CN215145697U - 激光焦点定位系统 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种激光焦点定位系统。该激光焦点定位系统包括光源组件、聚焦组件、驱动部、分析部和控制部。光源组件用于产生第一光束,聚焦组件用于将由激光器产生的激光束和第一光束均聚焦于第一光轴。驱动部用于驱动工件运动至第一光轴上的多个反射位置,以在每一反射位置产生第一光束经工件反射形成的反射光束,每一反射光束均射向聚焦组件。分析部用于分析经聚焦组件射出的每一反射光束的光谱信息。控制部与分析部和驱动部均连接,用于根据所有反射光束的光谱信息及对应的所有反射位置,控制驱动部驱动工件移动至激光器的焦点位置。本申请能够实现自动对焦,提高了加工稳定性与一致性。
Description
技术领域
本申请涉及激光加工技术领域,特别是涉及一种激光焦点定位系统。
背景技术
在激光加工应用中,寻找激光焦点位置是非常重要的一环,精准的焦点位置是良好加工效果的保障,如激光焊接中不同离焦量影响了焊接深度和工件金属相的生成。大多数激光焦点采用人工寻找的方法,耗时较长,精度和一致性难以保证,影响加工质量。
实用新型内容
基于此,有必要针对现有技术中人工定位激光焦点精度和一致性低且时间长的问题,提供一种改善上述缺陷的激光焦点定位系统。
一种激光焦点定位系统,包括:
光源组件,用于产生具有第一波长区间的第一光束;
聚焦组件,用于将由激光器产生的激光束和所述第一光束均聚焦于第一光轴;
驱动部,用于驱动工件运动至所述第一光轴上的多个反射位置,以在每一个所述反射位置产生所述第一光束经所述工件反射形成的反射光束,每一所述反射光束均射向所述聚焦组件;
分析部,用于分析经所述聚焦组件射出的每一所述反射光束的光谱信息;
控制部,与所述分析部和所述驱动部连接,用于根据每一所述反射光束的光谱信息及对应的所述反射位置,获取所述激光器的焦点位置,并控制所述驱动部驱动所述工件移动至所述激光器的焦点位置。
在其中一个实施例中,所述激光束的波长值在所述第一波长区间之外。
在其中一个实施例中,还包括第一光学组件,所述第一光学组件包括光纤耦合器和第一准直部;
所述光纤耦合器的一端具有并联设置的两个第一接头,所述两个第一接头的一者与所述光源组件连接,所述两个第一接头的另一者与所述分析部连接,所述光纤耦合器的另一端具有第二接头,所述第二接头连接所述第一准直部;
在所述第一光束和所述反射光束的光路上,所述光纤耦合器、所述第一准直部、所述聚焦组件依次布置。
在其中一个实施例中,所述第一光学组件还包括第一分光器,所述第一分光器位于所述第一准直部的背离所述第二接头的一侧;
在所述第一光束和所述反射光束的光路上,所述第一准直部、所述第一分光器、所述聚焦组件依次布置;在所述激光束的光路上,所述第一分光器、所述聚焦组件依次布置,所述第一分光器用于反射所述第一光束和所述反射光束,且用于透射所述激光束。
在其中一个实施例中,所述第一准直部包括同轴布置的弯月透镜和双胶合透镜,且所述双胶合透镜位于所述第一分光器和所述弯月透镜之间。
在其中一个实施例中,还包括第二光学组件,所述第二光学组件包括激光准直部和第二分光器,所述激光准直部用于接收所述激光器产生的所述激光束并进行准直,经准直的所述激光束经所述第二分光器反射后射向所述第一分光器。
在其中一个实施例中,所述光源组件包括壳体、滤光镜片组和用于产生宽光谱光束的发光源,所述滤光镜片组和所述发光源均位于所述壳体内,所述壳体上具有出口;
所述滤光镜片组位于所述出口和所述发光源之间,并用于对所述宽光谱光束进行滤光处理得到所述第一光束,所述第一光束经所述出口导出。
在其中一个实施例中,所述光源组件还包括连接于所述壳体内的准直透镜和聚焦透镜,所述准直透镜和所述聚焦透镜均位于所述发光源和所述滤光镜片组之间,且所述准直透镜位于所述聚焦透镜和所述发光源之间。
在其中一个实施例中,所述光源组件还包括反射镜,所述反射镜连接于所述壳体内,且位于所述发光源的与所述出口相背离的一侧。
在其中一个实施例中,所述聚焦组件包括振镜和场镜,所述第一光束和所述激光束均经所述振镜反射至所述场镜后,由所述场镜聚焦于所述第一光轴。
在其中一个实施例中,还包括视觉组件,所述视觉组件包括照明部和成像部,所述照明部设于所述工件和所述聚焦组件之间,用于向所述工件发出第二光束,所述第二光束经所述工件反射后经所述聚焦组件射出并进入所述成像部,以使得所述成像部成像。
上述激光焦点定位系统,能够自动实现工件和激光器的对焦,解决了人工对焦引起的耗时长及对焦精度和对焦一致性难以保证的问题,有助于提高加工质量。同时,还能够避免因工件加工误差、夹具夹持不理想或其他定位误差引起加工质量下降,极大提高了加工稳定性与一致性。
附图说明
图1为本申请一实施例中的激光焦点定位系统的结构示意图;
图2为图1所示的激光焦点定位系统在另一视角下的结构示意图;
图3为图2所示的激光焦点定位系统的支撑件的支撑板的结构示意图;
图4为图1所示的激光焦点定位系统的原理示意图。
附图标记说明:
100、激光焦点定位系统;110、光源组件;111、壳体;112、发光源;113、滤光镜片组;1131、长波通滤光片;1132、短波通滤光片;114、准直透镜;115、聚焦透镜;116、反射镜;120、聚焦组件;121、振镜;122、场镜;130、分析部;140、第一光学组件;141、光纤耦合器;1411、第一接头;1412、第二接头;142、第一准直部;1421、弯月透镜;1422、双胶合透镜;143、第一分光器;150、第二光学组件;151、激光准直部;152、第二分光器;161、照明部;162、成像部;200、工件。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进,因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
请参阅图1,本申请一实施例中提供了一种激光焦点定位系统100,用于控制工件200运动至激光器的焦点位置处。该激光焦点定位系统100包括光源组件110、聚焦组件120、驱动部(未图示)、分析部130和控制部(未图示)。光源组件110用于产生第一光束,聚焦组件120用于将由激光器产生的激光束和第一光束均聚焦于第一光轴。驱动部用于驱动工件200运动至第一光轴上的多个反射位置,以使该工件200在每一反射位置对第一光束经工件200反射形成一反射光束,每一反射光束均射向聚焦组件120。分析部130用于分析经聚焦组件120射出的每一反射光束的光谱信息。控制部与分析部130和驱动部均连接,用于根据每一反射光束的光谱信息及对应的所有反射位置,获取激光器的焦点位置,并控制驱动部驱动工件200移动至激光器的焦点位置。
上述激光焦点定位系统100,在实际作业时,由第一光源产生第一光束,第一光束经聚焦组件120聚焦于第一光轴,驱动部控制工件200沿第一光轴移动并在第一光轴上具有多个反射位置,当工件200位于每一反射位置时第一光束经工件200反射产生一反射光束,反射光束射向聚焦组件120,反射光束经聚焦组件120扩束后被分析部130吸收。分析部130能够分析出每一反射光束的光谱信息,根据光谱信息可以获知该反射光束是否是在第一光束的某一焦平面上反射形成。控制部接收每一反射光束的光谱信息以获取该反射光束是否为工件200位于第一光束的某一焦平面时反射产生,并根据在第一光束的所有焦平面上产生的多个反射光束的反射位置确定第一光束的焦点位置区间,再根据该焦点位置区间确定激光器的实际焦点位于该焦点位置区间的实际位置,而后控制部控制驱动部驱动工件200移动至该实际位置,如此完成工件200与激光器的对焦。此时,激光器发出的激光束经聚焦组件120聚焦于第一光轴上后,工件200位于激光器的焦平面上。
与现有技术相比,能够自动实现工件200和激光器的对焦,解决了人工对焦引起的耗时长及对焦精度和对焦一致性难以保证的问题,有助于提高加工质量。同时,还能够避免因工件200加工误差、夹具夹持不理想或其他定位误差引起的加工质量下降,极大提高了加工稳定性与一致性。
参考图4,第一波长区间[λ1,λ2]的焦点位置区间为[X1,X2],此时工件200激光束(波长λ3)的焦点位置为X3。激光器的焦点位置位于所有反射位置界定出的位置区间之内。
其中,激光器发射的激光束和光源组件110产生的第一光束在同一光轴上聚焦,保证了对焦精度。通过选择合理的第一波长区间来达到该目的。
其中,分析部130和控制部可以集成在一台设备上,如集成在光谱仪上,或者分别由两个设备完成,例如分析部130为光谱仪,控制部为工控机,具体不限制。分析部130不止于光谱仪,还可以为具有光谱分析功能的其他设备或模块。驱动部可以为气缸伸缩机构等,具体不进行限制。
需要说明的是,在激光焦点定位系统100投入使用之前,首先利用一标定件作为工件200,按照上述步骤确定光源组件110产生的第一光束在第一光轴上的标定焦点位置区间,而且还利用其它手段确定激光器在第一光轴上的实际焦点位置,此时控制部可以获得激光器的实际焦点位置在第一光束的标定焦点位置区间上的相对位置,以下简称相对位置数据。在投入使用时,当移动工件200以对焦时,由于工件200在尺寸上的改变(例如高度改变),此时位于第一光束的同一焦平面时工件200的反射位置发生变化,因此需要对利用工件200对第一光束的实际焦点位置区间进行重新确定,然后根据相对位置数据与实际焦点位置区间重新确定工件200的对焦位置,以使得工件200位于激光束的焦平面上。如此,当替换工件200时,使用该激光焦点定位系统100即可使得工件200的自动运动到激光器的焦平面。
其中,可以利用光束质量分析仪器、比较标定件在第一光轴上的多个位置产生的焊点大小等手段确定激光器的焦点实际位置,具体方式不限制。
在实际作业时,控制部还可以根据需要的离焦量控制工件200在激光束的焦平面上下运动,以得到合适的焊接深度和生成需要的工件200金属相。
优选地,激光束的波长值在第一波长区间之外,如此,可以减少激光束对光源组件110发射光束的干扰。例如当第一波长区间位700-1000nm时,激光束的波长值为1064nm。只需要使得激光束在第一光轴的焦点位于第一光束的焦点位置区间即可。当然,也不排除激光束的波长值在第一波长区间的可行性。
在一些实施例中,参见图1和图2,激光焦点定位系统100还包括第一光学组件140,第一光学组件140包括光学耦合器和第一准直部142,光纤耦合器141的一端具有并联设置的两个第一接头1411,两个第一接头1411中的一者与光源组件110连接,两个第一接头1411的另一者与分析部130连接,光纤耦合器141的另一端具有第二接头1412,第二接头1412连接第一准直部142,在第一光束和反射光束的光路上,光纤耦合器141、第一准直部142、聚焦组件120依次布置。
在实际作业时,经光源组件110发出的第一光束经光纤耦合器141射入第一准直部142,并经第一准直部142准直后射向聚焦组件120,最后经由聚焦组件120聚焦于第一光轴上。反射光束依次经过聚焦组件120、第一准直部142、光纤耦合器141后由分析部130采集,并经由分析部130分析光谱信息。此时通过光纤耦合器141和第一准直部142的结合实现了第一光束的传递,便于布局。
进一步地,参见图2,第一光学组件140还包括第一分光器143,第一分光器143位于第一准直部142的背离第二接头1412的一侧。在第一光束和反射光束的光路上,第一准直部142、第一分光器143、聚焦组件120依次布置,在激光束的光路上,第一分光器143、聚焦组件120依次布置,第一分光器143用于反射第一光束和反射光束,且用于透射激光束。
此时,利用第一分光器143来改变第一光束和反射光束在第一准直部142和聚焦组件120的传播方向,同时利用第一分光器143来透射激光束,可以使得激光束和第一光束、反射光束具有同一段传播通道,有助于使得系统结构更加紧凑。同时,利用第一分光器143对激光束和第一光束(及反射光束)进行分路,使得激光束与第一光束(及反射光束)在同一通道内沿两条平行的光路传播,有助于聚焦组件120将激光束和第一光束聚焦于同一光轴上。
具体到实施例中,参见图2,第一准直部142包括同轴布置的弯月透镜1421和双胶合透镜1422,且双胶合透镜1422位于第一分光器143和弯月透镜1421之间。在实际作业时,光纤耦合器141发出的第一光束先后经弯月镜头和双胶合镜头后形成准直光束并射向第一分光器143。此时,由弯月透镜1421与双胶合透镜1422构成的准直镜组在保证了准直效果的同时,对加工与装配公差相对不敏感。
当然,第一准直部142也可以采用现有的准直镜头实现对光束的准直,具体不限制。
在一些实施例中,参见图1,激光焦点定位系统100还包括第二光学组件150,第二光学组件150包括激光准直部151和第二分光器152,激光准直部151用于接收激光器产生的激光束并进行准直,经准直的激光束经第二分光器152反射后射向第一分光器143。此时,通过第二分光器152改变将激光束引导至射向第一分光器143,在后续引入照明部161时,通过第二分光器152能够将第二光束与激光束分离,实现工件200所处的加工区的监测。如此,有助于扩展激光焦点定位系统100的功能,同时简化系统结构。
在其他实施例中,当不需要对激光焦点定位系统100进行扩展时,也可以将激光准直部151发出的准直光束直接朝向第一分光器143发射。
其中,激光准直部151通过光纤与激光器连接,激光器产生的激光经光纤传递并射向激光准直部151,由激光准直部151进行准直。激光准直部151可以采用现有的激光准直器。
在一些中,参见图3,光源组件110包括壳体111、滤光镜片组113和用于产生宽光谱光束的发光源112,滤光镜片组113和发光源112均位于壳体111内,壳体111上具有出口。滤光镜片组113位于出口和发光源112之间,并用于对宽光谱光束进行滤光处理得到第一光束,第一光束经出口导出。
其中,发光源112相当于一点光源,其产生的宽光谱光束在滤光镜片组113处理下得到只有一定波长区间的第一光束。如此,将光源组件110产生的复色光限定在第一波长区间内,能够减少其他波段的光对系统的干扰,提高对焦精度。
其中,经出口射出的光束可以经设于出口的光纤耦合器141导出,然后经光纤耦合器141传递至第一准直部142。
具体到实施例中,滤光镜片组113包括同轴布置的长波通滤光片1131和短波通滤光片1132,长波通滤光片1131用于通过波长大于第一波长值的光束,短波通滤光片1132用于通过波长小于第二波长值的光束,第一波长值小于第二波长值。
在实际作业时,经由发光部发出的宽光谱光束中长于第二波长值的光短波通滤光片1132过滤,短于第一波长值的光束被长波通滤光片1131过滤,最后经由短波通滤光片1132射出的第一光束的波长范围为[第一波长值,第二波长值]。
其中,长波通滤光片1131相较于短波通滤光片1132远离出口布置,或者短波通滤光片1132相较于长波通滤光片1131远离出口布置,具体不限。可以理解地,滤光镜片组113的各个滤光片可以基于反射或吸收来达到过滤效果。
进一步地,参见图3,光源组件110还包括准直透镜114和聚焦透镜115,准直透镜114和聚焦透镜115均位于壳体111,且均位于发光源112和滤光镜片组113之间,准直透镜114位于聚焦透镜115和发光源112之间。
在实际作业时,发光源112发出的宽光谱光束经准直透镜114准直、聚焦透镜115聚焦后入射到滤光镜片组113,减少复色光的衰减量,提高第一光束经光纤耦合器141耦合的耦合效率,同时还减少复色光将光学系统衰减过多而影响分析部130对光谱的探测。
可以理解地,准直透镜114的光轴、聚焦透镜115的光轴、滤光镜片组113的光轴同轴。
进一步地,参见图3,光源组件110还包括反射镜116,反射镜116连接于壳体111内,且位于发光源112的与出口背离的一侧。
在实际作业时,由于发光源112相当于一个点光源,其发射的宽光谱光束的出射方向是多方向的。此时宽光谱光束的背离出口发射的部分光束入射在反光镜上,在反光镜的反射下改变出射方向并朝向出口发射,如此,有助于提高光束利用效率。
优选地,发光源112的发光中心位于反射镜116反射面的球心。
在一些实施例中,参见图1,聚焦组件120包括振镜121和场镜122,第一光束和激光束均经振镜121反射至场镜122后,由场镜122聚焦于第一光轴。此时,由振镜121对第一光束和激光束进行反射以改变两者的传播方向,再由场镜122聚焦。如此,利用振镜121系统灵活改变激光束的传播方向,实现激光矢量扫描工件200。
在其他实施例中,也可以由其他聚焦镜/聚焦镜组来替换振镜121和场镜122,或只替代场镜122。或者利用准直聚焦头、单点头来替代振镜121和场镜122。可以根据实际加工需灵活设定。
在一些实施例中,参见图1,激光焦点定位系统100还包括视觉组件,视觉组件包括照明部161和成像部162,照明部161设于工件200和聚焦组件120之间,用于向工件200发射第二光束,第二光束经工件200发射后经聚焦组件120射出并进入成像部162,以使得成像部162成像。如此,在实际使用时,可以通过成像部162形成图像,以便于监控工件200的加工情况。
其中,照明部161可以为LED、白炽灯等光源。成像部162可以为工业镜头和相机的组合。
在一具体实施例中,第二光束经聚焦组件120射出后,先后透过第一分光器143、第二分光器152后进入成像部162。此时,第二分光器152透射第二光束且反射激光束,实现了激光束和第二光束分离,避免激光束进入成像部162造成成像干扰。
本申请实施例中提供的激光焦点定位系统100,能够自动实现工件200和激光器的对焦,解决了人工对焦引起的耗时长及对焦精度和对焦一致性难以保证的问题,有助于提高加工质量。同时,还能够避免因工件200的加工误差、夹具夹持不理想或其他定位误差引起的工件200加工质量下降,极大提高了加工稳定性与一致性。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种激光焦点定位系统,其特征在于,包括:
光源组件(110),用于产生具有第一波长区间的第一光束;
聚焦组件(120),用于将由激光器产生的激光束和所述第一光束均聚焦于第一光轴;
驱动部,用于驱动工件(200)运动至所述第一光轴上的多个反射位置,以在每一个所述反射位置产生所述第一光束经所述工件(200)反射形成的反射光束,每一所述反射光束均射向所述聚焦组件(120);
分析部(130),用于分析经所述聚焦组件(120)射出的每一所述反射光束的光谱信息;
控制部,与所述分析部(130)和所述驱动部连接,用于根据每一所述反射光束的光谱信息及对应的所述反射位置,获取所述激光器的焦点位置,并控制所述驱动部驱动所述工件(200)移动至所述激光器的焦点位置。
2.根据权利要求1所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述激光束的波长值在所述第一波长区间之外。
3.根据权利要求1所述的激光焦点定位系统,其特征在于,还包括第一光学组件(140),所述第一光学组件(140)包括光纤耦合器(141)和第一准直部(142);
所述光纤耦合器(141)的一端具有并联设置的两个第一接头(1411),所述两个第一接头(1411)的一者与所述光源组件(110)连接,所述两个第一接头(1411)的另一者与所述分析部(130)连接,所述光纤耦合器(141)的另一端具有第二接头(1412),所述第二接头(1412)连接所述第一准直部(142);
在所述第一光束和所述反射光束的光路上,所述光纤耦合器(141)、所述第一准直部(142)、所述聚焦组件(120)依次布置。
4.根据权利要求3所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述第一光学组件(140)还包括第一分光器(143),所述第一分光器(143)位于所述第一准直部(142)的背离所述第二接头(1412)的一侧;
在所述第一光束和所述反射光束的光路上,所述第一准直部(142)、所述第一分光器(143)、所述聚焦组件(120)依次布置;在所述激光束的光路上,所述第一分光器(143)、所述聚焦组件(120)依次布置,所述第一分光器(143)用于反射所述第一光束和所述反射光束,且用于透射所述激光束。
5.根据权利要求4所述的激光焦点定位系统,其特征在于,还包括第二光学组件(150),所述第二光学组件(150)包括激光准直部(151)和第二分光器(152),所述激光准直部(151)用于接收所述激光器产生的所述激光束并进行准直,经准直的所述激光束经所述第二分光器(152)反射后射向所述第一分光器(143)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述光源组件(110)包括壳体(111)、滤光镜片组(113)和用于产生宽光谱光束的发光源(112),所述滤光镜片组(113)和所述发光源(112)均位于所述壳体(111)内,所述壳体(111)上具有出口;
所述滤光镜片组(113)位于所述出口和所述发光源(112)之间,并用于对所述宽光谱光束进行滤光处理得到所述第一光束,所述第一光束经所述出口导出。
7.根据权利要求6所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述光源组件(110)还包括连接于所述壳体(111)内的准直透镜(114)和聚焦透镜(115),所述准直透镜(114)和所述聚焦透镜(115)均位于所述发光源(112)和所述滤光镜片组(113)之间,且所述准直透镜(114)位于所述聚焦透镜(115)和所述发光源(112)之间。
8.根据权利要求6所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述光源组件(110)还包括反射镜(116),所述反射镜(116)连接于所述壳体(111)内,且位于所述发光源(112)的与所述出口相背离的一侧。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的激光焦点定位系统,其特征在于,所述聚焦组件(120)包括振镜(121)和场镜(122),所述第一光束和所述激光束均经所述振镜(121)反射至所述场镜(122)后,由所述场镜(122)聚焦于所述第一光轴。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的激光焦点定位系统,其特征在于,还包括视觉组件,所述视觉组件包括照明部(161)和成像部(162),所述照明部(161)设于所述工件(200)和所述聚焦组件(120)之间,用于向所述工件(200)发出第二光束,所述第二光束经所述工件(200)反射后经所述聚焦组件(120)射出并进入所述成像部(162),以使得所述成像部(162)成像。
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CN202120203074.0U CN215145697U (zh) | 2021-01-25 | 2021-01-25 | 激光焦点定位系统 |
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Cited By (1)
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CN114160967A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-03-11 | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 | 一种随动式激光加工装置及其控制方法 |
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2021
- 2021-01-25 CN CN202120203074.0U patent/CN215145697U/zh active Active
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