CN215163276U - 高效的晶圆正反面电镀挂具 - Google Patents
高效的晶圆正反面电镀挂具 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及晶圆挂具领域，尤其是高效的晶圆正反面电镀挂具。该挂具包括挂具基板、压环、导电环一、导电环二、线槽一、线槽二和弹片，所述挂具基板上设有穿孔，导电环一固定在压环上，挂具基板的正面设有导电环二、线槽一、弹片，挂具基板的反面设有线槽二，挂具基板的正面可拆卸的固定有压环，导电环一贴合在弹片上，线槽一与线槽二内分别设有电线，连接弹片连接在线槽一内的电线一端，线槽一内的电线另一端连接第一电源。本实用新型通过压环上的导电环一与线槽一内的电线连接第一电源的阴极，来对晶圆的正面进行电镀。通过挂具基板上的导电环二与线槽二内的电线连接第二电源的阴极，来对晶圆的反面进行电镀。本申请提高了晶圆电镀的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆挂具领域，尤其是高效的晶圆正反面电镀挂具。
背景技术
晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。晶圆在制备的工序步骤之一，是要将晶圆置于电镀槽内进行电镀。但是现有的用于装载晶圆的挂具只能让晶圆的其中一面电镀，从而降低了电镀的效率。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种高效的晶圆正反面电镀挂具。通过压环上的导电环一与线槽一内的电线连接第一电源的阴极，来对晶圆的正面进行电镀。通过挂具基板上的导电环二与线槽二内的电线连接第二电源的阴极，来对晶圆的反面进行电镀。本申请提高了晶圆电镀的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种高效的晶圆正反面电镀挂具，包括挂具基板、压环、导电环一、导电环二、线槽一、线槽二和弹片，所述挂具基板上设有穿孔，导电环一固定在压环上，挂具基板的正面设有导电环二、线槽一、弹片，挂具基板的反面设有线槽二，挂具基板的正面可拆卸的固定有压环，导电环一贴合在弹片上，线槽一与线槽二内分别设有电线，连接弹片连接在线槽一内的电线一端，线槽一内的电线另一端连接第一电源，导电环二上的导电片穿过挂具基板并与线槽二内的电线一端连接，线槽二内的电线另一端连接第二电源。
具体地，所述压环通过螺栓固定连接在挂具基板上。
具体地，所述导电环一上设有凸起，挂具基板的正面设有用与配合凸起的凹槽。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种高效的晶圆正反面电镀挂具。通过压环上的导电环一与线槽一内的电线连接第一电源的阴极，来对晶圆的正面进行电镀。通过挂具基板上的导电环二与线槽二内的电线连接第二电源的阴极，来对晶圆的反面进行电镀。本申请提高了晶圆电镀的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的挂具基板反面的结构示意图；
图3是本实用新型的压环的结构示意图；
图4是本实用新型的挂具基板正面的结构示意图；
图中1.挂具基板，2.压环，3.导电环一,4.导电环二，5.线槽一，6.线槽二，7.弹片，8.凸起，9.凹槽。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的挂具基板反面的结构示意图，图3是本实用新型的压环的结构示意图，图4是本实用新型的挂具基板正面的结构示意图。
一种高效的晶圆正反面电镀挂具，包括挂具基板1、压环2、导电环一3、导电环二4、线槽一5、线槽二6和弹片7，所述挂具基板1上设有穿孔，导电环一3固定在压环2上，挂具基板1的正面设有导电环二4、线槽一5、弹片7，挂具基板1的反面设有线槽二6，挂具基板1的正面可拆卸的固定有压环2，导电环一3贴合在弹片7上，线槽一5与线槽二6内分别设有电线，连接弹片7连接在线槽一5内的电线一端，线槽一5内的电线另一端连接第一电源，导电环二4上的导电片穿过挂具基板1并与线槽二6内的电线一端连接，线槽二6内的电线另一端连接第二电源。压环2通过螺栓固定连接在挂具基板1上。导电环一3上设有凸起8，挂具基板1的正面设有用与配合凸起8的凹槽9。
结合附图1、附图2、附图3和附图4所示，将晶圆置于挂具基板1和压环2之间，然后用螺栓将挂具基板1和压环2固定连接在一起，此时晶圆正面贴合在导电环一3上，晶圆反面贴合在导电环二4上，而导电环一3的凸起置于挂具基板1的凹槽9内，导电环一3贴合在凹槽9内的弹片7上。这样第一电源的阴极就能通过线槽一5内的电线、弹片7、导电环一3，与晶圆的正面导通。第二电源的阴极则可以通过线槽二6内的电线、导电环二4，与晶圆的反面导通。而晶圆正反两面分别位于压环2的穿孔及挂具基板1的穿孔之间，最后将挂具放到电镀槽内，这样就可以对晶圆的正反两面进行电镀。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (3)
1.一种高效的晶圆正反面电镀挂具，其特征在于：包括挂具基板(1)、压环(2)、导电环一(3)、导电环二(4)、线槽一(5)、线槽二(6)和弹片(7)，所述挂具基板(1)上设有穿孔，导电环一(3)固定在压环(2)上，挂具基板(1)的正面设有导电环二(4)、线槽一(5)、弹片(7)，挂具基板(1)的反面设有线槽二(6)，挂具基板(1)的正面可拆卸的固定有压环(2)，导电环一(3)贴合在弹片(7)上，线槽一(5)与线槽二(6)内分别设有电线，连接弹片(7)连接在线槽一(5)内的电线一端，线槽一(5)内的电线另一端连接第一电源，导电环二(4)上的导电片穿过挂具基板(1)并与线槽二(6)内的电线一端连接，线槽二(6)内的电线另一端连接第二电源。
2.根据权利要求1所述的高效的晶圆正反面电镀挂具，其特征在于：所述压环(2)通过螺栓固定连接在挂具基板(1)上。
3.根据权利要求1所述的高效的晶圆正反面电镀挂具，其特征在于：所述导电环一(3)上设有凸起(8)，挂具基板(1)的正面设有用与配合凸起(8)的凹槽(9)，弹片(7)置于凹槽(9)内。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
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| CN202021516544 | 2020-07-28 |
Publications (1)
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Family
ID=79393289
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121677238.XU Active CN215163276U (zh) | 2020-07-28 | 2021-07-22 | 高效的晶圆正反面电镀挂具 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-07-22 CN CN202121677238.XU patent/CN215163276U/zh active Active
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |