CN215696442U - 一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 - Google Patents
一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及半导体湿法清洗设备技术领域，尤其涉及一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。其技术方案包括：固定互连的主体板和中间板以及同时贯穿主体板和中间板开设的第二抽风口，所述中间板外表面左右对称固定连接有一对用于使移动式抽风口板上下滑移的滑槽式挡条，所述中间板外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板左右水平滑移的导向式挡条，所述移动式抽风口板底部开设有与移动式斜面板相匹配的斜面缺口，所述移动式抽风口板贯穿开设有与第二抽风口一一对应的第一抽风口。本申请通过在设备前面端就可左右移动旋钮扳手调节抽风大小，使用时方便快捷，避免人员需要调节从而攀爬主管道调节，大大提高使用设备时的人员安全和便捷性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体湿法清洗设备技术领域，尤其涉及一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。
背景技术
半导体器件清洗是电子产业重要的一个工艺步骤，在使用化学液清洗过程中，会产生酸碱气体或有毒气体，在使用设备时，需要将这些气体抽走集中处理，根据工况不同，对抽风量大小要求也应有所不同，另外还会出现将某一处槽体的抽风开大，某一处的抽风关闭的情况。在目前情况下，许多设备均是处于抽风口完全打开不可调的情况，不管何种工况，都保证同一抽风量，另外调节装置处于设备顶部或者背部的主通风管道口，人员需要攀爬主管道进行调节，不能保证随时便捷有效地调整抽风，不仅降低了使用设备时的人员安全和便捷性，且产生一些不必要的损耗。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种能调节抽风口大小的半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置。
本实用新型的技术方案：一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括固定互连的主体板和中间板以及同时贯穿主体板和中间板开设的第二抽风口，所述中间板外表面左右对称固定连接有一对用于使移动式抽风口板上下滑移的滑槽式挡条，所述中间板外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板左右水平滑移的导向式挡条，所述移动式抽风口板底部开设有与移动式斜面板相匹配的斜面缺口，所述移动式抽风口板贯穿开设有与第二抽风口一一对应的第一抽风口。
优选的，所述斜面缺口与移动式斜面板通过双斜面接触。
优选的，所述移动式斜面板固定连接有手柄。
优选的，所述主体板贯穿开设有供手柄水平移动的活动槽口。
优选的，所述手柄的端部贯穿活动槽口后螺纹旋合套接有螺纹旋套。
与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：
本申请能调节抽风口大小，且通过在设备前面端就可左右移动旋钮扳手调节抽风大小，使用时方便快捷，避免人员需要调节从而攀爬主管道调节，大大提高使用设备时的人员安全和便捷性，且能保证随时便捷有效地调整抽风，避免产生一些不必要的损耗。
附图说明
图1给出本实用新型一种实施例的结构示意图；
图2为图1中主体板与手柄的后视向连接示意图；
图3为图1的移动式斜面板向一侧水平移动后的结构示意图。
附图标记：1、移动式抽风口板；2、滑槽式挡条；3、导向式挡条；4、手柄；5、移动式斜面板；6、主体板；7、中间板；8、第一抽风口；9、第二抽风口；10、斜面缺口；11、活动槽口；12、螺纹旋套。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
实施例一
如图1-3所示，本实用新型提出的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括固定互连的主体板6和中间板7以及同时贯穿主体板6和中间板7开设的第二抽风口9，中间板7外表面左右对称固定连接有一对用于使移动式抽风口板1上下滑移的滑槽式挡条2，且滑槽式挡条2可以在左右方向对移动式抽风口板1进行限位，中间板7外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板5左右水平滑移的导向式挡条3，且导向式挡条3可以在底部方向对移动式抽风口板1进行限位，确保移动式斜面板5在使用时不会因为移动速度过快导致移动式抽风口板1掉落，移动式抽风口板1底部开设有与移动式斜面板5相匹配的斜面缺口10，移动式抽风口板1贯穿开设有与第二抽风口9一一对应的第一抽风口8。斜面缺口10与移动式斜面板5通过双斜面接触。移动式斜面板5固定连接有手柄4。主体板6贯穿开设有供手柄4水平移动的活动槽口11。
本实施例中，通过左右移动手柄4带动移动式斜面板5左右移动，由于斜面缺口10与移动式斜面板5通过双斜面接触，因此可以带动移动式抽风口板1上下移动，第一抽风口8随之上下移动，进而会与第二抽风口9之间产生错位，从而改变抽风口大小。
实施例二
如图2示，本实用新型提出的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，相较于实施例一，本实施例还包括：手柄4的端部贯穿活动槽口11后螺纹旋合套接有螺纹旋套12，通过转动螺纹旋套12，使螺纹旋套12端面紧密抵接在主体板6上，可以对手柄4进行抵接限位。
上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
Claims (5)
1.一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括固定互连的主体板(6)和中间板(7)以及同时贯穿主体板(6)和中间板(7)开设的第二抽风口(9)，其特征在于：所述中间板(7)外表面固定连接有一对用于使移动式抽风口板(1)上下滑移的滑槽式挡条(2)，所述中间板(7)外表面底侧固定连接有用于使移动式斜面板(5)左右水平滑移的导向式挡条(3)，所述移动式抽风口板(1)底部开设有与移动式斜面板(5)相匹配的斜面缺口(10)，所述移动式抽风口板(1)贯穿开设有能与第二抽风口(9)一一对应的第一抽风口(8)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，其特征在于，所述斜面缺口(10)与移动式斜面板(5)通过双斜面接触。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，其特征在于，所述移动式斜面板(5)固定连接有手柄(4)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，其特征在于，所述主体板(6)贯穿开设有供手柄(4)水平移动的活动槽口(11)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，其特征在于，所述手柄(4)的端部贯穿活动槽口(11)后螺纹旋合套接有螺纹旋套(12)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122080908.6U CN215696442U (zh) | 2021-08-31 | 2021-08-31 | 一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN215696442U true CN215696442U (zh) | 2022-02-01 |
Family
ID=80010158
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202122080908.6U Active CN215696442U (zh) | 2021-08-31 | 2021-08-31 | 一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN215696442U (zh) |
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2021
- 2021-08-31 CN CN202122080908.6U patent/CN215696442U/zh active Active
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