CN215179767U - 一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有安装板，所述安装板上转动连接有安装盘，所述安装板内设有安装腔，所述安装腔内设有用于提供安装盘转动所需动力的传动机构，所述安装盘上设有第一安装槽，所述第一安装槽内设有用于固定晶圆本体的夹紧机构，所述底座上固定连接有安装杆，所述安装杆左侧设有气缸，所述气缸的伸缩末端固定连接有连接板，所述连接板上设有检测器，所述安装杆上设有第二安装槽。本实用新型结构合理，其能够适应不同大小的晶圆的检测固定，且能够对晶圆进行全面检测，准确性更高，且检测位置的转换方便，可以提高检测效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。
现有的基于视觉系统的晶圆缺口检测装置经常会对各种大小的晶圆进行检测，晶圆大小不一，难以进行固定，同时现有的装置无法对晶圆进行全面的检测，且在进行不同位置的检测时移动麻烦，检测效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其能够适应不同大小的晶圆的检测固定，且能够对晶圆进行全面检测，准确性更高，且检测位置的转换方便，可以提高检测效率。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有安装板，所述安装板上转动连接有安装盘，所述安装板内设有安装腔，所述安装腔内设有用于提供安装盘转动所需动力的传动机构，所述安装盘上设有第一安装槽，所述第一安装槽内设有用于固定晶圆本体的夹紧机构，所述底座上固定连接有安装杆，所述安装杆左侧设有气缸，所述气缸的伸缩末端固定连接有连接板，所述连接板上设有检测器，所述安装杆上设有第二安装槽，所述第二安装槽内设有用于使检测器上下往复移动的移动机构，所述安装板上固定连接有L形板，所述L形板上设有用于提供安装盘转动及移动机构所需动力的动力机构。
优选地，所述传动机构包括转动连接在安装腔内的转杆，所述转杆与安装盘固定连接，所述转杆上固定连接有蜗轮，所述安装腔内转动有与蜗轮啮合的蜗杆。
优选地，所述夹紧机构包括转动连接在第一安装槽内的双头螺纹杆，所述双头螺纹杆上螺纹连接有一对与第一安装槽滑动连接的连接块，所述连接块上固定连接有V形夹板。
优选地，所述移动机构包括转动连接在第二安装槽内的往复丝杠，所述往复丝杠上设有与第二安装槽滑动连接的丝杠套，所述丝杠套与气缸固定连接。
优选地，所述动力机构包括设置在L形板上的电机，所述电机的输出轴末端与蜗杆固定连接，所述安装杆上转动连接有与往复丝杠固定连接的连接杆，所述连接杆与电机的输出轴上均固定连接有带轮，两个所述带轮通过皮带连接。
优选地，所述V形夹板的内壁上固定连接有缓冲垫，所述安装盘上转动连接有与双头螺纹杆固定连接的转把。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
1、通过设置夹紧机构，实现对晶圆进行固定，操作方便，且能够适应不同大小的晶圆的固定，无需频繁更换固定工具。
2、通过设置传动机构、移动机构与动力机构，实现使晶圆进行转动，同时能够使检测器移动，能够实现对晶圆的全面检测，使检测结果更准确，且检测位置的更换方便，检测效率高。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置的侧视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置的夹紧机构示意图；
图3为本实用新型提出的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置的A处结构放大示意图。
图中：1底座、2安装板、3安装杆、4安装盘、5V形夹板、6晶圆本体、7检测器、8气缸、9蜗轮、10蜗杆、11电机、12皮带、13往复丝杠、14丝杠套、15缓冲垫、16双头螺纹杆、17连接块、18转把。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
参照图1-3，一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，包括底座1，底座1上固定连接有安装板2，安装板2上转动连接有安装盘4，安装板2内设有安装腔，安装腔内设有用于提供安装盘4转动需动力的传动机构，传动机构包括转动连接在安装腔内的转杆，转杆与安装盘4固定连接，转杆上固定连接有蜗轮9，安装腔内转动有与蜗轮9啮合的蜗杆10，启动电机11，电机11能够使蜗杆10转动，使蜗轮9转动，使转杆转动，使安装盘4转动，使晶圆本体6转动。
安装盘4上设有第一安装槽，第一安装槽内设有用于固定晶圆本体6的夹紧机构，夹紧机构包括转动连接在第一安装槽内的双头螺纹杆16，双头螺纹杆16上螺纹连接有一对与第一安装槽滑动连接的连接块17，连接块17上固定连接有V形夹板5，V形夹板5的内壁上固定连接有缓冲垫15，安装盘4上转动连接有与双头螺纹杆16固定连接的转把18，转动转把18，转把18转动能够使双头螺纹杆16转动，使两个连接块17相对移动，使两个V形夹板5相对移动将晶圆本体6夹紧实现晶圆本体6的固定，缓冲垫15的存在可以缓冲晶圆本体6受到的夹紧力，避免晶圆本体6损坏。
底座1上固定连接有安装杆3，安装杆3左侧设有气缸8，气缸8的伸缩末端固定连接有连接板，连接板上设有检测器7，安装杆3上设有第二安装槽，第二安装槽内设有用于使检测器7上下往复移动的移动机构，移动机构包括转动连接在第二安装槽内的往复丝杠13，往复丝杠13上设有与第二安装槽滑动连接的丝杠套14，丝杠套14与气缸8固定连接，安装板2上固定连接有L形板，L形板上设有用于提供安装盘4转动及移动机构需动力的动力机构，动力机构包括设置在L形板上的电机11，电机11的输出轴末端与蜗杆10固定连接，安装杆3上转动连接有与往复丝杠13固定连接的连接杆，连接杆与电机11的输出轴上均固定连接有带轮，两个带轮通过皮带12连接，电机11经由皮带12的传动可以使往复丝杠13同时转动，使丝杠套14上下往复移动，使检测器7上下移动对晶圆本体6进行检测，使检测更加全面。
本实用新型使用时，转动转把18，转把18转动能够使双头螺纹杆16转动，使两个连接块17相对移动，使两个V形夹板5相对移动将晶圆本体6夹紧实现晶圆本体6的固定，缓冲垫15的存在可以缓冲晶圆本体6受到的夹紧力，避免晶圆本体6损坏，然后启动电机11，电机11能够使蜗杆10转动，使蜗轮9转动，使转杆转动，使安装盘4转动，使晶圆本体6转动，电机11经由皮带12的传动可以使往复丝杠13同时转动，使丝杠套14上下往复移动，使检测器7上下移动对晶圆本体6进行检测。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)上转动连接有安装盘(4)，所述安装板(2)内设有安装腔，所述安装腔内设有用于提供安装盘(4)转动所需动力的传动机构，所述安装盘(4)上设有第一安装槽，所述第一安装槽内设有用于固定晶圆本体(6)的夹紧机构，所述底座(1)上固定连接有安装杆(3)，所述安装杆(3)左侧设有气缸(8)，所述气缸(8)的伸缩末端固定连接有连接板，所述连接板上设有检测器(7)，所述安装杆(3)上设有第二安装槽，所述第二安装槽内设有用于使检测器(7)上下往复移动的移动机构，所述安装板(2)上固定连接有L形板，所述L形板上设有用于提供安装盘(4)转动及移动机构所需动力的动力机构。
2.根据权利要求1所述的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其特征在于，所述传动机构包括转动连接在安装腔内的转杆，所述转杆与安装盘(4)固定连接，所述转杆上固定连接有蜗轮(9)，所述安装腔内转动有与蜗轮(9)啮合的蜗杆(10)。
3.根据权利要求1所述的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其特征在于，所述夹紧机构包括转动连接在第一安装槽内的双头螺纹杆(16)，所述双头螺纹杆(16)上螺纹连接有一对与第一安装槽滑动连接的连接块(17)，所述连接块(17)上固定连接有V形夹板(5)。
4.根据权利要求1所述的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其特征在于，所述移动机构包括转动连接在第二安装槽内的往复丝杠(13)，所述往复丝杠(13)上设有与第二安装槽滑动连接的丝杠套(14)，所述丝杠套(14)与气缸(8)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其特征在于，所述动力机构包括设置在L形板上的电机(11)，所述电机(11)的输出轴末端与蜗杆(10)固定连接，所述安装杆(3)上转动连接有与往复丝杠(13)固定连接的连接杆，所述连接杆与电机(11)的输出轴上均固定连接有带轮，两个所述带轮通过皮带(12)连接。
6.根据权利要求3所述的一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，其特征在于，所述V形夹板(5)的内壁上固定连接有缓冲垫(15)，所述安装盘(4)上转动连接有与双头螺纹杆(16)固定连接的转把(18)。
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| CN202120196357.7U CN215179767U (zh) | 2021-01-25 | 2021-01-25 | 一种基于视觉系统的晶圆缺口检测装置 |
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2021
- 2021-01-25 CN CN202120196357.7U patent/CN215179767U/zh active Active
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