CN215668194U - 一种气相沉积炉盖的密封结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体，其特征在于，所述沉积炉盖本体包括盖板，所述盖板的底部还设有安装结构，所述安装结构上卡接有密封结构，所述密封结构包括密封基体，所述密封基体内设有隔音层，所述隔音层内填充有隔音棉，所述密封基体内还设有缓冲层，所述缓冲层内固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别固定在密封基体上。本实用新型解决了目前密封结构长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及密封结构技术领域，具体为一种气相沉积炉盖的密封结构。
背景技术
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
现有的化学气相沉积炉由于炉体内的压力基本与外界大气压基本相同，密封装置采用常见的密封垫对炉体进出口处进行密封，长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种气相沉积炉盖的密封结构，解决了目前密封结构长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体，其特征在于，所述沉积炉盖本体包括盖板，所述盖板的底部还设有安装结构，所述安装结构上卡接有密封结构，所述密封结构包括密封基体，所述密封基体内设有隔音层，所述隔音层内填充有隔音棉，所述密封基体内还设有缓冲层，所述缓冲层内固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别固定在密封基体上。
优选的，所述盖板与安装结构之间形成一夹角θ，其中30°＜θ＜45°。
优选的，所述安装结构上设有卡齿，所述卡齿上设有导向沿，所述密封结构上设有与卡齿相匹配的卡槽。
优选的，所述盖板的上方固定设有把手。
本实用新型具备有益效果：本实用新型通过在隔音层内填充有隔音棉，可以起到一定的隔音效果，通过设计缓冲层，在缓冲层内设有缓冲弹簧，可以防止长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，通过设计卡齿并在卡齿上设有导向沿，该结构类似倒刺状，方便密封结构的卡入并可防止其与安装结构脱离。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型与气相沉积炉安装结构示意图；
图3为图1中A处放大结构示意图；
图中：1、沉积炉盖本体，2、盖板，3、安装结构，4、密封结构，5、密封基体，6、隔音层，7、隔音棉，8、缓冲层，9、缓冲弹簧，10、卡齿，11、导向沿，12、把手。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图1-3所示的一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体1，其特征在于，所述沉积炉盖本体1包括盖板2，所述盖板2的底部还设有安装结构3，所述安装结构3上卡接有密封结构4，所述密封结构4包括密封基体5，所述密封基体5内设有隔音层6，所述隔音层6内填充有隔音棉7，所述密封基体5内还设有缓冲层8，所述缓冲层8内固定连接有缓冲弹簧9，所述缓冲弹簧9的两端分别固定在密封基体5上。
较佳地，所述盖板2与安装结构3之间形成一夹角θ，其中30°＜θ＜45°。所述安装结构3上设有卡齿10，所述卡齿10上设有导向沿11，所述密封结构4上设有与卡齿10相匹配的卡槽。所述盖板2的上方固定设有把手12。
本实用新型通过在隔音层6内填充有隔音棉7，可以起到一定的隔音效果，通过设计缓冲层8，在缓冲层8内设有缓冲弹簧9，可以防止长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，通过设计卡齿10并在卡齿10上设有导向沿11，该结构类似倒刺状，方便密封结构4的卡入并可防止其与安装结构3脱离。
上述实施方式是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的保护范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体（1），其特征在于，所述沉积炉盖本体（1）包括盖板（2），所述盖板（2）的底部还设有安装结构（3），所述安装结构（3）上卡接有密封结构（4），所述密封结构（4）包括密封基体（5），所述密封基体（5）内设有隔音层（6），所述隔音层（6）内填充有隔音棉（7），所述密封基体（5）内还设有缓冲层（8），所述缓冲层（8）内固定连接有缓冲弹簧（9），所述缓冲弹簧（9）的两端分别固定在密封基体（5）上。
2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉盖的密封结构，其特征在于，所述盖板（2）与安装结构（3）之间形成一夹角θ，其中30°＜θ＜45°。
3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉盖的密封结构，其特征在于，所述安装结构（3）上设有卡齿（10），所述卡齿（10）上设有导向沿（11），所述密封结构（4）上设有与卡齿（10）相匹配的卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉盖的密封结构，其特征在于，所述盖板（2）的上方固定设有把手（12）。
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