CN215201614U - 一种适用于半导体设备零部件的气动夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，包括底座，底座的一侧设置有第一固定板，第一固定板的上设置有若干产品放置槽板，产品放置槽板上开设有若干相互间隔的放置槽，底座的另一侧开设有滑槽，滑槽内设置有滑块，滑块上设置有安装平台，安装平台上设置有第二固定板，第二固定板与第一固定板相平行设置，第二固定板上设置有滑轨，滑轨竖直安装于第二固定板的左右两侧，滑轨上设置有移动块，移动块上设置有辅助固定板，辅助固定板上设置有若干气动装置，气动装置上设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有压紧块，压紧块与产品放置槽板相一一对应设置。本实用新型能实现高效的夹紧，同时还能实现针对不同的产品的装夹。

Description

一种适用于半导体设备零部件的气动夹具

技术领域

本实用新型涉及一种适用于半导体设备零部件的气动夹具。

背景技术

目前，半导体设备中一些部件的加工，需要通过额外的治具进行操作，但是现有的治具，其结构比较复杂，不便于进行快速的装夹，固定的方式效率低，从而导致工作效率的降低，同时夹具针对性的产品少，不在适应现今节约成本的目的。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的适用于半导体设备零部件的气动夹具，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种适用于半导体设备零部件的气动夹具。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，包括底座，所述底座的一侧设置有第一固定板，所述第一固定板的上设置有若干产品放置槽板，所述产品放置槽板上开设有若干相互间隔的放置槽，所述底座的另一侧开设有滑槽，所述滑槽内设置有滑块，所述滑块与第一驱动装置相驱动连接，所述滑块上设置有安装平台，所述安装平台上设置有第二固定板，所述第二固定板与第一固定板相平行设置，所述第二固定板上设置有滑轨，所述滑轨竖直安装于第二固定板的左右两侧，所述滑轨上设置有移动块，所述移动块与第二驱动装置相驱动连接，所述移动块上设置有辅助固定板，所述辅助固定板上设置有若干气动装置，所述气动装置上设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有压紧块，所述压紧块与产品放置槽板相一一对应设置。

优选地，所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，所述第二固定板上设置有辅助支撑架。

优选地，所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，所述底座上设置有固定孔，所述固定孔分设在底座的边角处。

优选地，所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，与产品相碰触的所述压紧块的一侧设置有防滑条。

优选地，所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，所述第一固定板设有调整孔，所述产品放置槽板通过螺栓股东在第一固定板上。

优选地，所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，所述第一驱动装置和第二驱动装置均为气缸。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型通过竖直滑动的移动块可以实现对气动装置的上下微调整，从而来适用不同产品夹紧，不仅可以适应不同的产品，达到节约成本的目的，还可以让实现快速的装夹，实现高效的夹紧，提高工作效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例

如图1所示，一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，包括底座1，所述底座1的一侧设置有第一固定板2，所述第一固定板2的上设置有若干产品放置槽板3，所述产品放置槽板3上开设有若干相互间隔的放置槽，所述底座1的另一侧开设有滑槽4，所述滑槽4内设置有滑块5，所述滑块5与第一驱动装置相驱动连接，所述滑块5上设置有安装平台，所述安装平台上设置有第二固定板6，所述第二固定板6与第一固定板2相平行设置，所述第二固定板6上设置有滑轨8，所述滑轨8竖直安装于第二固定板6的左右两侧，所述滑轨8上设置有移动块，所述移动块与第二驱动装置相驱动连接，所述移动块上设置有辅助固定板9，所述辅助固定板9上设置有若干气动装置10，所述气动装置10上设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有压紧块11，所述压紧块11与产品放置槽板3相一一对应设置。

本实用新型中所述第二固定板6上设置有辅助支撑架7，所述辅助支撑架7可以确保第二固定班的稳固。

本实用新型中所述底座1上设置有固定孔12，所述固定孔12分设在底座1的边角处。

本实用新型中与产品相碰触的所述压紧块11的一侧设置有防滑条，使压紧块能将产品牢固的固定产品。

本实用新型中所述第一固定板2设有调整孔，所述产品放置槽板4通过螺栓股东在第一固定板2上，可以对产品的位置进行调整，来适应不同的产品的，从而实现节约治具的开发。

本实用新型中所述第一驱动装置和第二驱动装置均为气缸。

本实用新型的工作原理如下：

具体工作时，首先通过调整孔将产品放置槽板固定在第一固定板的合适的位置，然后调整启动第二驱动装置，将压紧块与产品放置槽在一同轴线，最后通过第一驱动装置将第二固定板移动至滑槽的底部，通过气动装置的伸缩将压紧块向产品方向移动，并将产品压紧。

上述的合适的位置是本领域技术人员已知的位置，这边不作任何的赘述。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的一侧设置有第一固定板(2)，所述第一固定板(2)的上设置有若干产品放置槽板(3)，所述产品放置槽板(3)上开设有若干相互间隔的放置槽，所述底座(1)的另一侧开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)内设置有滑块(5)，所述滑块(5)与第一驱动装置相驱动连接，所述滑块(5)上设置有安装平台，所述安装平台上设置有第二固定板(6)，所述第二固定板(6)与第一固定板(2)相平行设置，所述第二固定板(6)上设置有滑轨(8)，所述滑轨(8)竖直安装于第二固定板(6)的左右两侧，所述滑轨(8)上设置有移动块，所述移动块与第二驱动装置相驱动连接，所述移动块上设置有辅助固定板(9)，所述辅助固定板(9)上设置有若干气动装置(10)，所述气动装置(10)上设置有伸缩杆，所述伸缩杆上设置有压紧块(11)，所述压紧块(11)与产品放置槽板(3)相一一对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：所述第二固定板(6)上设置有辅助支撑架(7)。

3.根据权利要求1所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：所述底座(1)上设置有固定孔(12)，所述固定孔(12)分设在底座(1)的边角处。

4.根据权利要求1所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：与产品相碰触的所述压紧块(11)的一侧设置有防滑条。

5.根据权利要求1所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：所述第一固定板(2)设有调整孔，所述产品放置槽板(3)通过螺栓固定在第一固定板(2)上。

6.根据权利要求1所述的一种适用于半导体设备零部件的气动夹具，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置均为气缸。

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