CN215261172U - 一种用于中温cvd工艺的管式炉 - Google Patents

Abstract

本申请属于CVD管式炉技术领域，公开了一种用于中温CVD工艺的管式炉，包括炉体，所述炉体的顶部设有炉盖，所述炉盖与炉体相贴合的部分开设有圆形孔，所述圆形孔内穿设有炉管，所述炉管的两端延伸出炉体的两侧壁，且炉管两端均固定连接有气源管，所述炉体的后侧设有冷却装置，所述冷却装置包括水箱、水泵和水管，所述水箱固定安装在炉体的后侧，所述水泵安装在水箱的侧壁，所述水管设置在炉体和炉盖的内壁，且水管的一端与水泵相连通，水管的另一端连通于水箱。本申请可以通过水泵将水箱内的打入水管，从而提高炉体和炉盖冷却速度，为接下来的生产或实验做好准备。

Description

一种用于中温CVD工艺的管式炉

技术领域

本申请涉及CVD管式炉技术领域，更具体地说，涉及一种用于中温CVD工艺的管式炉。

背景技术

管式炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业，测定材料在一定气温条件下的专业设备，炉型结构简单，操作容易，便于控制，能连续生产。

发明人认为现有的CVD管式炉在样品烧结完毕后，炉管自然冷却需要很长的时间，不利于接下来的生产或实验。

实用新型内容

为了提高CVD管式炉的冷却速度，本申请提供了一种用于中温CVD工艺的管式炉。

本申请提供的一种用于中温CVD工艺的管式炉采用如下的技术方案：

一种用于中温CVD工艺的管式炉，包括炉体，所述炉体的顶部设有炉盖，所述炉盖与炉体相贴合的部分开设有圆形孔，所述圆形孔内穿设有炉管，所述炉管的两端延伸出炉体的两侧壁，且炉管两端均固定连接有气源管，所述炉体的后侧设有冷却装置，所述冷却装置包括水箱、水泵和水管，所述水箱固定安装在炉体的后侧，所述水泵安装在水箱的侧壁，所述水管设置在炉体和炉盖的内壁，且水管的一端与水泵相连通，水管的另一端连通于水箱。

通过上述技术方案，当生产或实验完成后，启动水泵，水泵将水箱内的打入水管，从而提高炉体和炉盖冷却速度，为接下来的生产或实验做好准备；而且冷却水经过水管后流入水箱，可以实现冷却水的循环利用。

进一步的，所述炉体的侧壁固定连接有支撑杆，所述支撑杆的侧壁铰接有液压杆，所述液压杆的顶端与炉盖的侧壁相铰接。

通过上述技术方案，当炉盖受到液压杆的推力时，会向上转动，从而被打开，无需工作人员手动开启，可避免工作人员被烫伤。

进一步的，所述水管包括塑料软管和不锈钢管，所述塑料软管设置在炉体和炉盖的外侧，所述不锈钢管设置在炉体和炉盖的内侧。

通过上述技术方案，炉体内侧使用不锈钢管，可以防止水管被炉内高温破坏，炉体外使用塑料软管，使得炉盖在转动时不会收到水管的影响。

进一步的，所述炉管的两端均套接有固定环，所述固定环远离炉体的侧壁均固定连接有第一法兰，所述气源管靠近炉管的一端均固定连接有第二法兰，所述第一法兰与第二法兰之间设有密封垫，且第一法兰与第二法兰上可拆卸地套接有卡箍。

通过上述技术方案，第一法兰和第二法兰之间通过卡箍固定，代替了传统的螺栓固定方式，使操作更加方便快捷。

进一步的，所述固定环远离第一法兰的侧壁固定连接有网罩，所述网罩将炉管笼罩在内。

通过上述技术方案，网罩对炉管具有保护作用，可以防止坠落物砸坏炉管。

进一步的，所述炉管与圆形孔贴合的部分均套设有密封圈，所述圆形孔的侧壁开设有环形槽，所述密封圈插接在环形槽内，所述炉盖靠近炉体的侧壁设有凸块，所述凸块与炉体的内壁相贴合。

通过上述技术方案，当炉盖关闭时，凸块与炉体的内壁紧密贴合，且密封圈将嵌入环形槽内，可以防止炉内高温气体从卡接处溢出，使炉体和炉盖之间的密封性更好。

综上所述，本申请包括以下有益技术效果：

当生产或实验完成后，启动水泵，水泵将水箱内的打入水管，从而提高炉体和炉盖冷却速度，为接下来的生产或实验做好准备；而且冷却水经过水管后流入水箱，可以实现冷却水的循环利用。

附图说明

图1为一种用于中温CVD工艺的管式炉结构示意图；

图2为本申请的冷却装置结构示意图；

图3为本申请中液压杆结构示意图；

图4为本申请的炉管结构示意图；

图5为本申请中卡箍结构示意图。

图中标号说明：

1、炉体；12、圆形孔；121、环形槽；13、支撑杆；14、液压杆；2、炉盖；21、凸块；3、炉管；31、密封圈；32、固定环；321、网罩；33、第一法兰；34、密封垫；4、气源管；41、第二法兰；5、卡箍；6、冷却装置；61、水箱；62、水泵；63、水管；631、塑料软管；632、不锈钢管。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种用于中温CVD工艺的管式炉，请参阅图1、图2，包括炉体1，炉体1的顶部铰接有炉盖2，炉体1内设置有炉管3，炉管3的两端均固定连接有气源管4，炉体1和炉盖2相贴合的两侧壁均开设有圆形孔12，炉管3贯穿于两侧圆形孔12；炉体1的后侧设有冷却装置6，冷却装置6包括水箱61、水泵62和水管63，水箱61固定安装在炉体1的后侧，水泵62安装在水箱61的侧壁，水管63设置在炉体1和炉盖2的内壁，且水管63的一端与水泵62相连通，水管63的另一端连通于水箱61，当生产或实验完成后，启动水泵62，水泵62将水箱61内的打入水管63，从而提高炉体1和炉盖2冷却速度，为接下来的生产或实验做好准备；而且冷却水经过水管63后流入水箱61，可以实现冷却水的循环利用；水管63包括塑料软管631和不锈钢管632，塑料软管631设置在炉体1和炉盖2的外侧，不锈钢管632设置在炉体1和炉盖2的内侧，塑料软管631将水泵62和不锈钢管632连通，炉体1内侧使用不锈钢管632，可以防止水管63被炉内高温破坏，炉体1外使用塑料软管631，使得炉盖2在开启时不会收到水管63的影响。炉体1的底部固定安装有万向轮，移动炉体1时更加方便快捷，且万向轮均具有自锁功能，可以防止炉体1随意移动。

请参阅图3，炉体1的侧壁固定连接有支撑杆13，支撑杆13的侧壁铰接有液压杆14，液压杆14的顶端与炉盖2的侧壁相铰接，当炉盖2受到液压杆14的推力时，会向上转动，从而被打开，无需工作人员手动开启，可避免工作人员被烫伤。

请参阅图4，炉管3与圆形孔12贴合的部分均套设有密封圈31，圆形孔12的侧壁开设有环形槽121，密封圈31插接在环形槽121内，当炉盖2关闭时，密封圈31将嵌入环形槽121内，炉内高温气体不会从卡接处溢出；炉盖2靠近炉体1的侧壁设有凸块21，当炉盖2关闭时，凸块21与炉体1的内壁紧密贴合，使密封性能更好。

请参阅图5，并结合图1，炉管3的两端均套接有固定环32，固定环32远离炉体1的侧壁均固定连接有第一法兰33，气源管4靠近炉管3的一端均固定连接有第二法兰41，第一法兰33与第二法兰41之间设有密封垫34，第一法兰33与第二法兰41上可拆卸地套接有卡箍5，代替了传统的螺栓固定方式，使操作更加方便快捷；固定环32远离第一法兰33的侧壁固定连接有网罩321，网罩321对炉管3具有保护作用，可以防止坠落物砸坏炉管3。

本申请实施例一种用于中温CVD工艺的管式炉的原理为：当生产或实验完成后，将管式炉的加热装置关闭，然后启动水泵62，水泵62将水箱61内的打入水管63，冷水在水管63中流动时，将炉体1和炉盖2的热量带出，从而提高炉体1和炉盖2冷却速度，为接下来的生产或实验做好准备；而且冷却水经过水管63后流入水箱61，可以实现冷却水的循环利用。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于中温CVD工艺的管式炉，包括炉体（1），所述炉体（1）的顶部铰接有炉盖（2），其特征在于：所述炉盖（2）与炉体（1）相贴合的部分开设有圆形孔（12），所述圆形孔（12）内穿设有炉管（3），所述炉管（3）的两端延伸出炉体（1）的两侧壁，且炉管（3）两端均固定连接有气源管（4），所述炉体（1）的后侧设有冷却装置（6），所述冷却装置（6）包括水箱（61）、水泵（62）和水管（63），所述水箱（61）固定安装在炉体（1）的后侧，所述水泵（62）安装在水箱（61）的侧壁，所述水管（63）设置在炉体（1）和炉盖（2）的内壁，且水管（63）的一端与水泵（62）相连通，水管（63）的另一端连通于水箱（61）。

2.根据权利要求1所述的一种用于中温CVD工艺的管式炉，其特征在于：所述炉体（1）的侧壁固定连接有支撑杆（13），所述支撑杆（13）的侧壁铰接有液压杆（14），所述液压杆（14）的顶端与炉盖（2）的侧壁相铰接。

3.根据权利要求1所述的一种用于中温CVD工艺的管式炉，其特征在于：所述水管（63）包括塑料软管（631）和不锈钢管（632），所述塑料软管（631）设置在炉体（1）和炉盖（2）的外侧，所述不锈钢管（632）设置在炉体（1）和炉盖（2）的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于中温CVD工艺的管式炉，其特征在于：所述炉管（3）的两端均套接有固定环（32），所述固定环（32）远离炉体（1）的侧壁均固定连接有第一法兰（33），所述气源管（4）靠近炉管（3）的一端均固定连接有第二法兰（41），所述第一法兰（33）与第二法兰（41）之间设有密封垫（34），且第一法兰（33）与第二法兰（41）上可拆卸地套接有卡箍（5）。

5.根据权利要求4所述的一种用于中温CVD工艺的管式炉，其特征在于：所述固定环（32）远离第一法兰（33）的侧壁固定连接有网罩（321），所述网罩（321）将炉管（3）笼罩在内。

6.根据权利要求1所述的一种用于中温CVD工艺的管式炉，其特征在于：所述炉管（3）与圆形孔（12）贴合的部分均套设有密封圈（31），所述圆形孔（12）的侧壁开设有环形槽（121），所述密封圈（31）插接在环形槽（121）内，所述炉盖（2）靠近炉体（1）的侧壁设有凸块（21），所述凸块（21）与炉体（1）的内壁相贴合。

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