CN215543044U - 一种真空镀膜机的观察窗 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空镀膜机的观察窗，包括装配窗体；所述装配窗体主体为长方体结构，装配窗体外侧固定安装有定位载框，装配窗体底部固定安装有承载框，承载框主体截面形状为“L”形结构，装配窗体一侧底部开设有收纳载槽，承载箱框内侧固定安装有排放结构；装配载板，所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧；调节载轴与装配轴凸之间配合，带动装配载筒进行位置调节，从而使清理辊对观察玻板进行挤压摩擦清理，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。

Description

一种真空镀膜机的观察窗

技术领域

本实用新型属于工件加工辅助装置技术领域，更具体地说，特别涉及一种真空镀膜机的观察窗。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，在持续密闭的镀膜过程时，观察窗容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察。

如申请号为：CN201821022686.4的专利中，公开了一种真空镀膜机的观察基板窗口，包括镀膜机壳体和开设在镀膜机壳体上的第一圆型孔，第一圆型孔内嵌套有透明板，所述镀膜机壳体的一侧内壁上开设有滑槽，且滑槽位于透明板的上方，所述滑槽的上方设有开设在镀膜机壳体上的第一空腔，且第一空腔内固定安装有电机，所述电机的输出轴延伸至滑槽内并固定安装有丝杆，且丝杆的底端与滑槽的底部内壁转动安装，所述丝杆上螺纹套装有与滑槽侧壁滑动安装的移动座，且移动座的底部开设有矩型槽。本实用新型结构简单，能够有效地擦拭透明板上的气雾，使得人员能够清晰的通过透明板进行观察，且便于长久使用，有利于人员的使用。

基于上述，目前传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空镀膜机的观察窗，以解决目前传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。

本实用新型一种真空镀膜机的观察窗的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种真空镀膜机的观察窗，包括装配窗体；

所述装配窗体主体为长方体结构，装配窗体外侧固定安装有定位载框，装配窗体底部固定安装有承载框，承载框主体截面形状为“L”形结构，装配窗体一侧底部开设有收纳载槽，装配窗体内侧固定安装有清理机构；

承载箱框，所述承载箱框固定安装于收纳载槽内侧，承载箱框内侧固定安装有排放结构；

装配载板，所述装配载板固定安装于承载箱框顶部一侧。

进一步的，所述装配窗体包括：

装配开槽，装配开槽贯穿开设于装配窗体一侧；

观察玻板，观察玻板固定安装于装配开槽内侧；

控制面板，控制面板固定安装于装配窗体一侧底端。

进一步的，所述定位载框包括：

伺服电机，伺服电机固定安装于定位载框立面；

限位支件，限位支件固定安装于定位载框一侧；

传动连件，传动连件固定安装于伺服电机电机轴末端。

进一步的，所述承载框包括：

储存罐，储存罐固定安装于承载框内侧；

连接管，连接管设置于储存罐一端，连接管末端与输送器相连接；

输送器，输送器固定安装于装配窗体底部；

输送管，输送管固定设置于输送器一侧。

进一步的，所述清理机构包括：

安装开槽，安装开槽开设于装配窗体内侧；

装配轴凸，装配轴凸一体式设置于安装开槽两端；

调节载轴，调节载轴安装于装配轴凸之间；

装配载筒，装配载筒活动安装于调节载轴外侧；

清理辊，清理辊一体式设置于装配载筒内侧。

进一步的，所述承载箱框包括：

承载转轴，承载转轴转动安装于承载箱框内侧；

传动接件，传动接件一体式设置于承载转轴两端；

挤压辊，挤压辊转动安装于承载转轴外侧；

限位遮框，限位遮框一体式设置于承载箱框顶部一端；

限位开槽，限位开槽开设于限位遮框一侧。

进一步的，所述排放结构包括：

支撑轴柱，支撑轴柱固定安装于导向凸垫顶部；

导向凸垫，导向凸垫固定安装于承载箱框内侧；

排放开孔，排放开孔贯穿开设于导向凸垫一端；

排出管，排出管一体式设置于导向凸垫底部；

限位支块，限位支块一体式设置于承载箱框一侧。

进一步的，所述装配载板包括：

紧固件，紧固件固定安装于装配载板两端；

喷头，喷头固定安装于装配载板顶部；

转接管，转接管固定设置于喷头底部，转接管另一端与输送管相连接。

本实用新型至少包括以下有益效果：

1、本实用新型通过设置承载框与清理机构，储存罐能够对清洗液进行储存，输送器通过连接管与输送管配合，能够将清洗液运输到转接管，进而便于后续清理机构的高效清理，调节载轴与装配轴凸之间配合，带动装配载筒进行位置调节，从而使清理辊对观察玻板进行挤压摩擦清理，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。

2、本实用新型通过设置装配窗体与定位载框，装配开槽与观察玻板之间配合，便于对镀膜过程进行实时观察，伺服电机与传动连件配合，能够带动调节载轴与承载转轴进行转动，以便于后续快速对观察玻板与清理辊进行清理。

3、本实用新型通过设置承载箱框、排放结构与装配载板，转接管与喷头之间配合，能够将输送器输送的清洗液对挤压辊进行喷射，同时挤压辊对清理辊进行转动挤压，从而对附着污渍的清理辊进行清洗，以便于后续持续对观察玻板进行挤压摩擦清理，限位遮框与限位开槽之间配合，能够在清理辊进行清洗时进行遮挡，承载箱框对清洗的污水进行集中储存，然后通过排放开孔与排出管进行集中排放。

附图说明

图1是本实用新型的主体主视结构示意图。

图2是本实用新型的装配窗体剖面装配主视示意图。

图3是本实用新型的装配窗体剖面装配仰视示意图。

图4是本实用新型的装配窗体剖面结构示意图。

图5是本实用新型的承载箱框装配主视示意图。

图6是本实用新型的承载箱框装配仰视示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、装配窗体；

101、装配开槽；102、观察玻板；103、控制面板；104、定位载框；1041、伺服电机；1042、限位支件；1043、传动连件；105、承载框；1051、储存罐；1052、连接管；1053、输送器；1054、输送管；106、安装开槽；1061、装配轴凸；1062、调节载轴；1063、装配载筒；1064、清理辊；107、收纳载槽；

2、承载箱框；

201、承载转轴；202、传动接件；203、挤压辊；204、限位遮框；205、限位开槽；206、支撑轴柱；2061、导向凸垫；2062、排放开孔；2063、排出管；2064、限位支块；

3、装配载板；

301、紧固件；302、喷头；303、转接管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图6所示：

本实用新型提供一种真空镀膜机的观察窗，包括装配窗体1；

装配窗体1主体为长方体结构，装配窗体1外侧固定安装有定位载框104，装配窗体1底部固定安装有承载框105，承载框105主体截面形状为“L”形结构，装配窗体1一侧底部开设有收纳载槽107，装配窗体1内侧固定安装有清理机构；承载箱框2，承载箱框2固定安装于收纳载槽107内侧，承载箱框2内侧固定安装有排放结构；装配载板3，装配载板3固定安装于承载箱框2顶部一侧。

如图3与图4所示，承载框105包括：

储存罐1051，储存罐1051固定安装于承载框105内侧；连接管1052，连接管1052设置于储存罐1051一端，连接管1052末端与输送器1053相连接；输送器1053，输送器1053固定安装于装配窗体1底部；输送管1054，输送管1054固定设置于输送器1053一侧；清理机构包括：安装开槽106，安装开槽106开设于装配窗体1内侧；装配轴凸1061，装配轴凸1061一体式设置于安装开槽106两端；调节载轴1062，调节载轴1062安装于装配轴凸1061之间；装配载筒1063，装配载筒1063活动安装于调节载轴1062外侧；清理辊1064，清理辊1064一体式设置于装配载筒1063内侧；通过承载框105与清理机构的设置，储存罐1051能够对清洗液进行储存，输送器1053通过连接管1052与输送管1054配合，能够将清洗液运输到转接管303，进而便于后续清理机构的高效清理，调节载轴1062与装配轴凸1061之间配合，带动装配载筒1063进行位置调节，从而使清理辊1064对观察玻板102进行挤压摩擦清理，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能，观察窗在使用时由于真空镀膜机内外温度不同，导致观察窗内侧容易附着雾气与污物，从而影响镀膜通过观察窗进行实时观察，进而导致镀膜出现误差的问题。

如图5与图6所示，承载箱框2包括：

承载转轴201，承载转轴201转动安装于承载箱框2内侧；传动接件202，传动接件202一体式设置于承载转轴201两端；挤压辊203，挤压辊203转动安装于承载转轴201外侧；限位遮框204，限位遮框204一体式设置于承载箱框2顶部一端；限位开槽205，限位开槽205开设于限位遮框204一侧；排放结构包括：支撑轴柱206，支撑轴柱206固定安装于导向凸垫2061顶部；导向凸垫2061，导向凸垫2061固定安装于承载箱框2内侧；排放开孔2062，排放开孔2062贯穿开设于导向凸垫2061一端；排出管2063，排出管2063一体式设置于导向凸垫2061底部；限位支块2064，限位支块2064一体式设置于承载箱框2一侧；装配载板3包括：紧固件301，紧固件301固定安装于装配载板3两端；喷头302，喷头302固定安装于装配载板3顶部；喷头302使用雾化喷头，雾化喷头是将有压水流通过喷头302喷射到空中，水流呈雾状散落，从而使水流能够均匀散落；转接管303，转接管303固定设置于喷头302底部，转接管303另一端与输送管1054相连接；通过承载箱框2、排放结构与装配载板3的设置，转接管303与喷头302之间配合，能够将输送器1053输送的清洗液对挤压辊203进行喷射，同时挤压辊203对清理辊1064进行转动挤压，从而对附着污渍的清理辊1064进行清洗，以便于后续持续对观察玻板102进行挤压摩擦清理，限位遮框204与限位开槽205之间配合，能够在清理辊1064进行清洗时进行遮挡，承载箱框2对清洗的污水进行集中储存，然后通过排放开孔2062与排出管2063进行集中排放。

如图1所示，装配窗体1包括：

装配开槽101，装配开槽101贯穿开设于装配窗体1一侧；观察玻板102，观察玻板102固定安装于装配开槽101内侧；控制面板103，控制面板103固定安装于装配窗体1一侧底端；定位载框104包括：伺服电机1041，伺服电机1041固定安装于定位载框104立面；限位支件1042，限位支件1042固定安装于定位载框104一侧；传动连件1043，传动连件1043固定安装于伺服电机1041电机轴末端；通过装配窗体1与定位载框104的设置，装配开槽101与观察玻板102之间配合，便于对镀膜过程进行实时观察，伺服电机1041与传动连件1043配合，能够带动调节载轴1062与承载转轴201进行转动，以便于后续快速对观察玻板102与清理辊1064进行清理。

另一实施例中，如图6所示，挤压辊203外侧能够加设挤压凸块，从而进一步对清理辊1064进行挤压，进而提高清理辊1064的清洗效果。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，在使用时，将装置安装到合适的位置，通过装配开槽101与观察玻板102之间配合，便于对镀膜过程进行实时观察，伺服电机1041与传动连件1043配合，带动调节载轴1062与承载转轴201进行转动，调节载轴1062与装配轴凸1061之间配合，带动装配载筒1063进行位置调节，从而使清理辊1064对观察玻板102进行挤压摩擦清理，储存罐1051对清洗液进行储存，输送器1053通过连接管1052与输送管1054配合，将清洗液运输到转接管303，转接管303与喷头302之间配合，将输送器1053输送的清洗液对挤压辊203进行喷射，同时挤压辊203对清理辊1064进行转动挤压，从而对附着污渍的清理辊1064进行清洗，以便于后续持续对观察玻板102进行挤压摩擦清理，限位遮框204与限位开槽205之间配合，在清理辊1064进行清洗时进行遮挡，承载箱框2对清洗的污水进行集中储存，然后通过排放开孔2062与排出管2063进行集中排放，以解决传统观察窗不具备内侧清理的功能。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于：包括装配窗体(1)；

所述装配窗体(1)外侧固定安装有定位载框(104)，装配窗体(1)底部固定安装有承载框(105)，装配窗体(1)一侧底部开设有收纳载槽(107)，装配窗体(1)内侧固定安装有清理机构；

承载箱框(2)，所述承载箱框(2)固定安装于收纳载槽(107)内侧，承载箱框(2)内侧固定安装有排放结构；

装配载板(3)，所述装配载板(3)固定安装于承载箱框(2)顶部一侧。

2.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述装配窗体(1)包括：

装配开槽(101)，装配开槽(101)贯穿开设于装配窗体(1)一侧；

观察玻板(102)，观察玻板(102)固定安装于装配开槽(101)内侧；

控制面板(103)，控制面板(103)固定安装于装配窗体(1)一侧底端。

3.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述定位载框(104)包括：

伺服电机(1041)，伺服电机(1041)固定安装于定位载框(104)立面；

限位支件(1042)，限位支件(1042)固定安装于定位载框(104)一侧；

传动连件(1043)，传动连件(1043)固定安装于伺服电机(1041)电机轴末端。

4.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述承载框(105)包括：

储存罐(1051)，储存罐(1051)固定安装于承载框(105)内侧；

连接管(1052)，连接管(1052)设置于储存罐(1051)一端，连接管(1052)末端与输送器(1053)相连接；

输送器(1053)，输送器(1053)固定安装于装配窗体(1)底部；

输送管(1054)，输送管(1054)固定设置于输送器(1053)一侧。

5.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述清理机构包括：

安装开槽(106)，安装开槽(106)开设于装配窗体(1)内侧；

装配轴凸(1061)，装配轴凸(1061)一体式设置于安装开槽(106)两端；

调节载轴(1062)，调节载轴(1062)安装于装配轴凸(1061)之间；

装配载筒(1063)，装配载筒(1063)活动安装于调节载轴(1062)外侧；

清理辊(1064)，清理辊(1064)一体式设置于装配载筒(1063)内侧。

6.如权利要求1所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述承载箱框(2)包括：

承载转轴(201)，承载转轴(201)转动安装于承载箱框(2)内侧；

传动接件(202)，传动接件(202)一体式设置于承载转轴(201)两端；

挤压辊(203)，挤压辊(203)转动安装于承载转轴(201)外侧；

限位遮框(204)，限位遮框(204)一体式设置于承载箱框(2)顶部一端；

限位开槽(205)，限位开槽(205)开设于限位遮框(204)一侧。

7.如权利要求6所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述排放结构包括：

支撑轴柱(206)，支撑轴柱(206)固定安装于导向凸垫(2061)顶部；

导向凸垫(2061)，导向凸垫(2061)固定安装于承载箱框(2)内侧；

排放开孔(2062)，排放开孔(2062)贯穿开设于导向凸垫(2061)一端；

排出管(2063)，排出管(2063)一体式设置于导向凸垫(2061)底部；

限位支块(2064)，限位支块(2064)一体式设置于承载箱框(2)一侧。

8.如权利要求4所述一种真空镀膜机的观察窗，其特征在于，所述装配载板(3)包括：

紧固件(301)，紧固件(301)固定安装于装配载板(3)两端；

喷头(302)，喷头(302)固定安装于装配载板(3)顶部；

转接管(303)，转接管(303)固定设置于喷头(302)底部，转接管(303)另一端与输送管(1054)相连接。

Images