CN215560786U - 一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，包括：基座，其水平设置于厂房内部，且所述基座的上端一侧安装有固定座，并且所述固定座的内部左侧安装有循环冷却水箱；通管，其固定安装于所述基座的内部，且所述通管的上端与所述水泵的一端相互连接；冷凝管，其连接于所述通管的一端，且所述冷凝管螺旋缠绕在单晶炉本体的外侧；流通室，其开设于所述基座的上端一侧，且所述流通室的上端左右两侧分别安装有单向流入阀和单向流出阀；第一连杆，其轴连接于所述基座的中部一侧。该大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，可减少冷凝管在使用时的消耗，增强冷却效果，同时可对氩气的流量进行控制，避免浪费。

Description

一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置

技术领域

本实用新型涉及硅单晶生产相关技术领域，具体为一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置。

背景技术

大尺寸单晶硅晶棒在炉内自然冷却过程中，由于内部热应力无法及时释放，极易导致晶棒出现晶裂，故而需要利用冷却散热装置来促进冷却速度，然而现有的大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置还存在以下问题：

公开号为CN210636089U的一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置，通过设置有多个视线孔，以便观察单晶的生长，在保证晶体结晶区温度维持在硅结晶点温度的前提下，加快晶体表面热量散失，增加晶体轴向温度梯度，促进单晶拉速提升，然而该冷却散热装置在使用过程中，制冷装置的制冷效果将逐渐下降，进而将影响单晶炉的冷却效果，同时现有大多通过加入氩气对进行单晶炉进行冷却，但不便对氩气的流量进行控制，造成一定的浪费。

所以我们提出了一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的冷却散热装置在使用过程中，制冷效果将逐渐下降，进而影响单晶炉的冷却效果，同时现有大多通过加入氩气对进行单晶炉进行冷却，但不便对氩气的流量进行控制，造成一定的浪费的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，包括：

基座，其水平设置于厂房内部，且所述基座的上端一侧安装有固定座，并且所述固定座的内部左侧安装有循环冷却水箱，而且所述循环冷却水箱的内部设置有水泵；

通管，其固定安装于所述基座的内部，且所述通管的上端与所述水泵的一端相互连接，并且所述通管的内部轴连接有叶轮，而且所述叶轮的一端轴承安装于支架的侧部，同时所述支架固定于所述基座的内部；

冷凝管，其连接于所述通管的一端，且所述冷凝管螺旋缠绕在单晶炉本体的外侧，并且所述单晶炉本体的上端开设有入风口；

流通室，其开设于所述基座的上端一侧，且所述流通室的上端左右两侧分别安装有单向流入阀和单向流出阀，并且所述单向流出阀与所述入风口相连通；

第一连杆，其轴连接于所述基座的中部一侧。

优选的，所述基座的内部轴承安装有转盘，且所述转盘的端部侧边轴连接有调节杆，并且所述转盘与所述叶轮的一端套设连接有同步带，使得叶轮可以通过同步带带动转盘一同转动。

优选的，所述调节杆的一端轴连接在控制板的底部，且所述控制板与所述流通室的内壁相互贴合，使得转盘转动后，可以通过调节杆带动控制板在流通室内进行上下活动。

优选的，所述第一连杆的一端轴连接有活动板，且所述活动板的右侧与第二连杆之间通过第三连杆构成连动结构，并且所述第二连杆的一端轴安装于所述基座的中部右侧，使得当第二连杆转动后，可以通过第一连杆、第二连杆和第三连杆实现活动板的摆动。

优选的，所述活动板的内部嵌入安装有电机，且所述电机的输出端键连接有蜗杆，并且所述蜗杆的一端等角度分布有扇叶，使得当电机启动后，扇叶可以对冷凝管进行风冷，提高冷凝管的冷却效果。

优选的，所述蜗杆的上端啮合有蜗轮，且所述蜗轮的一端固定在所述第三连杆的端部，使得可以通过啮合作用，带动蜗轮一端连接的第三连杆进行转动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置；

1、设置有转盘和控制板，使得当循环冷却水箱内部的冷却水通过通管时，叶轮可以通过同步带带动转盘进行转动，进而在调节杆的控制下，可以带动控制板在流通室内进行上下活动，进而可以对单晶炉内进行定量通入氩气，提高冷却效果，避免氩气的浪费；

2、设置有活动板和第三连杆，使得当电机启动后，带动扇叶进行转动，对冷凝管进行冷却，提高冷凝管的冷却效果，并且可以通过蜗杆和蜗轮的啮合作用，带动第三连杆进行转动，进而第二连杆可以进行摆动，同时带动活动板一端安装的扇叶进行运动，扩大风冷面积，提高散热效果。

附图说明

图1为本实用新型正剖结构示意图；

图2为本实用新型基座正剖结构示意图；

图3为本实用新型转盘侧剖结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处放大构示意图；

图5为本实用新型活动板转动后正剖结构示意图。

图中：1、基座；2、固定座；3、循环冷却水箱；4、水泵；5、通管；6、冷凝管；7、单晶炉本体；8、入风口；9、叶轮；10、支架；11、流通室；12、单向流入阀；13、单向流出阀；14、控制板；15、转盘；16、调节杆；17、同步带；18、第一连杆；19、第二连杆；20、活动板；201、电机；202、蜗杆；203、扇叶；204、蜗轮；21、第三连杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，包括基座1、固定座2、循环冷却水箱3、水泵4、通管5、冷凝管6、单晶炉本体7、入风口8、叶轮9、支架10、流通室11、单向流入阀12、单向流出阀13、控制板14、转盘15、调节杆16、同步带17、第一连杆18、第二连杆19、活动板20、电机201、蜗杆202、扇叶203、蜗轮204和第三连杆21：

基座1，其水平设置于厂房内部，且基座1的上端一侧安装有固定座2，并且固定座2的内部左侧安装有循环冷却水箱3，而且循环冷却水箱3的内部设置有水泵4；

通管5，其固定安装于基座1的内部，且通管5的上端与水泵4的一端相互连接，并且通管5的内部轴连接有叶轮9，而且叶轮9的一端轴承安装于支架10的侧部，同时支架10固定于基座1的内部；

冷凝管6，其连接于所述通管5的一端，且冷凝管6螺旋缠绕在单晶炉本体7的外侧，并且单晶炉本体7的上端开设有入风口8；

流通室11，其开设于基座1的上端一侧，且流通室11的上端左右两侧分别安装有单向流入阀12和单向流出阀13，并且单向流出阀13与入风口8相连通；

第一连杆18，其轴连接于基座1的中部一侧；

基座1的内部轴承安装有转盘15，且转盘15的端部侧边轴连接有调节杆16，并且转盘15与叶轮9的一端套设连接有同步带17，如图1-3所示，使得当循环冷却水箱3内的冷却水通过通管5时，可以带动叶轮9进行转动，进而在同步带17的作用下，转盘15可以实现同步转动；

调节杆16的一端轴连接在控制板14的底部，且控制板14与流通室11的内壁相互贴合，如图3所示，使得当转盘15转动后，转盘15可以通过调节杆16带动控制板14进行上下活动，当向下活动时，流通室11形成负压，氩气可以通过单向流入阀12进入流通室11内，而当向上活动时，流通室11内的氩气可以依次通过单向流出阀13和入风口8进入单晶炉本体7的内部，进而实现对氩气的流量控制，减少氩气的浪费；

第一连杆18的一端轴连接有活动板20，且活动板20的右侧与第二连杆19之间通过第三连杆21构成连动结构，并且第二连杆19的一端轴安装于基座1的中部右侧，活动板20的内部嵌入安装有电机201，且电机201的输出端键连接有蜗杆202，并且蜗杆202的一端等角度分布有扇叶203，如图1和图4-5所示，使得当电机201启动后，可以带动蜗杆202和扇叶203进行同步转动，进而扇叶203可以对冷凝管6进行风冷散热，提高冷凝管6的冷却效果；

蜗杆202的上端啮合有蜗轮204，且蜗轮204的一端固定在第三连杆21的端部，如图1和图4-5所示，使得当蜗杆202转动后，蜗轮204由于啮合于蜗杆202，故而可以带动第三连杆21进行转动，当第三连杆21转动后，可以带动第二连杆19进行左右来回摆动，进而可以带动活动板20进行上下摆动，从而活动板20一端安装的扇叶203可以扩大风冷面积，提高散热效果。

工作原理：在使用该大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置时，如图1-5所示，将基座1放置于厂房内部，并利用现有的软管将流通室11所安装的单向流出阀13和单晶炉本体7所开设的入风口8进行连接，并将冷凝管6呈螺旋状缠绕在单晶炉本体7的外侧，启动水泵4和电机201，冷却水经过通管5内时，通过叶轮9和同步带17带动转盘15进行转动，进而可以带动控制板14进行上下活动，从而可以向单晶炉本体7进行定量输送氩气，避免氩气的浪费，同时电机201带动扇叶203对冷凝管6进行风冷散热，提高冷凝管6的冷却效果，同时在第一连杆18、第二连杆19和第三连杆21之间的配合作用下，实现活动板20的上下摆动，可以扩大扇叶203的风冷面积，提高散热效果。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于，包括：

基座，其水平设置于厂房内部，且所述基座的上端一侧安装有固定座，并且所述固定座的内部左侧安装有循环冷却水箱，而且所述循环冷却水箱的内部设置有水泵；

通管，其固定安装于所述基座的内部，且所述通管的上端与所述水泵的一端相互连接，并且所述通管的内部轴连接有叶轮，而且所述叶轮的一端轴承安装于支架的侧部，同时所述支架固定于所述基座的内部；

冷凝管，其连接于所述通管的一端，且所述冷凝管螺旋缠绕在单晶炉本体的外侧，并且所述单晶炉本体的上端开设有入风口；

流通室，其开设于所述基座的上端一侧，且所述流通室的上端左右两侧分别安装有单向流入阀和单向流出阀，并且所述单向流出阀与所述入风口相连通；

第一连杆，其轴连接于所述基座的中部一侧。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于：所述基座的内部轴承安装有转盘，且所述转盘的端部侧边轴连接有调节杆，并且所述转盘与所述叶轮的一端套设连接有同步带。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于：所述调节杆的一端轴连接在控制板的底部，且所述控制板与所述流通室的内壁相互贴合。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于：所述第一连杆的一端轴连接有活动板，且所述活动板的右侧与第二连杆之间通过第三连杆构成连动结构，并且所述第二连杆的一端轴安装于所述基座的中部右侧。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于：所述活动板的内部嵌入安装有电机，且所述电机的输出端键连接有蜗杆，并且所述蜗杆的一端等角度分布有扇叶。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸硅单晶生产用单晶炉冷却散热装置，其特征在于：所述蜗杆的上端啮合有蜗轮，且所述蜗轮的一端固定在所述第三连杆的端部。

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