CN215549942U - 一种硅晶棒成型用切削设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅晶棒成型用切削设备，包括保护盒、电动推杆和底座，所述底座的顶部固定安装有安装卡座，所述底座的顶部固定安装有保护盒，所述保护盒顶部的一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的底部固定安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的底部固定安装有顶块，所述底座的顶部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底部固定安装有步进电机，所述电动推杆正面的一侧设置有滑块，所述滑块的一侧固定安装有刀具夹，本实用新型通过保护盒可将加工空间形成一个相对封闭的空间，从而能有效的避免在加工过程中硅晶棒沾染到其他金属或者物质的问题，解决了传统的加工方式容易对硅晶棒造成污染的问题。

Description

一种硅晶棒成型用切削设备

技术领域

本实用新型涉及切削设备，特别涉及一种硅晶棒成型用切削设备，属于半导体生产技术领域。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，但是半导体的原材料为硅，在生产过程中会将硅结晶成硅晶棒，但是由于结晶出的硅晶棒，整体形状不为圆柱形，从而需要对硅晶棒再次进行加工，达到所需要的形状。

而现有的对硅晶棒加工的设备一般为采用切削设备，但是现在切削设备大部分都是切割普通的金属不适用与硅晶体的切割，导致加工速度慢等问题，同时由于半导体加工对于硅晶体有一定的要求，而普通的切割装置都是直接将硅晶棒暴露在空气当中加工，很有可能导致在切削的过程中，空气当中的金属颗粒沾染在硅晶棒当中影响硅晶棒纯度的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在提供一种硅晶棒成型用切削设备，以解决上述背景技术中提出的现有的对硅晶棒加工的设备一般为采用切削设备，但是现在切削设备大部分都是切割普通的金属不适用与硅晶体的切割，以及普通的切割装置都是直接将硅晶棒暴露在空气当中加工，很有可能导致在切削的过程中，空气当中的金属颗粒沾染在硅晶棒当中影响硅晶棒纯度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅晶棒成型用切削设备，包括保护盒、电动推杆和底座，所述底座的顶部固定安装有安装卡座，所述底座的顶部固定安装有保护盒，所述保护盒顶部的一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的底部固定安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的底部固定安装有顶块，所述底座的顶部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底部固定安装有步进电机，所述电动推杆正面的一侧设置有滑块，所述滑块的一侧固定安装有刀具夹。

优选的，所述刀具夹的一端固定安装有切削刀，所述刀具夹的正面设置有紧固轮手，所述刀具夹的一端通过第二电动伸缩杆与滑块连接。

优选的，所述安装卡座顶部的内侧固定安装有连接杆，所述连接杆的顶部固定安装有安装板，所述安装板的顶部固定安装有底板。

优选的，所述底板的顶部固定安装有轴座，所述轴座的内侧通过转轴安装有底块。

优选的，所述保护盒的正面通过铰链安装有保护门，所述保护门的正面设置有观察窗，所述观察窗正面的一侧设置有把手。

优选的，所述底座的底部固定安装有支撑脚，所述底座的正面通过螺栓安装有维修门板。

优选的，所述底座内侧的底部设置有收集盒，所述收集盒的底部固定安装有负压风机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型一种硅晶棒成型用切削设备，通过设置有的保护盒可将加工空间形成一个相对封闭的空间，从而能有效的避免在加工过程中硅晶棒沾染到其他金属或者物质的问题，解决了传统的加工方式容易对硅晶棒造成污染的问题，同时通过采用的伺服电机带动底部的硅晶棒进行转动，从而使其本装置可将硅晶棒加工的更规则，避免传统单纯采用切割方式而产生的加工效率底，效果比较差等问题，在保持硅晶棒形状的同时，也能最大限度的减速硅晶棒的浪费，降低半导体生产成本。

2、本实用新型一种硅晶棒成型用切削设备，通过采用的安装卡座设置有通孔，从而方便碎屑掉落，同时底部的负压风机可将产生的碎屑吸收聚集，方便对产生的残渣再次进行回收利用，通过采用的电动推杆可自动的控制刀具的位置，从而避免在切削是人工操作而导致精度下降的问题发生，同时使用刀具架固定刀具，可及时的对损坏刀具进行更换，保持本装置切削的效果。

附图说明

图1为本实用新型内部结构示意图；

图2为本实用新型整体结构示意图；

图3为本实用新型安装卡座结构示意图；

图4为本实用新型切削部件的结构示意图。

图中：1、伺服电机；2、保护盒；3、电动推杆；4、底座；5、步进电机；6、第一电动伸缩杆；7、顶块；8、安装卡座；9、收集盒；10、负压风机；11、保护门；12、观察窗；13、把手；14、维修门板；15、安装板；16、底板；17、底块；18、轴座；19、连接杆；20、第二电动伸缩杆；21、滑块；22、刀具夹；23、切削刀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种硅晶棒成型用切削设备，包括保护盒2、电动推杆3和底座4，底座4的顶部固定安装有安装卡座8，安装卡座8可用于固定安装有硅晶棒，避免在加工过程中硅晶棒发生晃动的问题，底座4的顶部固定安装有保护盒2，保护盒2对硅晶棒的加工过程进行保护，防止发生硅晶棒晃动的问题产生，保护盒2顶部的一侧固定安装有伺服电机1，伺服电机1可带动底部的第一电动伸缩杆6与顶块7转动，同时通过顶块7带动硅晶棒进行转动，伺服电机1可用于伺服电机1的底部固定安装有第一电动伸缩杆6，通过采用的第一电动伸缩杆6可带动底部的顶块7位置进行调节，使其本装置可适用不同长度的硅晶棒，第一电动伸缩杆6的底部固定安装有顶块7，底座4的顶部固定安装有电动推杆3，电动推杆3的底部固定安装有步进电机5，步进电机5可带动顶部的电动推杆3转动，调节电动推杆3一侧的滑块21位置，而使用步进电机相较于传统的电机使用控制效果更好，电动推杆3正面的一侧设置有滑块21，滑块21的一侧固定安装有刀具夹22，刀具夹22可及时的对损坏刀具进行更换，保持本装置切削的效果。

本实用新型中：刀具夹22的一端固定安装有切削刀23，切削刀23完成对硅晶棒的切削，刀具夹22的正面设置有紧固轮手，紧固轮手用于固定切削刀23防止自行脱离的问题发生，刀具夹22的一端通过第二电动伸缩杆20与滑块21连接。

本实用新型中：安装卡座8顶部的内侧固定安装有连接杆19，连接杆19用于固定顶部的安装板15，连接杆19的顶部固定安装有安装板15，安装板15用于底板16，安装板15的顶部固定安装有底板16，底板16可用于固定顶部的轴座18，同时可更换不同的轴座18类型，适用于不同的硅晶体。

本实用新型中：底板16的顶部固定安装有轴座18，轴座18可方便顶部的底块17转到，同时通过采用的底块17可对硅晶棒的底部进行固定，轴座18的内侧通过转轴安装有底块17。

本实用新型中：保护盒2的正面通过铰链安装有保护门11，保护门11将加工空间形成一个相对封闭的空间，从而能有效的避免在加工过程中硅晶棒沾染到其他金属或者物质的问题，保护门11的正面设置有观察窗12，观察窗12方便人员观察加工过程，观察窗12正面的一侧设置有把手13，把手13方便打开本装置，提高装置使用的便利性。

本实用新型中：底座4的底部固定安装有支撑脚，支撑脚可支撑固定本装置，底座4的正面通过螺栓安装有维修门板14。

本实用新型中：底座4内侧的底部设置有收集盒9，收集盒9用于收集顶部的硅晶棒的碎屑，同时可通过负压风机10将碎屑吸入，收集盒9的底部固定安装有负压风机10，负压风机10采用风机与收集盒用于收集碎屑。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种硅晶棒成型用切削设备，包括保护盒(2)、电动推杆(3)和底座(4)，其特征在于，所述底座(4)的顶部固定安装有安装卡座(8)，所述底座(4)的顶部固定安装有保护盒(2)，所述保护盒(2)顶部的一侧固定安装有伺服电机(1)，所述伺服电机(1)的底部固定安装有第一电动伸缩杆(6)，所述第一电动伸缩杆(6)的底部固定安装有顶块(7)，所述底座(4)的顶部固定安装有电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的底部固定安装有步进电机(5)，所述电动推杆(3)正面的一侧设置有滑块(21)，所述滑块(21)的一侧固定安装有刀具夹(22)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述刀具夹(22)的一端固定安装有切削刀(23)，所述刀具夹(22)的正面设置有紧固轮手，所述刀具夹(22)的一端通过第二电动伸缩杆(20)与滑块(21)连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述安装卡座(8)顶部的内侧固定安装有连接杆(19)，所述连接杆(19)的顶部固定安装有安装板(15)，所述安装板(15)的顶部固定安装有底板(16)。

4.根据权利要求3所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述底板(16)的顶部固定安装有轴座(18)，所述轴座(18)的内侧通过转轴安装有底块(17)。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述保护盒(2)的正面通过铰链安装有保护门(11)，所述保护门(11)的正面设置有观察窗(12)，所述观察窗(12)正面的一侧设置有把手(13)。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述底座(4)的底部固定安装有支撑脚，所述底座(4)的正面通过螺栓安装有维修门板(14)。

7.根据权利要求1所述的一种硅晶棒成型用切削设备，其特征在于：所述底座(4)内侧的底部设置有收集盒(9)，所述收集盒(9)的底部固定安装有负压风机(10)。

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