CN215370955U - 一种双层石英管密封结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及双层石英管技术领域，且公开了一种双层石英管密封结构，包括内石英管，所述内石英管的外周壁固定连接有外石英仓，所述外石英仓左侧的顶部连通有出液管接头，所述外石英仓右侧的底部连通有进液管接头，所述内石英管的顶部和底部均活动安装有法兰，两个所述法兰相对的一侧均活动安装有垫环。该双层石英管密封结构，通过转动转动环，使转动环通过螺纹槽与螺纹环螺纹连接而移动，带动挡块移动，当挡块移动到限位槽与限位块脱离时，可再次转动转动环，而此时限位块不再随着转动环一同转动，使限位块与限位槽不再相对应，然后可将外石英仓和内石英管抽出螺纹环，实现内石英管与法兰的快速拆卸，便于后期的维护。
Description
技术领域
本实用新型涉及双层石英管技术领域，具体为一种双层石英管密封结构。
背景技术
现有技术中，应用于真空冶炼和高温半导体材料生长领域的石英管真空室采用的是单层石英管结构，这种结构在管内发热温度超过2000℃时，即便是用隔离材料将发热体与石英管隔离，石英管腔温度也会很高，从而影响了石英管与两端法兰、橡胶密封圈和外部感应线圈的工作条件，容易造成石英管温度分布不均匀、两端法兰橡胶密封圈的老化和感应线圈的高温氧化等问题。
为了降低石英管的温升和避免温度不均匀给石英管造成热应力，目前采用外置电扇强制风冷的方式降温度，不仅效果不明显，还容易因风力不均造成新的温度不均匀问题，同时法兰与石英管之间的连接是通过多个螺栓固定的，在后期拆卸维护时较为麻烦，故提出一种双层石英管密封结构以解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种双层石英管密封结构，具备便于后期拆卸维护且降温效果好的优点，解决了为了降低石英管的温升和避免温度不均匀给石英管造成热应力，目前采用外置电扇强制风冷的方式降温度，不仅效果不明显，还容易因风力不均造成新的温度不均匀问题，同时法兰与石英管之间的连接是通过多个螺栓固定的，在后期拆卸维护时较为麻烦的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于后期拆卸维护且降温效果好的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双层石英管密封结构，包括内石英管，所述内石英管的外周壁固定连接有外石英仓，所述外石英仓左侧的顶部连通有出液管接头，所述外石英仓右侧的底部连通有进液管接头，所述内石英管的顶部和底部均活动安装有法兰，两个所述法兰相对的一侧均活动安装有垫环，两个所述法兰相对的一侧均固定连接有螺纹环，两个所述法兰相对的一侧均固定连接有分别位于两个螺纹环的内部且与螺纹环的内周壁固定连接的金属环，所述金属环的内周壁放置有位于垫环外侧的第一橡胶密封环，两个所述金属环相对的一侧均放置有第二橡胶密封环，所述螺纹环的外侧活动安装有转动环，所述转动环的外周壁固定连接有数量为三个的操作块，所述转动环的内周壁固定连接有数量为三个的挡块，所述外石英仓的外周壁固定连接有数量为两个且分别位于两个转动环内部的轴承，两个所述轴承的外周壁均固定连接有数量为三个且分别位于六个挡块内部的限位块。
优选的，所述外石英仓的形状为一个内部中空的圆柱体，所述金属环竖截面的形状为L字形。
优选的，所述第一橡胶密封环的内周壁为斜面，所述第一橡胶密封环与内石英管紧密接触。
优选的，所述第二橡胶密封环的内周壁为斜面，所述第二橡胶密封环与外石英仓紧密接触，所述转动环的内周壁开设有螺纹槽，所述螺纹环的外周壁为螺纹，所述螺纹槽与螺纹环外周壁的螺纹螺纹连接。
优选的，三个所述操作块呈圆形等角度分布，所述操作块远离转动环的一侧开设有操作槽，三个所述挡块呈圆形等角度分布。
优选的，同一轴承上的三个所述限位块呈圆形等角度分布，所述挡块的底部开设有限位槽，所述限位槽远离转动环内壁的一侧与挡块远离转动环内壁的一侧位于同一平面，所述限位块位于限位槽内，所述限位槽与限位块相适配。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种双层石英管密封结构，具备以下有益效果：
该双层石英管密封结构，通过转动转动环，使转动环通过螺纹槽与螺纹环螺纹连接而移动，带动挡块移动，当挡块移动到限位槽与限位块脱离时，可再次转动转动环，而此时限位块不再随着转动环一同转动，使限位块与限位槽不再相对应，然后可将外石英仓和内石英管抽出螺纹环，实现内石英管与法兰的快速拆卸，便于后期的维护，同时通过设置有出液管接头和进液管接头，可外接水管和水泵，将外石英仓内通入冷却液，相较于风冷，降温效果更好。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型图1中A的放大结构示意图。
图中：1法兰、2外石英仓、3出液管接头、4金属环、5内石英管、6垫环、7第一橡胶密封环、8第二橡胶密封环、9轴承、10进液管接头、11挡块、12转动环、13操作块、14螺纹环、15限位块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，一种双层石英管密封结构，包括内石英管5，内石英管5的外周壁固定连接有外石英仓2，外石英仓2的形状为一个内部中空的圆柱体，外石英仓2左侧的顶部连通有出液管接头3，外石英仓2右侧的底部连通有进液管接头10，内石英管5的顶部和底部均活动安装有法兰1，两个法兰1相对的一侧均活动安装有垫环6，位于底部的法兰1的底部开设有圆形通孔，圆形通孔的直径与垫环6的内环直径相同，两个法兰1相对的一侧均固定连接有螺纹环14，两个法兰1相对的一侧均固定连接有分别位于两个螺纹环14的内部且与螺纹环14的内周壁固定连接的金属环4，金属环4竖截面的形状为L字形，金属环4的内周壁放置有位于垫环6外侧的第一橡胶密封环7，第一橡胶密封环7的内周壁为斜面，第一橡胶密封环7与内石英管5紧密接触，两个金属环4相对的一侧均放置有第二橡胶密封环8，第二橡胶密封环8的内周壁为斜面，第二橡胶密封环8与外石英仓2紧密接触，螺纹环14的外侧活动安装有转动环12，转动环12的内周壁开设有螺纹槽，螺纹环14的外周壁为螺纹，螺纹槽与螺纹环14外周壁的螺纹螺纹连接，转动环12的外周壁固定连接有数量为三个的操作块13，三个操作块13呈圆形等角度分布，操作块13远离转动环12的一侧开设有操作槽，操作槽的形状为正五棱柱，操作槽与外界的五角扳手相适配，通过将五角扳手插入操作槽内来操作转动环12转动，转动环12的内周壁固定连接有数量为三个的挡块11，三个挡块11呈圆形等角度分布，外石英仓2的外周壁固定连接有数量为两个且分别位于两个转动环12内部的轴承9，两个轴承9的外周壁均固定连接有数量为三个且分别位于六个挡块11内部的限位块15，同一轴承9上的三个限位块15呈圆形等角度分布，挡块11的底部开设有限位槽，限位槽远离转动环12内壁的一侧与挡块11远离转动环12内壁的一侧位于同一平面，限位块15位于限位槽内，限位槽与限位块15相适配。
综上所述，该双层石英管密封结构，通过转动转动环12，使转动环12通过螺纹槽与螺纹环14螺纹连接而移动，带动挡块11移动，当挡块11移动到限位槽与限位块15脱离时，可再次转动转动环12，而此时限位块15不再随着转动环12一同转动，使限位块15与限位槽不再相对应，然后可将外石英仓2和内石英管5抽出螺纹环14，实现内石英管5与法兰1的快速拆卸，便于后期的维护，同时通过设置有出液管接头3和进液管接头10，可外接水管和水泵，将外石英仓2内通入冷却液，相较于风冷，降温效果更好，解决了为了降低石英管的温升和避免温度不均匀给石英管造成热应力，目前采用外置电扇强制风冷的方式降温度，不仅效果不明显，还容易因风力不均造成新的温度不均匀问题，同时法兰与石英管之间的连接是通过多个螺栓固定的，在后期拆卸维护时较为麻烦的问题。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种双层石英管密封结构，包括内石英管(5)，其特征在于：所述内石英管(5)的外周壁固定连接有外石英仓(2)，所述外石英仓(2)左侧的顶部连通有出液管接头(3)，所述外石英仓(2)右侧的底部连通有进液管接头(10)，所述内石英管(5)的顶部和底部均活动安装有法兰(1)，两个所述法兰(1)相对的一侧均活动安装有垫环(6)，两个所述法兰(1)相对的一侧均固定连接有螺纹环(14)，两个所述法兰(1)相对的一侧均固定连接有分别位于两个螺纹环(14)的内部且与螺纹环(14)的内周壁固定连接的金属环(4)，所述金属环(4)的内周壁放置有位于垫环(6)外侧的第一橡胶密封环(7)，两个所述金属环(4)相对的一侧均放置有第二橡胶密封环(8)，所述螺纹环(14)的外侧活动安装有转动环(12)，所述转动环(12)的外周壁固定连接有数量为三个的操作块(13)，所述转动环(12)的内周壁固定连接有数量为三个的挡块(11)，所述外石英仓(2)的外周壁固定连接有数量为两个且分别位于两个转动环(12)内部的轴承(9)，两个所述轴承(9)的外周壁均固定连接有数量为三个且分别位于六个挡块(11)内部的限位块(15)。
2.根据权利要求1所述的一种双层石英管密封结构，其特征在于：所述外石英仓(2)的形状为一个内部中空的圆柱体，所述金属环(4)竖截面的形状为L字形。
3.根据权利要求1所述的一种双层石英管密封结构，其特征在于：所述第一橡胶密封环(7)的内周壁为斜面，所述第一橡胶密封环(7)与内石英管(5)紧密接触。
4.根据权利要求1所述的一种双层石英管密封结构，其特征在于：所述第二橡胶密封环(8)的内周壁为斜面，所述第二橡胶密封环(8)与外石英仓(2)紧密接触，所述转动环(12)的内周壁开设有螺纹槽，所述螺纹环(14)的外周壁为螺纹，所述螺纹槽与螺纹环(14)外周壁的螺纹螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种双层石英管密封结构，其特征在于：三个所述操作块(13)呈圆形等角度分布，所述操作块(13)远离转动环(12)的一侧开设有操作槽，三个所述挡块(11)呈圆形等角度分布。
6.根据权利要求1所述的一种双层石英管密封结构，其特征在于：同一轴承(9)上的三个所述限位块(15)呈圆形等角度分布，所述挡块(11)的底部开设有限位槽，所述限位槽远离转动环(12)内壁的一侧与挡块(11)远离转动环(12)内壁的一侧位于同一平面，所述限位块(15)位于限位槽内，所述限位槽与限位块(15)相适配。
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