CN219827696U - 气相沉积炉炉盖密封装置 - Google Patents

Abstract

气相沉积炉炉盖密封装置。涉及气相沉积炉技术领域。设于炉体的顶部，所述炉体的顶部外缘设有法兰盘，所述炉盖与所述法兰盘之间通过螺栓锁紧，包括垫圈和设于垫圈外缘的吸水海绵，所述法兰盘的顶部与所述炉盖的底部均设有环状的凹槽，一对凹槽与垫圈同轴设置，所述垫圈设于一对凹槽之间；所述吸水海绵环设在所述垫圈的外壁上、且位于垫圈与螺栓之间，所述吸水海绵的厚度小于所述垫圈的厚度。本实用新型在垫圈的外侧设有厚度较小的吸水海绵，使得在螺栓完全锁紧后，能形成由外向内依次设置的水封层、吸水海绵及压缩后的垫圈，通过三种不同的密封形式，可靠提升整体的密封效果，还可以降低垫圈的更换频率，延长垫圈的使用周期。

Description

气相沉积炉炉盖密封装置

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，具体涉及一种气相沉积炉炉盖密封装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

现有的化学气相沉积炉由于炉体内的压力基本与外界大气压基本相同，密封装置采用常见的密封垫对炉体进出口处进行密封，但是在长时间使用后，密封垫不可避免的会产生一定程度且不可恢复的形变，而在刚开始产生形变时，肉眼无法观察，不会进行密封垫的维护更换，导致密封效果逐渐下降。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种气相沉积炉炉盖密封装置。

本实用新型采用如下技术方案实现：气相沉积炉炉盖密封装置，设于炉体的顶部，所述炉体的顶部外缘设有法兰盘，炉盖适配地盖设在所述法兰盘上，所述炉盖与所述法兰盘之间通过螺栓锁紧，包括垫圈和设于垫圈外缘的吸水海绵，所述法兰盘的顶部与所述炉盖的底部均设有环状的凹槽，一对凹槽与垫圈同轴设置，所述垫圈设于一对凹槽之间；

所述吸水海绵环设在所述垫圈的外壁上、且位于垫圈与螺栓之间，所述吸水海绵的厚度小于所述垫圈的厚度。

本实用新型的优选实施方式在于，所述垫圈的压缩形变量小于所述吸水海绵的底部与法兰盘的顶部及所述吸水海绵的顶部与炉盖的底部之间的距离之和。

本实用新型的优选实施方式在于，所述法兰盘的顶部与所述炉盖的底部还均设有环状的储水槽，所述储水槽靠近所述吸水海绵。

本实用新型的优选实施方式在于，所述垫圈的顶部及底部均设有变形条，所述变形条通过粘接的方式固定。

本实用新型的优选实施方式在于，所述变形条的厚度小于所述垫圈的厚度，所述变形条的形变量大于所述垫圈的形变量。

本实用新型的优选实施方式在于，所述吸水海绵呈管状且首尾相连，所述吸水海绵内存在用于储水的空腔。

相比现有技术，本实用新型的有益效果是：

1、在垫圈的外侧设有厚度较小的吸水海绵，使得在螺栓完全锁紧后，能形成由外向内依次设置的水封层、吸水海绵及压缩后的垫圈，通过三种不同的密封形式，可靠提升整体的密封效果，还可以降低垫圈的更换频率，延长垫圈的使用周期；

2、通过对吸水海绵的厚度的合理限制，确保吸水海绵内的水只会向外扩散、形成水封，不会渗透到炉体的内部。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是图1中A处放大结构示意图；

图3是图2的动作状态参考图；

图4是垫圈的结构示意图；

图中：1、炉体；2、法兰盘；21、凹槽；22、储水槽；3、炉盖；4、螺栓；5、垫圈；50、变形条；6、吸水海绵；7、水封层。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

如图1-4所示，气相沉积炉炉盖密封装置，设于炉体1的顶部，所述炉体1的顶部外缘设有法兰盘2，炉盖3适配地盖设在所述法兰盘2上，所述炉盖3与所述法兰盘2之间通过螺栓4锁紧，包括垫圈5和设于垫圈5外缘的吸水海绵6，所述法兰盘2的顶部与所述炉盖3的底部均设有环状的凹槽21，一对凹槽21与垫圈5同轴设置，所述垫圈5设于一对凹槽21之间；

所述吸水海绵6环设在所述垫圈5的外壁上、且位于垫圈5与螺栓4之间，所述吸水海绵6的厚度小于所述垫圈5的厚度。垫圈5与吸水海绵6之间固定连接，在装配垫圈5前，清理法兰盘2及炉盖3，然后在吸水海绵6上浇水使其饱和，再将垫圈5放置在炉盖3及法兰盘2之间，此时，垫圈5的顶部与炉盖3接触、底部与法兰盘2接触，而吸水海绵6处于悬空状态，当螺栓4锁紧开始锁紧时，炉盖3与法兰盘2之间的距离变小，垫圈5被挤压产生向四周延展的形变，厚度会降低，这样，会导致炉盖3及法兰盘2与吸水海绵6接触，并使得吸水海绵6被压缩，从而使得吸水海绵6内的大部分水被挤出，并停留在炉盖3与法兰盘2之间、形成水封，同时被压缩的且含有少量水的吸水海绵6也能形成一层密封，也就是说，在螺栓4完全锁紧后，由外向内依次包括水封层7、吸水海绵6及压缩后的垫圈5，通过三种不同的密封形式，可靠提升整体的密封效果，能够弥补垫圈5微量磨损而造成的密封性能的损失，确保整体密封效果好，且可以降低垫圈5的更换频率，延长垫圈5的使用周期。

所述垫圈5的压缩形变量小于所述吸水海绵6的底部与法兰盘2的顶部及所述吸水海绵6的顶部与炉盖3的底部之间的距离之和。也就是说，螺栓4的锁紧及炉盖3与法兰盘2之间的距离的缩短，会先导致垫圈5产生形变、达到基础的密封作用，然后吸水海绵6才会被压缩，这样，可以防止吸水海绵6与垫圈5同时被压缩而造成吸水海绵6内的水渗透到炉体1的内侧。

所述法兰盘2的顶部与所述炉盖3的底部还均设有环状的储水槽22，所述储水槽22靠近所述吸水海绵6。吸水海绵6压缩后排出的水会进入到一对储水槽22内，从而扩大了水封的高度，并使得水封层7的存在更加稳固，提高水封效果。

所述垫圈5的顶部及底部均设有变形条50，所述变形条50通过粘接的方式固定。

所述变形条50的厚度小于所述垫圈5的厚度，所述变形条50的形变量大于所述垫圈5的形变量。变形条50更加容易产生形变，能够在垫圈5的顶部及底部形成同心的厚度极小的密封圈，提高整体的密封效果。

所述吸水海绵6呈管状且首尾相连，所述吸水海绵6内存在用于储水的空腔。当吸水海绵6呈管状时，吸水海绵6内能够容纳更多的水用于形成范围更大的水封层7，特能提高水封层7的作用时间，防止水封层7因水分蒸发而失效。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (6)

1.气相沉积炉炉盖密封装置，设于炉体(1)的顶部，所述炉体(1)的顶部外缘设有法兰盘(2)，炉盖(3)适配地盖设在所述法兰盘(2)上，所述炉盖(3)与所述法兰盘(2)之间通过螺栓(4)锁紧，其特征在于，包括垫圈(5)和设于垫圈(5)外缘的吸水海绵(6)，所述法兰盘(2)的顶部与所述炉盖(3)的底部均设有环状的凹槽(21)，一对凹槽(21)与垫圈(5)同轴设置，所述垫圈(5)设于一对凹槽(21)之间；

所述吸水海绵(6)环设在所述垫圈(5)的外壁上、且位于垫圈(5)与螺栓(4)之间，所述吸水海绵(6)的厚度小于所述垫圈(5)的厚度。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉炉盖密封装置，其特征在于：所述垫圈(5)的压缩形变量小于所述吸水海绵(6)的底部与法兰盘(2)的顶部及所述吸水海绵(6)的顶部与炉盖(3)的底部之间的距离之和。

3.根据权利要求2所述的气相沉积炉炉盖密封装置，其特征在于：所述法兰盘(2)的顶部与所述炉盖(3)的底部还均设有环状的储水槽(22)，所述储水槽(22)靠近所述吸水海绵(6)。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉炉盖密封装置，其特征在于：所述垫圈(5)的顶部及底部均设有变形条(50)，所述变形条(50)通过粘接的方式固定。

5.根据权利要求4所述的气相沉积炉炉盖密封装置，其特征在于：所述变形条(50)的厚度小于所述垫圈(5)的厚度，所述变形条(50)的形变量大于所述垫圈(5)的形变量。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉炉盖密封装置，其特征在于：所述吸水海绵(6)呈管状且首尾相连，所述吸水海绵(6)内存在用于储水的空腔。