CN215427726U - 一种金属剥离后回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种金属剥离后回收装置，包括第一过滤机构，该第一过滤机构包括第一过滤桶和设置在该第一过滤桶中的桶状过滤网，第一过滤桶中具有支撑台，过滤网底部设有开口，该开口对支撑台的支脚进行避让，并位于支撑台下方，且该开口的直径小于支撑台的直径；所述过滤网由若干弧形网片沿其周向顺次拼接而成，且各弧形网片可拆卸，支撑台与第一过滤桶之间的间隔允许各弧形网片进出支撑台下方的空间。本实用新型拆卸弧形网片时，不会受第一过滤桶中的支撑台阻挡，从而使过滤网方便拆卸、清洗，以便于重复使用。

Description

一种金属剥离后回收装置

技术领域

本实用新型涉及一种回收装置，特别是涉及一种金属剥离后回收装置。

背景技术

剥离工艺(Lift-off)是首先在基材上涂胶并光刻，然后再制备金属薄膜，在有光刻胶的地方，金属薄膜形成在光刻胶上，而没有光刻胶的地方，金属薄膜就直接形成在基材上。当使用溶剂去除基材上的光刻胶时，不需要的金属就随着光刻胶的溶解而脱落在溶剂中，而直接形成在基材上的金属部分则保留下来形成图形。剥离通常用于铂、金、硅化物和难熔金属的图形化。剥离工艺结束后，剩余的溶解液不仅含有大量的铂、金等贵金属，溶液本身还难以进行分解净化。为了降低成本以及保护环境，通常需要将这些贵金属回收重新利用。现有的回收装置一般包括多级过滤机构。其中，初级过滤机构不可拆卸，所以清洁内部金属碎屑只能采用镊子夹或用手捞取方式，操作及其不便。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的技术问题，提供了一种方便放拆过滤网的金属剥离后回收装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种金属剥离后回收装置，包括第一过滤机构，该第一过滤机构包括第一过滤桶和设置在该第一过滤桶中的桶状过滤网，第一过滤桶中具有支撑台，过滤网底部设有开口，该开口对支撑台的支脚进行避让，并位于支撑台下方，且该开口的直径小于支撑台的直径；所述过滤网由若干弧形网片沿其周向顺次拼接而成，且各弧形网片可拆卸，支撑台与第一过滤桶之间的间隔允许各弧形网片进出支撑台下方的空间。

进一步的，所述弧形网片包括弧形侧壁、位于该弧形侧壁底部内侧的弧形底壁，弧形侧壁和/或弧形底壁设有多个过滤孔，且弧形侧壁顶部设有弧形外翻边，该弧形外翻边靠在所述第一过滤桶上端。

进一步的，所述弧形外翻边通过螺丝或螺栓组件或卡扣定位在所述第一过滤桶上端边沿。

进一步的，所述弧形网片的数量为两个，该两弧形网片的周向轮廓分别呈半圆形，且该两弧形网片底端中心处分别具有半圆形孔，该两弧形网片在拼接状态，两半圆形孔组成所述开口。

进一步的，还包括设于第一过滤桶下部的排液管、第二过滤机构，其中，第二过滤机构通过排液管与第一过滤桶相连桶。

进一步的，所述第二过滤机构包括第二过滤桶和设置在该第二过滤桶内的过滤组件，该过滤组件包括由内而外依次嵌套的若干过滤杯，该若干过滤杯的过滤直径从内层到外层的方向逐层变小；所述第一过滤桶输出的液体经所述排液管进入内层过滤杯内，并通过该若干过滤杯逐层过滤后进入第二过滤桶内。

进一步的，所述过滤杯可拆卸，所述过滤杯的数量为两个，且内层的过滤杯悬空在外层的过滤杯中。

进一步的，还包括循环桶，该循环桶与所述第二过滤机构连通，且二者的连通管道上设置过滤器、回收泵；所述循环桶连通所述第一过滤桶，且二者的连通管道上沿液体的流动方向依次设置循环泵和加热器。

进一步的，所述过滤器的数量为两个，所述回收泵位于该两过滤器之间。

进一步的，所述循环桶内设置加热棒；所述循环桶侧壁顶部设有溢流口。

进一步的，所述支撑台设为可升降式。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

1、由于过滤网由若干弧形网片沿其周向顺次拼接而成，且各弧形网片可拆卸，支撑台与第一过滤桶之间的间隔允许各弧形网片进出支撑台下方的空间，使得过滤网可拆卸，且拆卸弧形网片时，不会受支撑台阻挡，从而使过滤网方便拆卸、清洗，以便于重复使用。

2、所述弧形网片的弧形侧壁顶部设有弧形外翻边，该弧形外翻边靠在所述第一过滤桶上端，能够利用该弧形外翻边实现过滤网的定位，使过滤网工作稳固。特别的，所述弧形外翻边进一步通过螺丝或螺栓组件或卡扣定位在所述第一过滤桶上端，使过滤网工作更稳固。

3、所述过滤杯可拆卸，使其可清洗、重复使用。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明；但本实用新型的一种金属剥离后回收装置不局限于实施例。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的过滤网的分解示意图；

图3是本实用新型的过滤网的立体构造示意图；

图4是本实用新型的过滤网与第一过滤桶在配合状态的立体构造示意图。

具体实施方式

实施例，请参见图1-图4所示，本实用新型的一种金属剥离后回收装置，包括第一过滤机构，该第一过滤机构包括第一过滤桶1和设置在该第一过滤桶1中的桶状过滤网2；第一过滤桶1中部具有圆形支撑台3，该支撑台3用于放置要金属剥离的晶圆片，该支撑台3底端设置的支脚31与第一过滤桶1底部连接，且该支撑台3设为可升降式。过滤网2底部设有圆形开口21，该开口21对支撑台3的支脚31进行避让，并位于支撑台3下方，且该开口21的直径小于支撑台3的直径。所述过滤网2由若干弧形网片22沿其周向顺次拼接而成，且各弧形网片22可拆卸，支撑台3与第一过滤桶1之间的间隔允许各弧形网片22进出支撑台3下方的空间。所述弧形网片22的数量具体为两个，但不局限于此，该两弧形网片22的周向轮廓分别呈半圆形，且该两弧形网片22底端中心处分别具有一半圆形孔225，该两弧形网片22在拼接状态，两半圆形孔225组成圆形的所述开口21。

本实施例中，所述弧形网片22包括弧形侧壁221、位于该弧形侧壁221底部内侧的弧形底壁222，弧形侧壁221和弧形底壁222分别设有多个过滤孔223，且弧形侧壁221顶部设有弧形外翻边224，该弧形外翻边224靠在所述第一过滤桶1上端，并进一步通过螺丝或螺栓组件或卡扣定位在所述第一过滤桶1上端。所述弧形底壁222的中心处即设有所述半圆形孔225。

本实施例中，本实用新型还包括排液管20和第二过滤机构，该第二过滤机构通过排液管与所述第一过滤桶1相连通。所述第二过滤机构具体包括第二过滤桶4和设置在该第二过滤桶4内的过滤组件，该过滤组件包括由内而外依次嵌套的若干过滤杯，该若干过滤杯的过滤直径从内层到外层的方向逐层变小；所述第一过滤桶1输出的液体经所述排液管20进入内层过滤杯内，并通过该若干过滤杯逐层过滤后进入第二过滤桶4内。具体，所述过滤杯的数量为两个，且内层的过滤杯6悬空在外层的过滤杯5中，内层的过滤杯6可以通过顶部设置外翻边，利用该外翻边搭在外层的过滤杯上端边沿的方式进行定位。两过滤杯5、6均可拆装。

本实施例中，本实用新型还包括循环桶9，该循环桶9与所述第二过滤机构连通，且二者的连通管道上设置过滤器、回收泵8；所述循环桶9连通所述第一过滤桶1，且二者的连通管道上沿液体的流动方向依次设置循环泵10和加热器11。所述过滤器的数量为两个，且处于上游的过滤器6为5um过滤器，处于下游的过滤器7为1um过滤器。所述回收泵8位于该两过滤器6、7之间。所述回收泵8和循环泵10均采用隔膜泵。所述过滤杯的过滤直径与过滤器的过滤直径接近，从而能够有效延长过滤器的使用寿命。

本实施例中，所述循环桶9内设置加热棒12，所述循环桶9侧壁顶部设有溢流口91，用于满液溢出，所述循环桶9还接通冷却水输入通道13和冷却水输出通道14，冷却水输入通道13和冷却水输出通道14上分别设置开关阀15、16。

本实用新型的一种金属剥离后回收装置，工作时，用于浸泡的液体(来自所述循环桶9)和金属剥离用的工艺液体进入第一过滤桶1内，放在支撑台3上的产品进行金属剥离的过程中，被甩出的金属屑会留在金属过滤网2上，液体从过滤网2底部的开口21及过滤网2上的过滤孔223流出，并通过排液管20进入内层过滤杯6内，由两个过滤杯5、6先后过滤后流入第二过滤桶4内，然后被回收泵8抽出，并经两个过滤器6、7进行精细过滤，最后，进入循环桶9内进行后续处理。

本实用新型的一种金属剥离后回收装置，由于其过滤网2采用所述若干弧形网片22拼接而成，因而拆卸时，只需将各个弧形网片22拆下即可。拆卸弧形网片22时，由于弧形网片22与第一过滤桶1之间分别具有允许弧形网片22进出第一过滤桶1的避让空间，因而，拆卸弧形网片22退出第一过滤桶1时，不会受可升降部件3阻挡，也无需先拆下可升降部件3，从而使过滤网2方便拆卸、清洗，以便于重复使用。第二过滤桶4内的两个过滤杯5、6都为易拆卸结构，可以进行拆卸清洗重复使用。

上述实施例仅用来进一步说明本实用新型的一种金属剥离后回收装置，但本实用新型并不局限于实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型技术方案的保护范围内。

Claims (10)

1.一种金属剥离后回收装置，包括第一过滤机构，该第一过滤机构包括第一过滤桶和设置在该第一过滤桶中的桶状过滤网，第一过滤桶中具有支撑台，过滤网底部设有开口，该开口对支撑台的支脚进行避让，并位于支撑台下方，且该开口的直径小于支撑台的直径；其特征在于：所述过滤网由若干弧形网片沿其周向顺次拼接而成，且各弧形网片可拆卸，支撑台与第一过滤桶之间的间隔允许各弧形网片进出支撑台下方的空间。

2.根据权利要求1所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述弧形网片包括弧形侧壁、位于该弧形侧壁底部内侧的弧形底壁，弧形侧壁和/或弧形底壁设有多个过滤孔，且弧形侧壁顶部设有弧形外翻边，该弧形外翻边靠在所述第一过滤桶上端。

3.根据权利要求2所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述弧形外翻边通过螺丝或螺栓组件或卡扣定位在所述第一过滤桶上端边沿。

4.根据权利要求1-3中任一项所述金属剥离后回收装置，其特征在于：所述弧形网片的数量为两个，该两弧形网片的周向轮廓分别呈半圆形，且该两弧形网片底端中心处分别具有半圆形孔，该两弧形网片在拼接状态，两半圆形孔组成所述开口。

5.根据权利要求1所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：还包括设于第一过滤桶下部的排液管、第二过滤机构，其中，第二过滤机构通过排液管与第一过滤桶相连桶。

6.根据权利要求5所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述第二过滤机构包括第二过滤桶和设置在该第二过滤桶内的过滤组件，该过滤组件包括由内而外依次嵌套的若干过滤杯，该若干过滤杯的过滤直径从内层到外层的方向逐层变小；所述第一过滤桶输出的液体经所述排液管进入内层过滤杯内，并通过该若干过滤杯逐层过滤后进入第二过滤桶内。

7.根据权利要求6所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述过滤杯可拆卸，所述过滤杯的数量为两个，且内层的过滤杯悬空在外层的过滤杯中。

8.根据权利要求5或6或7所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：还包括循环桶，该循环桶与所述第二过滤机构连通，且二者的连通管道上设置过滤器、回收泵；所述循环桶连通所述第一过滤桶，且二者的连通管道上沿液体的流动方向依次设置循环泵和加热器。

9.根据权利要求8所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述过滤器的数量为两个，所述回收泵位于该两过滤器之间；所述循环桶内设置加热棒；所述循环桶侧壁顶部设有溢流口。

10.根据权利要求1所述的金属剥离后回收装置，其特征在于：所述支撑台设为可升降式。

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