CN215094808U - 一种单晶硅切割机的导线轮 - Google Patents
一种单晶硅切割机的导线轮 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215094808U CN215094808U CN202120693327.7U CN202120693327U CN215094808U CN 215094808 U CN215094808 U CN 215094808U CN 202120693327 U CN202120693327 U CN 202120693327U CN 215094808 U CN215094808 U CN 215094808U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide wheel
- wire guide
- monocrystalline silicon
- wire
- cutting machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种单晶硅切割机的导线轮,涉及单晶硅片制造技术领域。该单晶硅切割机的导线轮包括导线轮本体,导线轮本体为圆形薄片结构,导线轮本体正面的正中心开设有厚度为导线轮本体一半的圆形减重槽(1),圆形减重槽(1)上开设有多个安装孔一(2),圆形减重槽(1)中心处开设有安装孔二(3),导线轮本体侧面开设有环形连通的走线槽(4)。本实用新型结构简单、尺寸小、质量轻、便于加工、制造成本低,能快速停转和更换,应用在单晶硅切割机上,将有效节省生产时间,提高单晶硅生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片制造技术领域,具体涉及一种单晶硅切割机的导线轮。
背景技术
硅是最常见、应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程:石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。目前单晶硅切片多使用线切割方法。在专利CN201921298047.5中公开了一种多线切割机的导线轮,包括主体轮毂和边缘导槽,其中主体轮毂为塑料轮毂,其上均布有加强筋、安装孔,边缘导槽采用V型槽结构。该专利导线轮的尺寸小,重量轻,可以提高设备控制张力的精度,降低设备断线情况发生的概率,但其结构仍较为复杂。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供了一种单晶硅切割机的导线轮。通过设置减轻导线轮质量、改变导线轮结构,解决了导线轮惯性大、更换麻烦的技术问题。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
一种单晶硅切割机的导线轮,包括导线轮本体,其中:
所述导线轮本体为圆形薄片结构;
所述导线轮本体正面开设有圆形减重槽;
所述圆形减重槽上开设有多个安装孔一;
所述圆形减重槽中心处开设有安装孔二;
所述导线轮本体侧面开设有环形连通的走线槽。
可选或优选地,所述圆形减重槽的厚度为导线轮本体的一半。
可选或优选地,所述圆形减重槽开设在导线轮本体的中心。
可选或优选地,所述安装孔一的数量为三个。
可选或优选地,所述安装孔一和所述安装孔二均为通孔。
基于上述技术方案,可产生如下技术效果:
本实用新型提供的一种单晶硅切割机的导线轮,通过在导线轮上开设圆形减重槽和可卡住螺钉的安装孔一,减轻了导线轮的质量,提高了单晶硅片的切割精度,且大大节省生产中更换导线轮的时间。解决了单晶硅片切割生产中生产效率低的技术问题。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图(正视图);
图2 为本实用新型的结构示意图(俯视图);
图中:1-圆形减重槽,2-安装孔一,3-安装孔二,4-走线槽。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1-2所示:
本实用新型提供了一种单晶硅切割机的导线轮,包括导线轮本体,其中:
所述导线轮本体为圆形薄片结构;
所述导线轮本体正面开设有圆形减重槽1,减轻导线轮自重,使导线轮能更快停转;
所述圆形减重槽1上开设有多个安装孔一2,用于卡住螺钉;
所述圆形减重槽1中心处开设有安装孔二3;
所述导线轮本体侧面开设有环形连通的走线槽4。
作为可选或优选地实施方式,所述圆形减重槽1的厚度为导线轮本体的一半。
作为可选或优选地实施方式,所述圆形减重槽1开设在导线轮本体的中心。
作为可选或优选地实施方式,所述安装孔一2的数量为三个。
作为可选或优选地实施方式,所述安装孔一2和所述安装孔二3均为通孔。
本实用新型提供的单晶硅切割机的导线轮的工作过程如下:在切割单晶硅片时,将所需导线轮的安装孔二3套在轮轴上,使安装孔一2卡住固定,切割用线安装在走线槽4中。在使用时,该导线轮能更快转停,且快速更换,能有效提高生产效率。
Claims (5)
1.一种单晶硅切割机的导线轮,其特征在于:包括导线轮本体,其中:
所述导线轮本体为圆形薄片结构;
所述导线轮本体正面开设有圆形减重槽(1);
所述圆形减重槽(1)上开设有多个安装孔一(2);
所述圆形减重槽(1)中心处开设有安装孔二(3);
所述导线轮本体侧面开设有环形连通的走线槽(4)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅切割机的导线轮,其特征在于:所述圆形减重槽(1)的厚度为导线轮本体的一半。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅切割机的导线轮,其特征在于:所述圆形减重槽(1)开设在导线轮本体的中心。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅切割机的导线轮,其特征在于:所述安装孔一(2)的数量为三个。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅切割机的导线轮,其特征在于:所述安装孔一(2)和所述安装孔二(3)均为通孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202120693327.7U CN215094808U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种单晶硅切割机的导线轮 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202120693327.7U CN215094808U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种单晶硅切割机的导线轮 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN215094808U true CN215094808U (zh) | 2021-12-10 |
Family
ID=79263638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202120693327.7U Active CN215094808U (zh) | 2021-04-06 | 2021-04-06 | 一种单晶硅切割机的导线轮 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN215094808U (zh) |
-
2021
- 2021-04-06 CN CN202120693327.7U patent/CN215094808U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103182750B (zh) | 一种砷化镓单晶线切割基准面的加工方法 | |
CN215094808U (zh) | 一种单晶硅切割机的导线轮 | |
TW369465B (en) | Method of manufacturing semiconductor wafers | |
CN213561473U (zh) | 一种分切机平圆盘刀片磨刃加工工装 | |
WO2010009881A1 (en) | Multi-wire cutting device with a revolving workpiece mount | |
CN102049821A (zh) | 多线切割机切割辊轮 | |
CN103358414B (zh) | 一种单晶棒线开方固定装置及单晶棒线开方方法 | |
CN201900691U (zh) | 多线切割机切割辊轮 | |
CN215920953U (zh) | 双线硅棒截断机用翻转切割轮 | |
CN201677417U (zh) | 晶硅切割机 | |
CN209440563U (zh) | 矩形硅棒切割装置 | |
CN211616194U (zh) | 一种调整切片机线网中心距用的机构 | |
CN211103316U (zh) | 一种多线切割机的线位调节机构 | |
CN204278273U (zh) | 用于将圆形硅棒切割成方形硅棒的切割装置 | |
JPH06232428A (ja) | 均一な寸法の光起電ウェーハの製造方法および光起電ウェーハ | |
CN201587045U (zh) | 切方机可调主轴 | |
CN209440566U (zh) | 硅棒切割装置 | |
CN214980478U (zh) | 一种用于不规则碳化硼陶瓷加工的夹具 | |
CN111319149A (zh) | 一种大尺寸靶材用锗晶片的加工方法 | |
CN213730947U (zh) | 一种用于风电叶片的打磨小车 | |
CN220052397U (zh) | 一种异质结太阳能电池切割定位装置 | |
JP2004174770A (ja) | 多結晶シリコンインゴットの切断方法 | |
CN210679216U (zh) | 一种适用于多晶硅金刚线切割的滑轮角度调整装置 | |
CN210910677U (zh) | 一种多线切割机的导线轮 | |
CN112811237B (zh) | 一种隔膜分切机及分切装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |