CN211103316U - 一种多线切割机的线位调节机构 - Google Patents
一种多线切割机的线位调节机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211103316U CN211103316U CN201921771568.8U CN201921771568U CN211103316U CN 211103316 U CN211103316 U CN 211103316U CN 201921771568 U CN201921771568 U CN 201921771568U CN 211103316 U CN211103316 U CN 211103316U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide
- screw rod
- guide rail
- guide pulley
- wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型涉及一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆、导轨、多个导轮和支架，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。本实用新型的有益效果是：通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。
Description
技术领域
本实用新型涉及多线切割，尤其涉及一种多线切割机的线位调节机构。
背景技术
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。在多线切割机的加工过程中，需要对切割线与硅晶体的相对位置进行调整，而现有技术均为对硅晶体的调整，但是硅晶体尺寸较大，而切片的很薄，导致这种调整方式比较困难。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种多线切割机的线位调节机构，通过对多线切割机的切割线进行调整，提高线位精度。
本实用新型是通过以下技术方案予以实现：
一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆、导轨、多个导轮和支架，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。
根据上述技术方案，优选地，所述外部驱动装置为摇柄、手轮或电机中的任意一种。
根据上述技术方案，优选地，相邻的所述导轮之间设有减震弹簧，所述减震弹簧分别套设在螺杆和导轨上。
本实用新型的有益效果是：通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。
附图说明
图1示出了本实用新型的实施例的主视结构示意图。
图中：1.螺杆，2.导轨，3.导轮，4.支架，5.环形凹槽。
具体实施方式
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图所示，本实用新型一种多线切割机的线位调节机构，包括螺杆1、导轨2、多个导轮3和支架4，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽5，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆6上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。
本实施例的工作原理为：切割线安装在导轮的凹槽中，来限制切割线的位置。操作人员可以通过外部驱动装置带动螺杆转动。由于导轮被导轨限位，因此导轮不会随着螺杆转动，而会在螺纹连接的带动下，沿着螺杆移动。由于多个导轮均通过同样的螺纹连接螺杆，因此导轮随着螺杆的移动距离是相同的，也就是说导轮之间的间距不变。
综上所述，本实施例通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。
根据上述技术方案，优选地，所述外部驱动装置为摇柄、手轮或电机中的任意一种。本实施例公开了外部驱动装置的三种实施方式。
根据上述技术方案，优选地，相邻的所述导轮之间设有减震弹簧，所述减震弹簧分别套设在螺杆和导轨上。减震弹簧可以减少导轮的振动，减少调节对于切割线的影响。
本实用新型的有益效果是：通过螺杆调整多个的导轮的整体位置，而不会影响导轮之间的间距。这样就可以通过调节导轮来调节切割线的位置，并且螺杆的调节相对于硅晶体的调节更加精准。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种多线切割机的线位调节机构，其特征在于：包括螺杆、导轨、多个导轮和支架，所述导轮的轮缘处设有环形凹槽，所述导轮的端面圆心处设有螺纹通孔，所述导轮的端面设有多个导向孔，多个所述导轮通过螺纹通孔安装在螺杆上，多个所述导轮相互平行且等距，所述导轨穿过导向孔，所述导轨与螺杆平行，所述导轨的两端分别连接支架，所述螺杆连接外部驱动装置。
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的线位调节机构，其特征在于：所述外部驱动装置为摇柄、手轮或电机中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机的线位调节机构，其特征在于：相邻的所述导轮之间设有减震弹簧，所述减震弹簧分别套设在螺杆和导轨上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921771568.8U CN211103316U (zh) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | 一种多线切割机的线位调节机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921771568.8U CN211103316U (zh) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | 一种多线切割机的线位调节机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211103316U true CN211103316U (zh) | 2020-07-28 |
Family
ID=71696347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921771568.8U Expired - Fee Related CN211103316U (zh) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | 一种多线切割机的线位调节机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211103316U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113059707A (zh) * | 2021-02-23 | 2021-07-02 | 厦门大学 | 线锯加工过程中调节线网间距的装置及加工方法 |
-
2019
- 2019-10-21 CN CN201921771568.8U patent/CN211103316U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113059707A (zh) * | 2021-02-23 | 2021-07-02 | 厦门大学 | 线锯加工过程中调节线网间距的装置及加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103407009B (zh) | 金刚石线多线切割机 | |
| WO2012139498A1 (zh) | 三辊多线切割机 | |
| JP7249616B2 (ja) | デュアルスイングワイヤ切断工作機械 | |
| CN211103316U (zh) | 一种多线切割机的线位调节机构 | |
| CN103753716A (zh) | 单晶硅棒截断金刚石线锯装置 | |
| CN204209839U (zh) | 一种数控串珠绳锯机 | |
| CN202572672U (zh) | 金刚石线多线切割机线管理装置 | |
| CN102837372B (zh) | 多线切割机工作台 | |
| JP6168689B2 (ja) | ワイヤソー及び切断加工方法 | |
| CN204869295U (zh) | 单线切割机 | |
| KR101252702B1 (ko) | 수평형 띠톱장치 | |
| CN203738178U (zh) | 一种电极丝动态张紧装置 | |
| CN205343490U (zh) | 一种蓝宝石的曲面多线切割装置 | |
| CN208629699U (zh) | 一种硅晶切割机 | |
| CN104923871A (zh) | 一种电火花切割机钼丝导向装置 | |
| CN103008782B (zh) | 高速带锯床消除锯带振动的结构 | |
| CN206953309U (zh) | 一种蓝宝石晶棒截断装置 | |
| CN104875538A (zh) | 一种玻璃切割、喷码、刻花、测厚多功能机械 | |
| CN212653666U (zh) | 一种多线切割机的倒置式摇摆工作台 | |
| CN209919002U (zh) | 一种带锯床 | |
| CN212218919U (zh) | 一种晶硅棒开方用切割机构 | |
| CN107310058B (zh) | 一种环形金刚石线排锯 | |
| CN202934715U (zh) | 多线切割机过渡辊轮的安装装置 | |
| CN208662843U (zh) | 一种双工位激光切割机 | |
| CN204736346U (zh) | 线锯排架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200728 Termination date: 20211021 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |