CN215750093U - 一种简便拆卸的半导体切片机引导辊 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种简便拆卸的半导体切片机引导辊，包括内辊和外辊，所述外辊包括外辊主体，所述外辊主体设置有若干个，若干个所述外辊主体组合构建出一可包覆内辊的包覆腔；其中，若干个所述外辊主体分别与内辊固定连接；或，若干个所述外辊主体之间可拆卸式连接，且若干个所述外辊主体之中的至少一个外辊主体与内辊固定连接。通过若干个所述外辊主体使得外辊可从内辊的周向方向拆装。相比于传统的一体式结构，本申请的外辊分为若干个外辊主体，可以在不拆卸切割主轴和轴箱的方式下，将外辊替换；拆装次数少，以保证轴系精度。

Description

一种简便拆卸的半导体切片机引导辊

技术领域

本发明涉及一种可旋转地安装在半导体切片机上的线引导辊，具体涉及一种简便拆卸的半导体切片机引导辊。

背景技术

半导体切片机被认为是用于从半导体锭切割晶片的装置。在该切片机中，将半导体锭等制成的工件在与轴向垂直的方向上切割并进给，同时将大量切割线并排拉伸并在其轴向上高速驱动。结果从该工作中同时切出大量薄片。

该切片机具有多槽辊(导向辊)，该多槽辊(导向辊)具有大量的用于装配线的导向槽。外层由于切片机的重复使用而磨损。由于该外层的磨损，用切片机切出的工件的厚度精度降低。因此，在预定的使用时间或超过使用次数之后，需要更换导辊。目前，国内切片机更换引导辊的方式是将切割轴系以及轴箱全部拆掉，然后将涂覆新的包胶层的主轴与两个轴箱安装在铸件上。这种更换方式复杂，且频繁更换导致轴系精度较差，影响切片参数。

构成这种类型的引导辊的外辊的分割件由相对硬的金属材料制成，特别是铸铁，并且在其外周面上设置有具有引导槽的外层。再将模制粘合剂施加到分隔件的外表面之后，通过使用模具将该外覆盖层整体模制在分隔件的外表面上，并且将其粘附到分隔件上。

发明内容

为了克服更换引导辊带来的轴系精度不足的问题，本实用新型提供一种可单独拆卸的引导辊。

一种简便拆卸的半导体切片机引导辊，包括内辊和外辊，所述外辊包括外辊主体，所述外辊主体设置有若干个，若干个所述外辊主体组合构建出一可包覆内辊的包覆腔；其中，若干个所述外辊主体分别与内辊固定连接；或

若干个所述外辊主体之间可拆卸式连接，且若干个所述外辊主体之中的至少一个外辊主体与内辊固定连接。通过若干个所述外辊主体使得外辊可从内辊的周向方向拆装。相比于传统的一体式结构，本申请的外辊分为若干个外辊主体，可以在不拆卸切割主轴和轴箱的方式下，将外辊替换；拆装次数少，以保证轴系精度。

优选的，所述外辊主体包括从内向外依次设有的外辊支撑层、粘附辅助层和包胶层，外辊支撑层外侧设有粘附辅助层，包胶层通过粘合剂固定在粘附辅助层外侧。

优选的，若干个所述外辊主体之间通过螺钉连接。

优选的，所述外辊包括两个空心半圆柱形的外辊主体。

优选的，在外辊主体的外表面上开设有导向槽，用于引导切割线。

优选的，在外辊的导向槽区域内、沿外辊径向方向开设有多个与导向槽相连通的螺栓插入孔，并在内辊上开设有与螺栓插入孔相连通的螺纹孔；螺栓一端部旋入固定在内辊的螺纹孔上，螺栓另一端部位于螺栓插入孔内，用于使外辊与内辊固定连接。

优选的，多个所述螺栓插入孔沿外辊轴向方向上相对齐设置，并且这些螺栓插入孔沿外辊周向上相间隔180°设置。

优选的，在所述内辊外表面周向上设有凸缘，与凸缘相对应位置的外辊内表面周向上开设相匹配的凹槽。

优选的，所述凸缘与内辊的外表面一体成型；所述凸缘在内辊的中间部分上设置。

优选的，在内辊的凸缘上开设有凸缘螺纹孔，在该凸缘螺纹孔内设有定位螺栓，所述定位螺栓的顶面高于凸缘面，在外辊的凹槽中相对应的开设有直槽口并且凸缘上的定位螺栓端部位于直槽口内。

下面对本申请做进一步说明：

该引导辊实现方便拆卸的同时，也保证了轴系的精度。针对这种引导辊的结构，提出一种新的包胶层涂覆方式。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该半导体切片机引导辊主要结构分为内辊与外辊，该内辊可旋转地支撑在切片机导向辊中，该外辊可旋转地设置在切片机上，并且在外周面上具有用于引导切割线的导向槽。设置有固定在内辊的外周面上并在辊旋转周上划分导向槽的外辊，在外辊的表面上设置有导向槽，在该导向槽区域中设置有多个螺栓插入孔，在内辊上设有将插入螺栓插入孔中的螺栓拧入的螺纹孔，将螺栓拧入该螺纹孔中，并将螺栓安装在外辊上。

切割线被构造成在该螺栓上端延伸，切割线缠绕在外辊外表面上并且位于螺栓的端

部上方。以上切割结构外辊涂覆包胶层时，在外辊支撑层与外层包胶层之间增加粘附辅助层，增强包胶层涂覆质量。

优选的，所述螺栓插入孔的在周向上相邻的位置在所述外辊的轴向上错开。

优选的，所述的切片机的引导辊中，在形成有导向槽的区域中，外辊周向上相隔180°的螺栓孔在外辊轴向上对齐。

一种切片机导向辊，螺栓插入孔在外辊轴向上彼此移位。

优选的，所述的切片机的引导辊，其中，所述螺栓插入孔设置在所述外辊的周向的两端部以外的中间部。

优选的，所述的切片机的引导辊中，每个外辊相对于内辊的相对位置的圆周方向在辊旋转圆周方向上定位，使得螺栓插入孔和螺纹孔匹配。

一种切片机导向辊，设有定位装置。

优选的，所述的切片机的导向辊中，在每个外辊主体的表面上形成合成包胶层，在合成包胶层中形成导向槽。用于切片机的导向辊，包胶层的涂覆厚度与导向槽的形式可根据工艺情况更改。优选的，所述的切片机的引导辊，该外辊支撑层与包胶层之间包含粘合辅助层。

附图说明

图1是本实用新型的轴系引导辊安装布局图；

图2是可拆卸外辊主体结构图；

图3是轴系引导辊径向固定方式；

图4是外辊主体的涂覆层结构；

图5是引导辊外部安装结构；

图6是引导辊内部安装结构；

图1中1.外辊、2.内辊、11.外层包胶层、12.粘附辅助层、13.外辊支撑层、4.螺栓、5.切割线、6.机加工件、7.定位长螺栓、8.直槽口、9.定位螺栓、10.轴承。

具体实施方式

一种简便拆卸的半导体切片机引导辊，包括内辊2和外辊1，所述外辊1包括两个相同的空心半圆柱形的外辊主体，所述外辊主体包括从内向外依次设有的外辊支撑层13、粘附辅助层12和外层包胶层11，外辊支撑层13外表面上设有粘附辅助层12，在粘附辅助层12上设有外层包胶层11，这两个外辊主体均与内辊2固定连接，外辊主体之间不连接，使得这两个外辊主体拼接组合构建出一可包覆内辊的包覆腔；在拆装时，所述外辊主体使得外辊可从内辊的周向方向拆装。(或者外辊主体与内辊固定连接并且这两个外辊主体之间通过螺钉连接，使得外辊主体组合构建出一个可包覆内辊的包覆腔，同样可以使得外辊在拆装时，通过外辊主体使外辊可从内辊的周向方向拆装)。

在所述内辊2外表面周向上设有凸缘2a，所述凸缘2a在内辊的中间部分上设置，凸缘2a与内辊的外表面一体成型；与凸缘2a相对应位置的两个外辊主体的外辊支撑层13内表面半圆周方向上均开设相匹配的凹槽1a。

在每个外辊主体的外表面上相对应的开设有若干个导向槽14，从图3可以看出，导向槽是开设在外辊主体的外层包胶层11上，所述导向槽14用于引导切割线，导向槽的间距与槽宽可根据实际工艺情况更改。如图2所示。两个外辊主体的导向槽相对应设置。在外辊的导向槽区域内、沿外辊径向方向开设有多个与导向槽相连通的螺栓插入孔15，多个所述螺栓插入孔沿外辊轴向方向上相对齐设置，并且这些螺栓插入孔沿外辊周向上相间隔180°设置，以在辊旋转期间保持良好的平衡。

在内辊2上开设有与螺栓插入孔15相连通的螺纹孔，螺栓从螺栓插入孔15中旋入使得螺栓一端部固定在内辊的螺纹孔上、并且螺栓另一端部位于螺栓插入孔内，用于使外辊与内辊固定连接，从而使内辊上的凸缘2a松弛的嵌入外辊的凹槽1a内；沿着导向槽在外辊1的外表面上圆周缠绕一圈圈切割线并且所述切割线位于导向槽内的螺栓4另一端部上方，如图3所示。

为了实现内辊与外辊在周向上的相对静止，在内辊的凸缘上开设有凸缘螺纹孔，在该凸缘螺纹孔内设有定位螺栓9，所述定位螺栓的顶面高于凸缘面，在外辊的凹槽中相对应的开设有直槽口8并且凸缘上的定位螺栓9端部位于直槽口8内。

本申请还提供了所述半导体切片机引导辊的涂覆方法，其中，所述外辊通过如下方式制成，具体包括如下步骤：

步骤1：将铸铁整体铸成一个空心圆柱形的外辊本体，再在外辊本体外表面涂覆一层粘附辅助层，所述粘附辅助层由环氧树脂制成；

步骤2：将外辊本体进行半圆切割，变为两个半圆外辊本体，在粘附辅助层上涂抹粘合剂，将由聚氨酯模制的包胶层粘附在粘附辅助层上。

如图1，切片机轴系可分为可拆卸部分与不可拆卸部分，不可拆卸部分由轴承、隔圈以及内辊2组成，可拆卸部分由外辊1组成。外辊由两个空心半圆柱形的外辊主体组成，该外辊主体的最内层，即外辊支撑层是由相对硬的金属材料制成，特别是铸铁，并且在外辊主体外周面上设置有具有引导槽的外层。外辊通过与内辊固定实现与轴系连接。圆柱形的内辊2通过图6中的轴承10可旋转地支撑在固定轴上，内辊2的轴向中间部分形成有凸缘部分(凸部)，该凸缘部的直径在其整个圆周上大于其他部分的直径。相对应的，在外辊1金属内表面形成有供凸缘部4松弛地嵌合的凹槽(凹部)。如图6在内辊2的凸缘部分上设置螺纹孔(即凸缘螺纹孔)及定位螺栓9，其中定位螺栓9的顶面高于内辊凸缘面。相应的在外辊的凹槽中设置直槽口8，内辊凸缘上突出的定位螺栓9与直槽口配合，实现内辊与外辊在周向上的相对静止。

如图5，其中，整个轴系左端固定在机加工件6上，为保证内辊1与外辊2的顺利依靠定位面定位，在轴系固定的机加工件上用长螺栓7顶住外辊，使外辊凹槽1a的前端表面牢牢接触到内辊2凸缘2a前表面上实现轴向定位。

图2中，在外辊的外表面上设置有导向槽，在外层包胶层上有导向槽的区域内设置有多个螺栓插入孔，在内辊2上设有将螺栓4拧入的螺纹孔，将螺栓4从外辊1内侧拧入该螺纹孔中。切割线5被构造成在该螺栓上延伸，使得其从螺栓的外周表面沿径向浸入。有图3可知，切割线5没有在引导槽引导的区域，仅在每个螺栓4上方的一小部分，从而整体上以稳定的状态引导切割线5。然后，通过适当地设定螺栓插入孔的位置，可以稳定地固定外辊1。例如，可以在外辊1的周向中部设置螺栓插入孔，这可以避免外辊1的周向中部由于离心力而沿径向向外鼓出的不便。此外，在形成引导槽的区域中，仅在辊周向上彼此间隔180°的螺栓插入孔在辊轴向上对齐以在辊旋转期间保持良好的平衡。

图4中，外辊主体由外辊支撑层13、粘附辅助层12及外层包胶层11组成，根据以上外辊切割半圆结构，先将外辊本体铸铁件整体铸成，再在外辊本体外表面涂覆一层粘附辅助层12，粘附辅助层12由环氧树脂制成。然后进行半圆切割，变为两个半圆外辊本体，在粘附辅助层12上涂抹粘合剂，将由聚氨酯模制的包胶层11粘附在半圆外辊本体上。粘附辅助层12比外辊主体的外辊支撑层13具有更高的粘附性与耐热性，可防止构成外周部分的包胶层从导辊上剥离。且粘附辅助层12可多次利用，包胶层更新时只需将最外层聚氨酯铲除即可。

Claims (10)

1.一种简便拆卸的半导体切片机引导辊，包括内辊和外辊，其特征在于：所述外辊包括外辊主体，所述外辊主体设置有若干个，若干个所述外辊主体组合构建出一可包覆内辊的包覆腔；其中，若干个所述外辊主体分别与内辊固定连接；或

若干个所述外辊主体之间可拆卸式连接，且若干个所述外辊主体之中的至少一个外辊主体与内辊固定连接。

2.根据权利要求1所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：所述外辊主体包括从内向外依次设有的外辊支撑层、粘附辅助层和包胶层，外辊支撑层外侧设有粘附辅助层，包胶层通过粘合剂固定在粘附辅助层外侧。

3.根据权利要求1所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：若干个所述外辊主体之间通过螺钉连接。

4.根据权利要求2所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：所述外辊包括两个空心半圆柱形的外辊主体。

5.根据权利要求4所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：在外辊主体的外表面上开设有导向槽，用于引导切割线。

6.根据权利要求5所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：在外辊的导向槽区域内、沿外辊径向方向开设有多个与导向槽相连通的螺栓插入孔，并在内辊上开设有与螺栓插入孔相连通的螺纹孔；螺栓一端部旋入固定在内辊的螺纹孔上，螺栓另一端部位于螺栓插入孔内，用于使外辊与内辊固定连接。

7.根据权利要求6所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：多个所述螺栓插入孔沿外辊轴向方向上相对齐设置，并且这些螺栓插入孔沿外辊周向上相间隔180°设置。

8.根据权利要求1-7任一一项所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：在所述内辊外表面周向上设有凸缘，与凸缘相对应位置的外辊内表面周向上开设相匹配的凹槽。

9.根据权利要求8所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：所述凸缘与内辊的外表面一体成型；所述凸缘在内辊的中间部分上设置。

10.根据权利要求8所述的半导体切片机引导辊，其特征在于：在内辊的凸缘上开设有凸缘螺纹孔，在该凸缘螺纹孔内设有定位螺栓，所述定位螺栓的顶面高于凸缘面，在外辊的凹槽中相对应的开设有直槽口并且凸缘上的定位螺栓端部位于直槽口内。

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