CN215352626U - 抗压式气体流量控制器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的抗压式气体流量控制器，包括进气管、接头、吸风机、开关阀和减压阀，所述进气管从上之下包括第一过滤管道、检测管道、流气管道、出气管道构成，所述第一过滤管道上端连接有接头，所述第一过滤管道上端设有吸风机，所述吸风机下端连接有连接管，所述连接管上端与接头连接，所述连接管下端连接有吸气管，所述吸气管道贯穿检测管道外壁延伸至内部，所述第一过滤管道与流气管道下端外壁连接有减压阀，所述出气管道下端外壁连接有开关阀，本实用新型解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题，并且该抗压式气体质量流量控制器通过设置的吸风机构成循环系统，从而提高了气体质量，且除杂效果好。

Description

抗压式气体流量控制器

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器的技术领域，尤其涉及抗压式气体流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器是微电子领域、化工领域等常用的元件，气体质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

一般的气体流量质量控制器抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤，例如申请号为201820878086.1的专利，本实用新型公开了一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口、减压阀、流气管、气阻桶和控制杆，所述进气口的下方设置有第一过滤管，且第一过滤管的左侧设置有第二过滤管，所述第二过滤管的内部设置有过滤板，且第二过滤管的底部设置有管盖，所述减压阀位于第一过滤管的右侧，且减压阀的下方设置有空气流量传感器，所述流气管的位于空气流量传感器的下方，且流气管的内部上下两侧均设置有连接块，所述气阻桶位于连接块的上方，且连接块的下方设置有出气管，所述出气管的内部设置有挡气带，且出气管的左侧设置有阀体，所述控制杆位于阀体的左侧。该抗压式气体质量流量控制器，解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题。

根据上述专利所述，虽然该抗压式气体质量流量控制器，解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题，但是在气体质量进行除杂过程中，除杂效果差，同时降低了气体质量。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供的提供抗压式气体流量控制器，以解决现有技术中存在的抗压效果差的问题，避免了气体杂质不能过滤的情况发生。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

本实用新型提供的抗压式气体流量控制器，包括进气管、接头、吸风机、开关阀和减压阀，所述进气管从上之下包括第一过滤管道、检测管道、流气管道、出气管道构成，所述第一过滤管道上端连接有接头，所述第一过滤管道上端设有吸风机，所述吸风机下端连接有连接管，所述连接管上端与接头连接，所述连接管下端连接有吸气管，所述吸气管道贯穿检测管道外壁延伸至内部，所述第一过滤管道与流气管道下端外壁连接有减压阀，所述出气管道下端外壁连接有开关阀；

采用上述方案，本实用新型解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题，并且该抗压式气体质量流量控制器通过设置的吸风机构成循环系统，从而提高了气体质量，且除杂效果好。

进一步的，所述第一过滤管道中部外壁连接有第二过滤管道，所述第二过滤管道位于接头下侧，所述第二过滤管道内壁连接有滤筒，所述第二管道远离第一过滤管道的一端连接有第二把手；

采用上述方案，过滤气体杂质。

进一步的，所述第一过滤管道内壁连接有导流管，所述导流管呈螺旋式；

采用上述方案，缓解气体流动速度。

进一步的，所述检测管道内壁连接有空气流量传感器；

采用上述方案，检测气体质量。

进一步的，所述连接管靠近吸气管的一端内壁连接有固定轴，所述固定轴外壁连接有挡板；

采用上述方案，控制气体流入连接管内。

进一步的，所述流气管道内壁连接有气阻筒；

采用上述方案，减缓气体流动速度。

进一步的，所述开关阀包括外壳，所述外壳内壁连接有转动轴，所述转动轴贯穿出气管道外壁延伸至内部，所述转动轴位于出气管道内部的一端连接有挡气带，所述挡气带上下两端均连接有橡胶垫，所述橡胶垫与出气管道内壁接触，所述转动轴左侧外壁连接有第一把手；

采用上述方案，控制气体流动空间大小。

上述技术方案具有如下优点或者有益效果：

(1)本实用新型设置有第一过滤管和第二过滤管，能够将气体的杂质留在第二过滤管内，纯净的气体流进第一过滤管，对气体的杂质过滤，保证气体的质量；

(2)本实用新型设置有空气流量传感器，空气流量传感器对气体进行检测，配合吸风机将存在杂质，质量不合格的气体通过连接管导入第一过滤管和第二过滤管进行多次过滤；

(3)本实用新型设置有减压阀，2组减压阀更加有效地降低控制器内部的气压，起到抗压功效，保护控制器内部的零件；

(4)本实用新型设置有气阻桶，气阻桶的侧边呈折线形结构，能够减慢气体的流动速度，减少气压的产生。

以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1是本实用新型实施例1提供的剖视结构示意图；

图2是本实用新型实施例1提供的第二过滤管道剖视结构示意图；

图3是本实用新型实施例1提供的第一过滤管道剖视结构示意图；

图4是本实用新型实施例1提供的检测管道剖视结构示意图；

图5是本实用新型实施例1提供的连接管局部剖视结构示意图；

图6是本实用新型实施例1提供的流气管道剖视结构示意图；

图7是本实用新型实施例1提供的开关阀剖视结构示意图。

图中：1、进气管；2、接头；3、吸风机；4、开关阀；5、减压阀；11、第一过滤管道；12、第二过滤管道；13、检测管道；14、流气管道；15、出气管道；31、连接管；32、吸气管；33、挡板；34、固定轴；41、转动轴；42、外壳；43、第一把手；44、挡气带；45、橡胶垫；111、导流管；121、第二把手；122、滤筒；131、空气流量传感器；141、气阻筒。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。需要注意的是，本实用新型所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。

应当理解的是，当在本说明书中如使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行说明，显然所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对附图中提供的本实用新型实施例中的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

实施例一：

如图1－图7所示，本实用新型实施例1提供的抗压式气体流量控制器，包括进气管1、接头2、吸风机3、开关阀4和减压阀5，所述进气管1从上之下包括第一过滤管道11、检测管道13、流气管道14、出气管道15构成，所述第一过滤管道11上端连接有接头2，所述第一过滤管道11上端设有吸风机3，所述吸风机3下端连接有连接管31，所述连接管31上端与接头2连接，所述连接管31下端连接有吸气管32，所述吸气管32道贯穿检测管道13外壁延伸至内部，所述第一过滤管道11与流气管道14下端外壁连接有减压阀5，所述出气管道15下端外壁连接有开关阀4。

如图1－图7所示，本实用新型实施例1提供的抗压式气体流量控制器，所述第一过滤管道11中部外壁连接有第二过滤管道12，所述第二过滤管道12位于接头2下侧，所述第二过滤管道12内壁连接有滤筒122，所述第二管道远离第一过滤管道11的一端连接有第二把手121，所述第一过滤管道11内壁连接有导流管111，所述导流管111呈螺旋式，所述检测管道13内壁连接有空气流量传感器131，所述连接管31靠近吸气管32的一端内壁连接有固定轴34，所述固定轴34外壁连接有挡板33，所述流气管道14内壁连接有气阻筒141，所述开关阀4包括外壳42，所述外壳42内壁连接有转动轴41，所述转动轴41贯穿出气管道15外壁延伸至内部，所述转动轴41位于出气管道15内部的一端连接有挡气带44，所述挡气带44上下两端均连接有橡胶垫45，所述橡胶垫45与出气管道15内壁接触，所述转动轴41左侧外壁连接有第一把手43。

综上所述，本实用新型提供的抗压式气体流量控制器，使用时，首先气体从而进气管1上端进入，流入至第一过滤管道11和第二过滤管道12，将气体杂质过滤，然后气体通过导流管111流入至检测管道13，设置在检测管道13内壁的空气流量传感器131对气体进行检测，气体内部存在杂质不合格的，通过吸风机3运作带动挡板33转动使吸气管32将气体导回至第一过滤管道11内进行过滤，检测合格后，气体流入至流气管道14，流气管道14内部的气阻筒141使气体层层流动，减缓气体流动速度，降低气压，然后转动第一把手43，第一把手43带动转动轴41，转动轴41带动挡气带44转动，调节气体流动的空间大小，从而调节气体的流量，使控制器内部降压时，打开组减压阀5，实现本实用新型解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题，并且该抗压式气体质量流量控制器通过设置的吸风机3构成循环系统，从而提高了气体质量，且除杂效果好。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.抗压式气体流量控制器，其特征在于：包括进气管(1)、接头(2)、吸风机(3)、开关阀(4)和减压阀(5)；

所述进气管(1)从上之下包括第一过滤管道(11)、检测管道(13)、流气管道(14)、出气管道(15)构成，所述第一过滤管道(11)上端连接有所述接头(2)，所述第一过滤管道(11)上端设有所述吸风机(3)，所述吸风机(3)下端连接有连接管(31)，所述连接管(31)上端与所述接头(2)连接，所述连接管(31)下端连接有吸气管(32)，所述吸气管(32)道贯穿检测管道(13)外壁延伸至内部，所述第一过滤管道(11)与所述流气管道(14)下端外壁连接有所述减压阀(5)，所述出气管道(15)下端外壁连接有所述开关阀(4)。

2.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述第一过滤管道(11)中部外壁连接有第二过滤管道(12)，所述第二过滤管道(12)位于所述接头(2)下侧，所述第二过滤管道(12)内壁连接有滤筒(122)，所述第二过滤管道(12)远离所述第一过滤管道(11)的一端连接有第二把手(121)。

3.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述第一过滤管道(11)内壁连接有导流管(111)，所述导流管(111)呈螺旋式。

4.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述检测管道(13)内壁连接有空气流量传感器(131)。

5.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述连接管(31)靠近所述吸气管(32)的一端内壁连接有固定轴(34)，所述固定轴(34)外壁连接有挡板(33)。

6.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述流气管道(14)内壁连接有气阻筒(141)。

7.根据权利要求1所述的抗压式气体流量控制器，其特征在于：所述开关阀(4)包括外壳(42)，所述外壳(42)内壁连接有转动轴(41)，所述转动轴(41)贯穿所述出气管道(15)外壁延伸至内部，所述转动轴(41)位于所述出气管道(15)内部的一端连接有挡气带(44)，所述挡气带(44)上下两端均连接有橡胶垫(45)，所述橡胶垫(45)与所述出气管道(15)内壁接触，所述转动轴(41)左侧外壁连接有第一把手(43)。

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