CN215668271U - 一种电镀挂具 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种电镀挂具，包括吊钩机构和挂吊机构，所述吊钩机构包括挂杆和阴极保护架，所述阴极保护架包括两个平行且间隔设置的矩形框，两个矩形框的四个角一一对应，所述挂吊机构包括若干竖直且间隙设置在横杆和支撑杆之间的竖杆，所述竖杆与横杆和支撑杆之间可拆卸连接，所述竖杆上间隙设置有若干挂钩；本实用新型针对SOP8产品的特点，及产品需要达到的质量要求，设计出新式的多触点夹式的挂具，以满足SOP8产品挂镀线生产的相关要求。

Description

一种电镀挂具

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，具体的讲涉及一种电镀挂具。

背景技术

半导体电镀生产过程，被电镀件在生产过程中需要有工装进行夹持，才能进行电镀加工作业。半导体电镀加工为成熟的生产工艺，半导体电镀硬件的主要构成有：电镀槽、整流器、需电镀金属、挂具、被加工产品、电镀液组成。其主要工作原理是，整流器阳极连接需电镀金属，整流器阴极连接挂具及被加工产品，在通电后需电镀金属作为阳极会得到电子，金属会变为金属离子溶解在电镀液中，通电状态金属离子从阳极向阴极移动，被加工产品做为阴极，在通电后电镀液中的金属离子会失去电子，从而还原为金属附着到被加工产品表面。这个过程被称为半导体电镀加工。因为被加工产品结构尺寸无法直接连接到整流器，需要挂具来挂持产品，与整流器连接，产生导电来完成半导体电镀加工过程。

导体电镀加工主要分为两类加工方式，一类为高速线电镀，挂持机构为钢带，另一类为挂镀线电镀，挂持机构为各类挂具。目前半导体行业中SOP8产品等宽体产品均使用高速线电镀生产，不使用挂镀线电镀生产，因为在挂镀线上使用常规挂具达不到量产的需求，常规使用的挂镀线生产挂持机构挂具为口袋式两点接触式。是无法生产SOP8产品，常规挂具它存在的缺点：

常规挂具(如图4)挂镀线生产的SOP8产品存在的问题有产品质量不达标，因单个的挂具需要挂持多个产品，产品的分布面积较大，电镀电流分布不均，电镀时会造成产品的厚度不均，镀层CPK低。

常规挂具的结构为口袋式的，产品在挂具上没有固定，SOP8产品的体积较大，在挂具生产时，产品容易从挂具上掉落。

因此，本文针对SOP8产品的特点，及产品需要达到的质量要求，设计出新式的多触点夹式的挂具，以满足SOP8产品挂镀线生产的相关要求。

实用新型内容

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供一种电镀挂具。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种电镀挂具，包括吊钩机构和挂吊机构，所述吊钩机构包括挂杆和阴极保护架，所述阴极保护架包括两个平行且间隔设置的矩形框，两个矩形框的四个角一一对应，两个矩形框对应的角之间设有固定用的连接杆，相邻两个连接杆的中部设有支撑杆，位于顶部的支撑杆上间隔设有两个吊杆，吊杆与支撑杆可拆卸连接，所述吊杆的端部设有勾头；所述阴极保护架的中部设有与支撑杆固定连接的横杆，所述挂吊机构包括若干竖直且间隙设置在横杆和支撑杆之间的竖杆，所述竖杆与横杆和支撑杆之间可拆卸连接，所述竖杆上间隙设置有若干挂钩；本方案的挂钩为夹式弹簧结构，两两对称设置，将产品挂置在两个夹式弹簧上，不易掉落。

进一步地，所有挂钩均设置在竖杆同一侧。

进一步地，所述勾头的内壁设有弹性件。

进一步地，所述阴极保护架的顶部和底部的中央设有加强筋。

与现有技术相比本方案的有益效果如下：

1、本案的挂钩为夹式弹簧结构，两两对称设置，将产品挂置在两个夹式弹簧上，不易掉落。

2、本方案中竖杆上间隔设置有若干挂钩，不同竖杆上的不同高度的挂钩与其他竖杆上对应高度的挂钩处于同一水平线，使得产品能够有多个挂置点，增加了触点，保证了守电的均匀性。

3、改进了挂钩朝向的分布，常规的挂具为正反两面均需要夹持产品，本方案为单面夹持，保证了产品的受电的均匀，从而使产品的镀层均匀性更好。

4、改进了挂具的阴极保护装置，常规的挂具阴极杆为单杆平面式，挂具的阴极杆无法有效的屏蔽高电流区，从而不能保证镀层的均匀性，本方案设计了立体的阴极保护架，可以最大程度的保证有效的屏蔽高电流区。从而保证了产品镀层有更好的均匀性。

5、改进了挂具的勾头部份，常规挂具的吊勾为直接的弯勾，吊勾在整流器接触导电时会有接触不良的问题，本方案，在勾头的内部按装了一片弹性件，本方案的勾头在整流器接触时，弹性件的弹力会顶住施加预警力，保证了挂具的良好导电。

6、进了挂具的支撑杆与吊杆的连接位置的固定方式，原有的连接方法为电焊焊接方式，当勾头有损坏时无法更换，只能报废。本方案，改为螺丝螺母固定连接吊杆，当勾头损坏时可以直接进行更换。延长了挂具的使用寿命。

7、本方案的竖杆与横杆和支撑杆之间可拆卸连接，同样便于更换。

附图说明

图1为本实用新型一种电镀挂具实施例1的结构示意图；

图2是本实用新型的侧视图；

图3是本实用新型的俯视图；

图4是现有技术中的电镀挂具。

附图标记：连接杆1、矩形框2、支撑杆3、勾头4、加强筋5、吊杆6、横杆7、竖杆8、挂钩9、弹性件10。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围内。

实施例1

如图1-3所示，一种电镀挂具，包括吊钩机构和挂吊机构，所述吊钩机构包括挂杆和阴极保护架，所述阴极保护架包括两个平行且间隔设置的矩形框2，两个矩形框2的四个角一一对应，两个矩形框2对应的角之间设有固定用的连接杆1，相邻两个连接杆1的中部设有支撑杆3，位于顶部的支撑杆3上间隔设有两个吊杆6，吊杆6与支撑杆3可拆卸连接，所述吊杆6的端部设有勾头4；所述阴极保护架的中部设有与支撑杆3固定连接的横杆7，所述挂吊机构包括若干竖直且间隙设置在横杆7和支撑杆3之间的竖杆8，所述竖杆8与横杆7和支撑杆3之间可拆卸连接，所述竖杆8上间隙设置有若干挂钩9；

所有挂钩9均设置在竖杆8同一侧。

勾头4的内壁设有弹性件10。

阴极保护架的顶部和底部的中央设有加强筋5。

具体使用效果：

1、本案的挂钩9为夹式弹簧结构，两两对称设置，将产品挂置在两个夹式弹簧上，不易掉落。

2、本方案中竖杆8上间隔设置有若干挂钩9，不同竖杆8上的不同高度的挂钩9与其他竖杆8上对应高度的挂钩9处于同一水平线，使得产品能够有多个挂置点，增加了触点，保证了守电的均匀性。

3、改进了挂钩9朝向的分布，常规的挂具为正反两面均需要夹持产品，本方案为单面夹持，保证了产品的受电的均匀，从而使产品的镀层均匀性更好。

4、改进了挂具的阴极保护装置，常规的挂具阴极杆为单杆平面式，挂具的阴极杆无法有效的屏蔽高电流区，从而不能保证镀层的均匀性，本方案设计了立体的阴极保护架，可以最大程度的保证有效的屏蔽高电流区。从而保证了产品镀层有更好的均匀性。

5、改进了挂具的勾头4部份，常规挂具的吊勾为直接的弯勾，吊勾在整流器接触导电时会有接触不良的问题，本方案，在勾头4的内部按装了一片弹性件10，本方案的勾头4在整流器接触时，弹性件10的弹力会顶住施加预警力，保证了挂具的良好导电。

6、进了挂具的支撑杆3与吊杆6的连接位置的固定方式，原有的连接方法为电焊焊接方式，当勾头4有损坏时无法更换，只能报废。本方案，改为螺丝螺母固定连接吊杆6，当勾头4损坏时可以直接进行更换。延长了挂具的使用寿命。

7、本方案的竖杆8与横杆7和支撑杆3之间可拆卸连接，同样便于更换

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (4)

1.一种电镀挂具，其特征在于，包括吊钩机构和挂吊机构，所述吊钩机构包括挂杆和阴极保护架，所述阴极保护架包括两个平行且间隔设置的矩形框，两个矩形框的四个角一一对应，两个矩形框对应的角之间设有固定用的连接杆，相邻两个连接杆的中部设有支撑杆，位于顶部的支撑杆上间隔设有两个吊杆，吊杆与支撑杆可拆卸连接，所述吊杆的端部设有勾头；所述阴极保护架的中部设有与支撑杆固定连接的横杆，所述挂吊机构包括若干竖直且间隙设置在横杆和支撑杆之间的竖杆，所述竖杆与横杆和支撑杆之间可拆卸连接，所述竖杆上间隙设置有若干挂钩。

2.根据权利要求1所述的一种电镀挂具，其特征在于，所有挂钩均设置在竖杆同一侧。

3.根据权利要求2所述的一种电镀挂具，其特征在于，所述勾头的内壁设有弹性件。

4.根据权利要求3所述的一种电镀挂具，其特征在于，所述阴极保护架的顶部和底部的中央设有加强筋。

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