CN215251117U - 一种点蒸发源结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种点蒸发源结构，具有：坩埚，能够容纳材料；凹孔，设置在坩埚的中部附近；外部加热器，围绕坩埚；内部加热器，能够伸入坩埚的凹孔内；外壳，能够容纳坩埚、外部加热器和内部加热器，改善材料在加热过程中的受热均匀性，减少材料因受热不均导致的裂解、堵口以及溢流现象；提高材料从升温速率，减少材料从室温到速率稳定的时间，减少准备时间，提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型属于OLED显示技术领域，尤其涉及一种点蒸发源结构。
背景技术
OLED(有机电致发光器件)显示技术经历近10年的快速发展，已成为显示领域中较为成熟的技术之一，其产品也早已应用到各个领域，而柔性显示则是OLED领先于其他显示技术的最大优点。近几年，微显示技术的兴起，micro-OLED凭借其高ppi的优势，在军事以及消费电子领域，都将掀起近眼显示的新浪潮，为用户带来前所未有的视觉体验。
OLED的主流成膜技术为真空蒸镀，真空蒸镀主要优势有：真空环境下有机材料成膜温度降低，材料不易裂解；分子沿直线运动，成膜质量好，纯度高。真空蒸镀的蒸发源主要有点蒸发源，线蒸发源和面蒸发源。其中点蒸发源主要用于较小尺寸基板的蒸镀。
在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：
目前，OLED蒸镀机台常配备的点蒸发源结构，其中给坩埚加热部分的heater(加热丝)主要为外部加热丝，如果蒸发源尺寸较大，则外部加热丝分为top heater(顶部加热丝)和bottom heater(底部加热丝)两部分。当前使用的点蒸发源主要通过外部heater加热，然后通过热辐射来加热坩埚，使材料气化蒸发，点蒸发源存在的主要问题为受热不均匀，升温速度缓慢，随着坩埚体积增大，该现象越明显；在实际生产中表现为材料从室温状态到蒸发速率稳定时需要较长的时间，如果单方面增加输入的power则会出现材料在坩埚出口聚集的堵口现象以及材料溢出坩埚进入蒸发源现象。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种改善材料在加热过程中的受热均匀性，减少材料因受热不均导致的裂解、堵口以及溢流现象；提高材料从升温速率，减少材料从室温到速率稳定的时间，减少准备时间，提高生产效率的点蒸发源结构。
为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种点蒸发源结构，具有：
坩埚，能够容纳材料；
凹孔，设置在所述坩埚的中部附近；
外部加热器，围绕所述坩埚；
内部加热器，能够伸入所述坩埚的凹孔内；
外壳，能够容纳所述坩埚、外部加热器和内部加热器。
所述坩埚的外周设有外沿，所述外沿能够支撑在所述外壳的开口上。
所述外部加热器为圆环形。
所述外部加热器包括顶部陶瓷环和底部陶瓷环，并设有垂直陶瓷柱连接所述顶部陶瓷环和底部陶瓷环；所述外部加热器内设有圆形加热丝。
所述内部加热器包括陶瓷柱和加热丝，所述加热丝缠绕在所述陶瓷柱上。
所述坩埚内设有蒸发源温度传感器，所述内部加热器和外部加热器上设有蒸发源电源接口。
上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，1.改善材料在加热过程中的受热均匀性，减少材料因受热不均导致的裂解、堵口以及溢流现象；2.提高材料从升温速率，减少材料从室温到速率稳定的时间，减少准备时间，提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例中提供的点蒸发源结构的结构示意图；
图2为图1的点蒸发源结构的结构示意图；
图3为图1的点蒸发源结构的外部加热器的结构示意图；
图4为图1的点蒸发源结构的内部加热器的结构示意图；
图5为图1的点蒸发源结构的坩埚的结构示意图；
上述图中的标记均为：1、外部加热器，1a、圆形加热丝，1b、垂直陶瓷柱，1c、顶部陶瓷环，1d、底部陶瓷环，2、内部加热器，2a、加热丝，2b、陶瓷柱，3、坩埚，3a、外沿，3b、中部坩埚壁，4、材料，5、外壳，6a、蒸发源温度传感器，7a、蒸发源电源接口。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
参见图1-5，一种点蒸发源结构，具有：
坩埚，能够容纳材料；
凹孔，设置在坩埚的中部附近；
外部加热器，围绕坩埚；
内部加热器，能够伸入坩埚的凹孔内；
外壳，能够容纳坩埚、外部加热器和内部加热器。
坩埚的外周设有外沿，外沿能够支撑在外壳的开口上。
外部加热器为圆环形。
外部加热器包括顶部陶瓷环和底部陶瓷环，并设有垂直陶瓷柱连接顶部陶瓷环和底部陶瓷环；外部加热器内设有圆形加热丝。
内部加热器包括陶瓷柱和加热丝，加热丝缠绕在陶瓷柱上。
坩埚内设有蒸发源温度传感器，内部加热器和外部加热器上设有蒸发源电源接口；可以分别独立控制加热和进行温度监控。
(1)点蒸发源heater的材质要求具有高的熔点和导热系数，要求熔点应＞2500℃，导热系数＞0.5W/(m.K)；另外应具有良好的耐酸碱腐蚀性以及较低的热膨胀系数和硬度。本发明中选取蒸发源加热丝的材质为钽(Ta)，钽的熔点为2950℃，导热系数为0.57W/(m.K)，热膨胀系数＜6.6ppm/℃。
(2)点蒸发源heater结构设计和实施方式：如附图1所示，点蒸发源由外部heater和内部heater组成；外部heater如附图3，heater的顶部和底部为陶瓷环，顶部陶瓷环作用为支撑坩埚何固定垂直陶瓷柱，heater为中空的圆柱形，加热丝为横向圆形，通过陶瓷柱固定，中空的直径大于坩埚的外形尺寸，可以将坩埚包含在内；内部heater结构如附图4所示，加热丝缠绕在中部的陶瓷柱上。
坩埚的具体实施方案：坩埚材质同样要求具有较高的熔点和导热系数，以及良好的耐酸碱性等。本发明中点蒸发源坩埚的材质选用目前点蒸发源常用的钛合金(Ti中掺杂Mo，Nb等)材质坩埚或者氧化铝(Al2O3)，考虑其易成型性，优选为氧化铝坩埚；坩埚结构为圆环型岛状结构，可以匹配本发明中的点蒸发源加热装置，具体结构如附图5所示。
采用上述的结构后，1.改善材料在加热过程中的受热均匀性，减少材料因受热不均导致的裂解、堵口以及溢流现象；2.提高材料从升温速率，减少材料从室温到速率稳定的时间，减少准备时间，提高生产效率。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种点蒸发源结构，其特征在于，具有：
坩埚，能够容纳材料；
凹孔，设置在所述坩埚的中部附近；
外部加热器，围绕所述坩埚；
内部加热器，能够伸入所述坩埚的凹孔内；
外壳，能够容纳所述坩埚、外部加热器和内部加热器；
所述坩埚的外周设有外沿，所述外沿能够支撑在所述外壳的开口上；
所述外部加热器为圆环形；
所述外部加热器包括顶部陶瓷环和底部陶瓷环，并设有垂直陶瓷柱连接所述顶部陶瓷环和底部陶瓷环；所述外部加热器内设有圆形加热丝。
2.如权利要求1所述的点蒸发源结构，其特征在于，所述内部加热器包括陶瓷柱和加热丝，所述加热丝缠绕在所述陶瓷柱上。
3.如权利要求2所述的点蒸发源结构，其特征在于，所述坩埚内设有蒸发源温度传感器，所述内部加热器和外部加热器上设有蒸发源电源接口。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202120467405.1U CN215251117U (zh) | 2021-03-04 | 2021-03-04 | 一种点蒸发源结构 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN215251117U true CN215251117U (zh) | 2021-12-21 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202120467405.1U Active CN215251117U (zh) | 2021-03-04 | 2021-03-04 | 一种点蒸发源结构 |
Country Status (1)
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|---|---|
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2021
- 2021-03-04 CN CN202120467405.1U patent/CN215251117U/zh active Active
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