铁丝将袋口系紧,然后打开阀门,充入N2,将硅粉从硅粉收集罐压出,压完后,关闭阀门,再解开袋口的铁丝,取下吨袋。
这样的工艺虽然简便,但是也存在很多问题,比如:
1、吨袋常为利旧设备,袋子常常存在破损,在装硅粉时容易漏出;
2、传统工艺是将吨袋与排硅粉管线通过铁丝捆扎,不能很好的系紧,当袋子达到一定重量时,袋子容易滑落,影响正常生产;另外,在下料时,一些粉尘十分容易从袋口捆扎处逸出,造成环境污染,操作人员作业环境变差;
3、硅粉粉尘从袋口处逸散到空气中,当集聚到一定浓度,易引起粉尘爆炸,存在安全隐患;
4、粉尘从袋口处逸散到空气中,由于粉尘含有部分HCl和氯硅烷等组分的气体,接触空气中的水分后,易电离出氯离子,从而腐蚀该装置和临近设备;
5、利用吨袋存放硅粉,容易吸潮,硅粉中容易生成副产物SiO2,降低了硅粉的纯度,从而降低硅粉的价值。
综上,从安全、成本等角度出发,我们亟需寻求更优的工艺,或者更优的设备来满足生产需求。
实用新型内容
本实用新型旨在解决现有技术中硅粉收集装置不容易固定,易出现硅粉泄漏或收集吨袋滑脱,造成硅粉粉尘逸散到空气中,导致粉尘与水分生成氯化物腐蚀设备,且存在安全隐患,另外,避免使用吨袋易吸潮,导致收集的硅粉纯度较低的问题。
为了实现上述发明目的,本实用新型提供了一种新的硅粉收料系统,在原有设备的基础上进一步优化,选用结构简单、成本较低、材料易得的常规装置,并设计新的相配合的结构,具体技术方案如下:
一种硅粉收料系统,包括硅粉收料罐、收集桶和废气过滤器,所述硅粉收料罐下部连接有N2进料管线,所述硅粉收料罐与收集桶之间还设有硅粉排放管线,所述硅粉排放管线上设有下料阀,所述收集桶和废气过滤器之间还连接有废气排放管,所述废气过滤器上还设有废气放空口,所述硅粉排放管线通过快速连接件与收集桶连接。
进一步地,所述收集桶上设有桶口,所述快速连接件可拆卸的安装在桶口上,所述快速连接件包括承插式下料口和承插式排气口。
进一步地,所述承插式下料口和承插式排气口包括承管,承管上设有承接口,承接口上卡接有夹头,所述夹头与承接口之间设有密封圈。
进一步地,所述夹头的靠近密封圈一侧设有弹性固定齿。
进一步地,所述密封圈为“O”型密封圈。
进一步地,所述收集桶为广口标准桶,所述快速连接件通过固定在连接盖体上再与广口标准桶可拆卸连接。
进一步地,所述快速连接件通过螺纹结构可拆卸地固定在连接盖体上,所述连接盖体与广口标准桶大小匹配。
进一步地,所述废气过滤器为袋式过滤器,所述袋式过滤器的精度为0.3-0.6µm。
本实用新型的有益效果:
一、本实用新型中,是在现有的硅粉收集系统上的继续优化,本硅粉收料系统采用封密式收集系统,可以避免硅粉逸散到环境,增设快速连接件,便于匹配统一规格的收集桶;另外,采用收集桶与现有的吨袋相比,收集桶不容易吸潮,收集的硅粉纯度较高,也便于码放,极少会出现硅粉泄漏的情况;采用废气过滤器,进一步降低废气泄放至空气中,造成粉尘污染。
二、本实用新型中,所述快速连接件包括承插式下料口和承插式排气口,即都是采用的快速承插式连接头,方便操作,快速连接件可拆卸的安装在桶口的结构,也便于更换收集桶。
三、本实用新型中,所述承插式下料口和承插式排气口采用相同的结构,均包括承管,承管上设有承接口,承接口上卡接有夹头,所述夹头与承接口之间设有密封圈,使用时,采用软管的硅粉排放管线和废气排放管,便于将硅粉排放管线快速的插入承插式下料口;将废气排放管快速插入承插式排气口中,夹头的结构设计便于稳定夹紧硅粉排放管线或废气排放管;密封圈的设计也能辅助夹紧硅粉排放管线或废气排放管。
四、本实用新型中,所述夹头的靠近密封圈一侧设有弹性固定齿,所述弹性固定齿可以扣住硅粉排放管线或废气排放管等软管,以便于快速固定好管线,不易脱落。
五、本实用新型中,所述密封圈为“O”型密封圈,能保证密封效果的同时便于装配和更换。
六、本实用新型中,所述收集桶为广口标准桶,将快速连接件通过固定在连接盖体上再与广口标准桶可拆卸连接,这样的结构设计,便于采用与广口标准桶原有的普通桶盖相似的连接盖体,用于收集硅粉时,替换原有桶盖,这样,一个连接盖体可用于相同规格桶口的广口标准桶,节约成本。
七、本实用新型中,所述快速连接件通过螺纹结构可拆卸地固定在连接盖体上,所述连接盖体与广口标准桶大小匹配,采用螺纹结构连接快速连接件和连接盖体,一方面,这样的结构工艺较成熟,容易实现;另一方面,这样的结构形成的自主密封,不容易泄漏细小粉尘。
八、本实用新型中,所述废气过滤器为袋式过滤器,所述袋式过滤器的精度为0.3-0.6µm,可以保证较好的过滤效果。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是快速连接件的结构示意图。
图3是快速连接件中承插结构的部分剖面图。
图4是本实用新型中广口桶的结构示意图。
其中,1、硅粉收料罐;2、收集桶;3、废气过滤器;4、N2进料管线;5、硅粉排放管线;6、下料阀;7、废气排放管;8、快速连接件;9、硅粉进料管;10、连接盖体;11、内螺纹;21、桶口;31、废气放空口;81、承插式下料口;82、承插式排气口;101、开口;801、承管;802、承接口;803、夹头;804、密封圈;805、弹性固定齿。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例1
一种硅粉收料系统,属于多晶硅生产技术领域,参照图1,包括硅粉收料罐1、收集桶2和废气过滤器3,所述硅粉收料罐1下部连接有N2进料管线4,所述硅粉收料罐1与收集桶2之间还设有硅粉排放管线5,所述硅粉排放管线5上设有下料阀6,所述收集桶2和废气过滤器3之间还连接有废气排放管7,所述废气过滤器3上还设有废气放空口31,所述硅粉排放管线5通过快速连接件8与收集桶2连接。
本实施例为最基本的实施方式,使用时将快速连接件8固定在收集桶2上,在连接个管线和装置,将收集桶2置于地面或称重支撑面上,连接好装置后,硅粉从硅粉进料管9持续进入硅粉收料罐1,再打开硅粉排放管线5上的下料阀6,并打开N2进料管线4上的阀门,充N2,进行硅粉下料至收集桶2,废气再经废气排放管7进入废气过滤器3,经过滤器拦截后的废气在废气放空口31高点放空。
解决了现有技术中硅粉收集装置不容易固定,易出现硅粉泄漏或收集吨袋滑脱,造成硅粉粉尘逸散到空气中,导致粉尘与水分生成氯化物后腐蚀设备,且存在安全隐患,另外,避免使用吨袋易吸潮,导致收集的硅粉纯度较低的问题。
实施例2
本实施例是在实施例1上的进一步改进,一种硅粉收料系统,属于多晶硅生产技术领域,包括硅粉收料罐1、收集桶2和废气过滤器3,所述硅粉收料罐1下部连接有N2进料管线4,所述硅粉收料罐1与收集桶2之间还设有硅粉排放管线5,所述硅粉排放管线5上设有下料阀6,所述收集桶2和废气过滤器3之间还连接有废气排放管7,所述废气过滤器3上还设有废气放空口31,所述硅粉排放管线5通过快速连接件8与收集桶2连接。
进一步地,参照1、2,所述收集桶2上设有桶口21,所述快速连接件8可拆卸的安装在桶口21上,所述快速连接件8包括承插式下料口81和承插式排气口82。
在具体实施时,如图1所示,所述废气过滤器3可需用体积较小的过滤器,将过滤器直接安装在收集桶2上,取消废气排放管7的使用。当然,安装部也可以参见本方案中快速连接件8的结构,便于快速拆装。
实施例3
本实施例与实施例1-2相比,区别在于,所述承插式下料口81和承插式排气口82的结构相同,所述承插式下料口81和承插式排气口82均包括承管801,参照图3,以承插式下料口81上的结构为例,承管801上设有承接口802,承接口802上卡接有夹头803,所述夹头803与承接口802之间设有密封圈804,这样的结构设计,可辅助硅粉排放管线5能快速、稳定地通过承插式下料口81固定在桶口21上。
实施例4
本实施例与实施例1-3相比,区别在于,所述夹头803的靠近密封圈804一侧设有弹性固定齿805,用于扣住硅粉排放管线5或废气排放管7。
实施例5
本实施例与实施例1-4相比,区别在于,所述密封圈804为“O”型密封圈804,实际设计中,也可以采用“工”型或其他形状的密封圈804,保证密封效果的同时,需要考虑是否便于安装的问题。
实施例6
本实施例与实施例1-5相比,区别在于,所述收集桶2为广口标准桶,所述快速连接件8通过固定在连接盖体10上再与广口标准桶可拆卸连接,这样的广口标准桶只需要其桶口21规格相同,或者桶口21的直径相同,配合本方案中的连接盖体10,再将快速连接件8固定在该连接盖体10上即可,需要说明的是连接盖体10是与原广口标准桶的桶盖不是一个盖,这样只需要一个连接盖体10即可,比在每个桶盖开口再密封更省成本、更合理。
这样的结构,较于将连接盖体10与快速连接件8设计成一体结构(下称一体连接盖体),本方案中的结构可将连接盖体10与快速连接件8拆解,快速连接件8安装在不同规格的连接盖体10上,就可以适用于多种应用环境,更合理,如图4中,本盖即为连接盖体10,在开口101处安装上快速连接件8即可。
使用时,待下料到一定的料位(目测)或重量(称重器)时,关闭下料阀6,结束下硅料,松开带有快速连接件8的连接盖体10,在旋上原有桶盖即可。
实施例7
本实施例与实施例1-6相比,区别在于,所述快速连接件8通过螺纹结构可拆卸地固定在连接盖体10上,所述连接盖体10与广口标准桶大小匹配,参见图2,在快速连接件8底部设计内螺纹8结构,可旋进连接盖体10中,快速、稳定安装固定。
实施例8
本实施例与实施例1-7相比,区别在于,所述废气过滤器3为袋式过滤器,所述袋式过滤器的精度为0.5µm。
不同的公司会根据自身的需求,选用不同过滤精度的袋式过滤器,一般在0.3-0.6µm,本公司选用0.5µm,可以正常生产,使用状态良好。
实施例9
本实施例为较佳的一种实施方式,一种硅粉收料系统,属于多晶硅生产技术领域,包括硅粉收料罐1、收集桶2和废气过滤器3,所述硅粉收料罐1下部连接有N2进料管线4,所述硅粉收料罐1与收集桶2之间还设有硅粉排放管线5,所述硅粉排放管线5上设有下料阀6,所述收集桶2和废气过滤器3之间还连接有废气排放管7,所述废气过滤器3上还设有废气放空口31,所述硅粉排放管线5通过快速连接件8与收集桶2连接。
进一步地,所述收集桶2上设有桶口21,所述快速连接件8可拆卸的安装在桶口21上,所述快速连接件8包括承插式下料口81和承插式排气口82。
进一步地,所述承插式下料口81和承插式排气口82包括承管801,承管801上设有承接口802,承接口802上卡接有夹头803,所述夹头803与承接口802之间设有密封圈804。
进一步地,所述夹头803的靠近密封圈804一侧设有弹性固定齿805。
进一步地,所述密封圈804为“O”型密封圈804。
进一步地,所述收集桶2为广口标准桶,所述快速连接件8通过固定在连接盖体10上再与广口标准桶可拆卸连接。
进一步地,所述快速连接件8通过螺纹结构可拆卸地固定在连接盖体10上,所述连接盖体10与广口标准桶大小匹配。
进一步地,所述废气过滤器3为袋式过滤器,所述袋式过滤器的精度为0.5µm。

Claims (8)

1.一种硅粉收料系统,其特征在于:包括硅粉收料罐(1)、收集桶(2)和废气过滤器(3),所述硅粉收料罐(1)下部连接有N2进料管线(4),所述硅粉收料罐(1)与收集桶(2)之间还设有硅粉排放管线(5),所述硅粉排放管线(5)上设有下料阀(6),所述收集桶(2)和废气过滤器(3)之间还连接有废气排放管(7),所述废气过滤器(3)上还设有废气放空口(31),所述硅粉排放管线(5)通过快速连接件(8)与收集桶(2)连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述收集桶(2)上设有桶口(21),所述快速连接件(8)可拆卸的安装在桶口(21)上,所述快速连接件(8)包括承插式下料口(81)和承插式排气口(82)。
3.根据权利要求2所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述承插式下料口(81)和承插式排气口(82)均包括有承管(801),承管(801)上设有承接口(802),承接口(802)上卡接有夹头(803),所述夹头(803)与承接口(802)之间设有密封圈(804)。
4.根据权利要求3所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述夹头(803)的靠近密封圈(804)一侧设有弹性固定齿(805)。
5.根据权利要求4所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述密封圈(804)为“O”型密封圈(804)。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述收集桶(2)为广口标准桶,所述快速连接件(8)通过固定在连接盖体上再与广口标准桶可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述快速连接件(8)通过螺纹结构可拆卸地固定在连接盖体(10)上,所述连接盖体(10)与广口标准桶大小匹配。
8.根据权利要求7所述的一种硅粉收料系统,其特征在于:所述废气过滤器(3)为袋式过滤器,所述袋式过滤器的精度为0.3-0.6µm。
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