CN215145673U - 激光加工系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种激光加工系统。该激光加工系统包括：激光输出部，用于输出激光束，激光束沿第一光路传输；第一分束器，设于第一光路，用于反射激光束；聚焦组件设于第一光路，且位于第一分束器的下游，用于将激光束聚焦于工件；其中，激光束在工件反射下形成背反射激光信号，背反射激光信号沿第二光路传输；及监测模块，包括位于第二光路的用于接收背反射激光信号的背射传感器；其中，在第二光路上，聚焦组件、第一分束器、背射传感器依次布置，第一分束器还用于透射背反射激光信号。本申请可以实时监测激光功率且结构紧凑。

Description

激光加工系统

技术领域

本申请涉及激光加工技术领域，特别是涉及一种激光加工系统。

背景技术

激光加工的加工质量会受到激光功率、激光波长、加工光束直径、加工速度等因素影响，其中的某个因素出错都可能产生加工不良与产品差异，若不能及时监控与排查，将影响加工质量与生产效率。而现有的监测装置中，针对激光功率的变化通常采取的是在激光束产生时经过一分束器分成两束激光，其中一束用于加工，其中另一束用于被功率传感器接收。如此，不仅降低了激光能量的利用率，而且还不能发现在激光传输光路上的其他光学元件造成的激光功率的损失，不利于加工质量问题的及时发现。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术对激光加工系统的加工质量监测时影响激光能量利用率的问题，提供一种改善上述缺陷的激光加工系统。

一种激光加工系统，包括：

激光输出部，用于输出激光束，所述激光束沿第一光路传输；

第一分束器，设于所述第一光路，用于反射所述激光束；

聚焦组件，设于所述第一光路，且位于所述第一分束器的下游，用于将所述激光束聚焦于工件；其中，所述激光束在所述工件反射下形成背反射激光信号，所述背反射激光信号沿第二光路传输；及，

监测模块，包括位于所述第二光路的用于接收所述背反射激光信号的所述背射传感器；其中，在所述第二光路上，所述聚焦组件、所述第一分束器、所述背射传感器依次布置，所述第一分束器还用于透射所述背反射激光信号。

在其中一个实施例中，所述监测模块还包括焦点定位器和第二分束器；

所述焦点定位器用于输出与所述激光束的波长不等的第一光束，所述第一光束沿第三光路传输，所述第二分束器位于所述第三光路，用于反射所述第一光束；

其中，在所述第三光路上，所述焦点定位器、所述第二分束器、所述第一分束器和所述聚焦组件依次布置，所述第一分束器还用于透射所述第一光束。

在其中一个实施例中，所述第二分束器还位于所述第二光路上，且所述第二分束器位于所述第一分束器和所述背射传感器之间，所述第二分束器还用于透射所述背反射激光信号。

在其中一个实施例中，所述监测模块还包括等离子体传感器和第三分束器；

所述等离子体传感器用于接收在所述激光束加工所述工件时产生的等离子体辐射信号，所述等离子体辐射信号沿第四光路传输，所述第三分束器设于所述第四光路，用于反射所述等离子体辐射信号；

在所述第四光路上，所述聚焦组件、所述第一分束器、所述第三分束器、所述等离子体传感器依次布置，所述第一分束器还用于透射所述等离子体辐射信号。

在其中一个实施例中，所述第三分束器还位于所述第二光路上，且在所述第二光路上，所述第三分束器位于所述第一分束器和所述背射传感器之间，所述第三分束器还用于透射所述背反射激光信号。

在其中一个实施例中，所述监测模块还包括温度传感器和第四分束器；

所述温度传感器用于接收在所述激光束加工所述工件时产生的热辐射信号，所述热辐射信号沿第五光路传输，所述第四分束器位于所述第五光路，用于反射所述热辐射信号；

在所述第五光路上，所述聚焦组件、所述第一分束器、所述第四分束器、所述温度传感器依次布置，所述第一分束器还用于透射所述热辐射信号。

在其中一个实施例中，所述第四分束器还位于所述第二光路上，且在所述第二光路上，所述第四分束器位于所述第一分束器和所述背射传感器之间，所述第四分束器还用于透射所述背反射激光信号。

在其中一个实施例中，所述监测模块还包括成像部、视觉光源和第五分束器；

所述视觉光源位于所述聚焦组件和所述工件之间，用于向所述工件发出与所述激光束的波长不等的第二光束，所述第二光束经所述工件反射后沿第六光路传输，所述第五分束器用于反射所述第二光束，所述成像部用于根据所述第二光束成像；

在所述第六光路上，所述聚焦组件、所述第一分束器、所述第五分束器和所述成像部依次布置，所述第一分束器还用于透射所述第二光束。

在其中一个实施例中，所述第五分束器还位于所述第二光路上，且在所述第二光路上，所述第五分束器位于所述第一分束器和所述背射传感器之间，所述第五分束器还用于透射所述背反射激光信号。

在其中一个实施例中，所述聚焦组件包括振镜和场镜，在任一光路上，所述场镜、所述振镜和所述第一分束器依次布置。上述激光加工系统，利用实际加工过程中产生的背反射激光信号进行激光功率的实施监测，不会降低激光能量的利用率。而且，聚焦组件和第一分束器均位于第一光路和第二光路，不需要增加额外引导背反射激光信号的光学结构，有助于减少光学结构的数量，使得结构更加紧凑。

附图说明

图1为本申请一实施例中的激光加工系统的结构示意图。

附图标记说明：

1、激光输出部；2、第一分束器；3、聚焦组件；31、振镜；32、场镜；4、背射传感器；5、焦点定位器；6、第二分束器；7、等离子体传感器；8、第三分束器；9、温度传感器；10、第四分束器；11、成像部；12、视觉光源；

13、第五分束器；14、准直部；15、工件。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1，本申请一实施例中提供了一种激光加工系统，包括激光输出部1、第一分束器2、聚焦组件3和监测模块。激光输出部1用于输出激光束，激光束沿第一光路传输。第一分束器2设于第一光路，用于反射激光束。聚焦组件3设于第一光路，且位于第一分束器2的下游，用于将激光束聚焦于工件15，其中，激光束在工件15的反射下形成背反射激光信号，背反射激光信号沿第二光路传输。监测模块包括位于第二光路的用于接收背反射激光信号的背射传感器4，且在第二光路上，聚焦组件3、第一分束器2、背射传感器4依次布置，第一分束器2还用于透射背反射激光信号。

上述激光加工系统，在实际作业时，激光输出部1发出的激光束沿第一光路经第一分束器2反射后射向聚焦组件3，后经聚焦组件3聚焦于工件15，以对工件15进行加工(如焊接)。此时，小部分激光束会被工件15反射形成背反射激光信号，背反射激光信号沿第二光路经聚焦组件3、第一分束器2后到达背射传感器4。背射传感器4接收到背反射激光信号并产生电信号，根据该电信号可以分析得出背反射激光信号的功率，以实时监测作用于加工工件15的部分激光束的功率。当背反射激光信号的功率大于功率阈值时，则说明用于加工工件15的激光束功率不足，需要增大激光输出部1的激光束功率，以保证工件15的加工质量，避免因激光束功率不足引起的工件15质量差的问题。

与现有技术相比，利用实际加工过程中产生的背反射激光信号进行激光功率的实施监测，不会降低激光能量的利用率，而且能够及时发现因位于激光光路上的光学元件导致的激光功率损失而引起的加工质量问题。而且，聚焦组件3和第一分束器2均位于第一光路和第二光路，不需要增加额外引导背反射激光信号的光学结构，有助于减少光学结构的数量，使得结构更加紧凑。

需要说明的是，第一分束器2透射小部分背反射激光信号且反射大部分背反射激光信号，被反射的大部分背反射激光信号在反射光路上被做损耗处理。经第一分束器2透射的背反射激光信号的功率要小于与经第一分束器反射的背反射信号的功率。如此，背反射传感器4在接收到的背反射激光信号的功率变化很小的情况下也能及时发现问题，有助于提高背反射传感器4的灵敏度。

可以理解地，第一分束器2反射大部分激光束且透射小部分激光束，由于激光束的入射角度与背反射激光信号的入射角度垂直或相交，经第一分束器2透射的小部分激光束不朝向背反射传感器4传输，而是被安装第一分束器2的结构损耗，从而不会对背反射传感器4的检测结果造成影响。

其中，背射传感器4可以为光电传感器。

在一些实施例中，监测模块还包括焦点定位器5和第二分束器6，焦点定位器5用于输出第一光束，第一光束沿第三光路传输，第一光束的波长与激光束的波长不等，第二分束器6位于第三光路，用于反射第一光束。其中，在第三光路上，焦点定位器5、第二分束器6、第一分束器2和聚焦组件3依次布置，第一分束器2还用于透射所述第一光束。

在实际作业时，焦点定位器5产生第一光束，先被第二分束器6反射，后经第一分束器2透射后射向聚焦组件3，聚焦组件3将第一光束朝向工件15聚焦。第一光束入射在工件15后被工件15反射，反射的第一光束沿第三光路原路返回至焦点定位器5,根据焦点定位器5接收到的反射的第一光束的光束信息可以判断工件15与激光束的焦平面之间的距离。如此，通过焦点定位器5能够实现对工件15位移的监控。

可以理解地，当工件15发生位移时，焦点定位器5接收到的反射的第一光束的光束信息不同。其中，光束信息可以为强度信息、光谱信息等。其中，焦点定位器5可以为光谱共焦传感器，或者焦点定位器5包括功率计等。

其中，在第三光路上，在第二分束器6和焦点定位器5之间还可以设置其他导光元件来引导第一光束的传输，以改变整体布局。

具体到实施例中，第二分束器6还位于第二光路上，且第二分束器6位于第一分束器2和背射传感器4之间，第二分束器6还用于透射背反射激光信号。

此时，背反射激光信号依次经聚焦组件3、第一分束器2透射、第二分束器6透射后，射于背射传感器4处。如此，第一分束器2和第二分束器6均位于第二光路和第三光路上，有利于使得整个系统结构更加紧凑。

在其他实施例中，还可以调换背射传感器4和焦点定位器5的位置，并用能够反射背反射激光信号且透射第一光束的分束器来替代第二分束器6。

在一些实施例中，监测模块还包括等离子体传感器7和第三分束器8，等离子体传感器7用于接收在激光束加工工件15时产生的等离子体辐射信号，等离子体辐射信号沿第四光路传输，第三分束器8位于第四光路，用于反射等离子体辐射信号。在第四光路上，聚焦组件3、第一分束器2、第三分束器8和等离子体传感器7依次布置，第一分束器2还用于透射等离子体辐射信号。

在实际作业时，在激光束加工工件15的过程中工件15会向周围辐射等离子体，据此产生等离子体辐射信号。等离子体管高辐射信号经聚焦组件3、第一分束器2、第三分束器8后进入等离子体传感器7。利用等离子体传感器7可以监控等离子体辐射信号的强度变化，并绘制强度曲线。根据比较实际加工的强度曲线与正常加工的强度曲线，可以监控加工状况，如保护气流量变化、孔洞、异物等异常状态会引起等离子体辐射强度的变化，并在强度曲线上体现出来。

其中，在第四光路上，在等离子体传感器7和第三分束器8之间还可以设置其他导光元件来引导等离子体辐射信号的传输，以改变整体布局。

具体到实施例中，第三分束器8还位于第二光路上，且第三分束器8位于第一分束器2和背射传感器4之间，第三分束器8还用于透射背反射激光信号。

此时，背反射激光信号依次经聚焦组件3、第一分束器2透射、第三分束器8透射后，射于背射传感器4处。如此，第一分束器2和第三分束器8均位于第二光路和第四光路上，有利于使得整个系统结构更加紧凑。

在其他实施例中，还可以调换背射传感器4和等离子体传感器7的位置，此时用能够反射背反射激光信号且透射等离子辐射信号的分束器还替代第三分束器8。

在一些实施例中，监测模块还包括温度传感器9和第四分束器10，温度传感器9用于接收在激光束加工时产生的热辐射信号，热辐射信号沿第五光路传输，第四分束器10位于第五光路，用于反射热辐射信号。在第五光路上，聚焦组件3、第一分束器2、第四分束器10、温度传感器9依次布置，第一分束器2还用于透射热辐射信号。

在实际作业时，在激光束加工工件15的过程中会产生热辐射，据此形成热辐射信号。热辐射信号经聚焦组件3、第一分束器2、第三分束器8后射向温度传感器9。利用温度传感器9获取热辐射信号的温度，如此可以监控加工区域的温度变化。

其中，在第五光路上，在温度传感器9和第四分束器10之间还可以设置其他导光元件来引导等热辐射信号的传输，以改变整体布局。

具体到实施例中，第四分束器10还位于第二光路上，且第四分束器10位于第一分束器2和背射传感器4之间，第四分束器10还用于透射背反射激光信号。如此，第一分束器2和第四分束器10均位于第二光路和第五光路上，有利于使得整个系统结构更加紧凑。

在其他实施例中，还可以调换背射传感器4和温度传感器9的位置，此时第四分束器10用于反射背反射激光信号且透射热辐射信号。

在一些实施例中，监测模块还包括成像部11、视觉光源12和第五分束器13，视觉光源12位于聚焦组件3和工件15之间，用于向工件15发出第二光束，第二光束的波长与激光束的波长不等，第二光束经工件15反射后沿第六光路传输，第五分束器13用于反射第二光束，成像部11用于根据第二光束成像；在第六光路上，聚焦组件3、第一分束器2、第五分束器13和成像部11依次布置，第一分束器2还用于透射第二光束。

在实际作业时，视觉光源12光出第二光束，第二光束经工件15反射射向聚焦组件3，并经第一分束器2、第五分束器13后进入成像部11，成像部11根据接收到的第二光束形成加工区域的图像。通过分析成像部11形成的图像可以用于监控工件15的加工质量，进行良率检测等。

其中，在第六光路上，在成像部11和第五分束器13之间还可以设置其他导光元件来引导等第二光束的传输，以改变整体布局。

具体到实施例中，第五分束器13还位于第二光路上，且第五分束器13位于第一分束器2和背射传感器4之间，第五个分束器13还用于透射背反射激光信号。如此，第一分束器2和第五分束器13均位于第二光路和第六光路上，有利于使得整个系统结构更加紧凑。

在其他实施例中，还可以调换背射传感器4和成像部11的位置，此时可以用能够反射背反射激光信号且透射第二光束的分数器来替代第五分束器13。

其中，成像部11包括工业镜头和相机，相机连接工业镜头。在第六光路上，聚焦组件3、第一分束器2、第五分束器13和工业镜头、相机依次布置，工业镜头用于调整第二光束的焦点处于相机的成像平面上。

可以理解地，上述激光光束、第一光束、第二光束、等离子体辐射信号、热辐射信号具有不同的波长。在实际作业时，各分束器根据不同波长来分开目标波长的光信号和其他波长的光信号。

在一具体实施例中，参见图1，监测模块包括背射传感器4、焦点定位器5、第二分束器6、等离子传感器、第三分束器8、温度传感器9、第四分束器10、成像部11、视觉光源12和第五分束器13。其中，第一分束器2、第五分束器13、第二分束器6、第四分束器10、第三分束器8沿第二光路依次布置。其中，第一分束器2还位于第一光路上，且第一分束器2和第五分束器13还依次位于第六光路上，第一分束器2、第五分束器13和第二分束器6还依次位于第三光路上，第一分束器2、第五分束器13、第二分束器6、第四分束器10还依次位于第五光路上，第一分束器2、第五分束器13、第二分束器6、第四分束器10、第三分束器8还依次位于第四光路上。

其中，第一分束器2用于反射激光束并透射背反射激光信号、等离子体辐射信号、热辐射信号、第一光束和第二光束。第五分束器13用于发射第二光束并透射第一光束、等离子体辐射信号、热辐射信号和背反射激光信号。第二分束器6用于反射第一光束并透射背反射激光信号、等离子体辐射信号和热辐射信号，第四分束器10用于反射热辐射信号并透射等离子体信号。第三分束器8用于反射等离子体辐射信号并透射除背反射激光信号。此时，通过监测模块可以全方位实现对加工过程和加工质量的监控。

可以理解地，此时各个分束器同时至少位于两个光路上，使得整机结构较为紧凑，也能够减少光学零件的数量。

具体到实施例中，第一分束器2具有相对设置的第一光学面和第二光学面，在第二光路上，第一光学面相较于第二光学面靠近聚焦组件3；第一分束器2被构造为将第二光学面入射的除激光束之外的其他光信号和经第一光学面入射的激光束沿平行于同一光轴的方向射向聚焦组件3。此时，第一分束器2实现了激光束与其他光信号的同轴传输，有助于使得整机结构紧凑。

需要说明的是，上述除激光束之外的其他光信号包括或只包括本申请实施例中提到的背反射激光信号、等离子体辐射信号、热辐射信号、第一光束和第二光束。

在一些实施例中，聚焦组件3包括振镜31和场镜32，在任一光路上，场镜32、振镜31和第一分束器2依次布置。此时，激光加工系统为激光扫描振镜31系统，利用振镜31改变光束的行进方向，通过场镜32实现聚焦。其中，“任一光路”包括或只包括本申请实施例中提到的光路。

当然，在其他实施例中，聚焦组件3也可以为聚焦镜/聚焦镜组，或者准直镜与聚焦镜的组合，具体形式不限。

在一些实施例中，激光加工系统还包括准直部14，在第一光路上，准直部14位于激光输出部1和第一分束器2之间，此时利用准直部14对激光束进行准直汇聚后射入第一分束器2，有助于激光束的传输。其中，准直部14可以为准直镜头。

本申请实施例中提供的激光加工系统，利用实际加工过程中产生的背反射激光信号进行激光功率的实施监测，不会降低激光能量的利用率。而且，聚焦组件3和第一分束器2均位于第一光路和第二光路，不需要增加额外引导背反射激光信号的光学结构，有助于减少光学结构的数量，使得结构更加紧凑。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种激光加工系统，其特征在于，包括：

激光输出部(1)，用于输出激光束，所述激光束沿第一光路传输；

第一分束器(2)，设于所述第一光路，用于反射所述激光束；

聚焦组件(3)，设于所述第一光路，且位于所述第一分束器(2)的下游，用于将所述激光束聚焦于工件(15)；其中，所述激光束在所述工件(15)反射下形成背反射激光信号，所述背反射激光信号沿第二光路传输；及，

监测模块，包括位于所述第二光路的用于接收所述背反射激光信号的背射传感器(4)；其中，在所述第二光路上，所述聚焦组件(3)、所述第一分束器(2)、所述背射传感器(4)依次布置，所述第一分束器(2)还用于透射所述背反射激光信号。

2.根据权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述监测模块还包括焦点定位器(5)和第二分束器(6)；

所述焦点定位器(5)用于输出与所述激光束的波长不等的第一光束，所述第一光束沿第三光路传输，所述第二分束器(6)位于所述第三光路，用于反射所述第一光束；

其中，在所述第三光路上，所述焦点定位器(5)、所述第二分束器(6)、所述第一分束器(2)和所述聚焦组件(3)依次布置，所述第一分束器(2)还用于透射所述第一光束。

3.根据权利要求2所述的激光加工系统，其特征在于，所述第二分束器(6)还位于所述第二光路上，且所述第二分束器(6)位于所述第一分束器(2)和所述背射传感器(4)之间，所述第二分束器(6)还用于透射所述背反射激光信号。

4.根据权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述监测模块还包括等离子体传感器(7)和第三分束器(8)；

所述等离子体传感器(7)用于接收在所述激光束加工所述工件(15)时产生的等离子体辐射信号，所述等离子体辐射信号沿第四光路传输，所述第三分束器(8)设于所述第四光路，用于反射所述等离子体辐射信号；

在所述第四光路上，所述聚焦组件(3)、所述第一分束器(2)、所述第三分束器(8)、所述等离子体传感器(7)依次布置，所述第一分束器(2)还用于透射所述等离子体辐射信号。

5.根据权利要求4所述的激光加工系统，其特征在于，所述第三分束器(8)还位于所述第二光路上，且所述第三分束器(8)位于所述第一分束器(2)和所述背射传感器(4)之间，所述第三分束器(8)还用于透射所述背反射激光信号。

6.根据权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述监测模块还包括温度传感器(9)和第四分束器(10)；

所述温度传感器(9)用于接收在所述激光束加工所述工件(15)时产生的热辐射信号，所述热辐射信号沿第五光路传输，所述第四分束器(10)位于所述第五光路，用于反射所述热辐射信号；

在所述第五光路上，所述聚焦组件(3)、所述第一分束器(2)、所述第四分束器(10)、所述温度传感器(9)依次布置，所述第一分束器(2)还用于透射所述热辐射信号。

7.根据权利要求6所述的激光加工系统，其特征在于，所述第四分束器(10)还位于所述第二光路上，且所述第四分束器(10)位于所述第一分束器(2)和所述背射传感器(4)之间，所述第四分束器(10)还用于透射所述背反射激光信号。

8.根据权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述监测模块还包括成像部(11)、视觉光源(12)和第五分束器(13)；

所述视觉光源(12)位于所述聚焦组件(3)和所述工件(15)之间，用于向所述工件(15)发出与所述激光束的波长不等的第二光束，所述第二光束经所述工件(15)反射后沿第六光路传输，所述第五分束器(13)用于反射所述第二光束，所述成像部(11)用于根据所述第二光束成像；

在所述第六光路上，所述聚焦组件(3)、所述第一分束器(2)、所述第五分束器(13)和所述成像部(11)依次布置，所述第一分束器(2)还用于透射所述第二光束。

9.根据权利要求8所述的激光加工系统，其特征在于，所述第五分束器(13)还位于所述第二光路上，且所述第五分束器(13)位于所述第一分束器(2)和所述背射传感器(4)之间，所述第五分束器(13)还用于透射所述背反射激光信号。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的激光加工系统，其特在于，所述聚焦组件(3)包括振镜(31)和场镜(32)，在任一光路上，所述场镜(32)、所述振镜(31)和所述第一分束器(2)依次布置。

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